一种自聚焦透镜用镀膜系统的制作方法
【专利摘要】一种自聚焦透镜用镀膜系统，包括有真空室、氧气供给组件、尾气排出组件以及控制器，真空室具有氧气供给安装口以及尾气排出安装口；氧气供给组件包括有氧气瓶、氧气供给通路、电子阀，电子阀设置于氧气供给通路上，氧气供给通路与氧气供给安装口以及氧气瓶连接；尾气排出组件包括有静电吸附装置、尾气排出通路，尾气排出通路与尾气排出安装口连接，尾气排出通路的另一端设置有静电吸附装置，静电吸附装置设置于尾气排出通路尾端的管路内部；还包括有加热器，加热器设置于氧气供给通路上。设置加热器，能够对充入到真空室内的氧气进行预热，避免低温氧气进入真空室造成真空室的温度骤降，对氧气预热能够提高透镜镀膜的品质。
【专利说明】
一种自聚焦透镜用镀膜系统
技术领域
[0001]本实用新型涉及光学设备技术领域，更具体地说，特别涉及一种自聚焦透镜用镀膜系统。
【背景技术】
[0002]目前，在自聚焦透镜的生产工艺中，为了提高透镜的透过率，一般都会对透镜的端部进行镀膜处理。传统的透镜镀膜都是在反应室内进行，由于镀膜需要在高温环境下进行，所以在镀膜工艺开始前就需要对反应室进行升温，一般在200-250°C之间，当温度升高后才能够进行后续的充氧镀膜。
[0003]在传统工艺中，氧气是需要持续不断地充入到反应室内以保证反应室内气压稳定，然而，不断充入的氧气气体温度较低，直接进入到反应室内会降低反应室内的温度，从而影响镀膜效果。
【实用新型内容】
[0004]可见，如何在镀膜过程中，氧气供给操作不会对反应室温度产生影响，成为了本领域技术人员亟待解决的问题。
[0005]本实用新型提供了一种自聚焦透镜用镀膜系统，包括有真空室、氧气供给组件、尾气排出组件以及控制器，所述真空室具有氧气供给安装口以及尾气排出安装口；
[0006]所述氧气供给组件包括有氧气瓶、氧气供给通路、电子阀，所述电子阀设置于所述氧气供给通路上用于导通或者闭合所述氧气供给通路，所述氧气供给通路的一端与所述氧气供给安装口连接，所述氧气供给通路的另一端与所述氧气瓶连接，所述电子阀与所述控制器信号连接；
[0007]所述尾气排出组件包括有静电吸附装置、尾气排出通路，所述尾气排出通路的一端与所述尾气排出安装口连接，所述尾气排出通路的另一端设置有所述静电吸附装置，所述静电吸附装置设置于所述尾气排出通路尾端的管路内部；
[0008]还包括有加热器以及热传感器，所述加热器以及所述热传感器均设置于所述氧气供给通路上，所述加热器以及所述热传感器均与所述控制器信号连接。
[0009]优选地，所述热传感器设置于所述氧气供给通路与所述氧气供给安装口连接的通路管口上。
[0010]优选地，所述氧气供给通路包括有主管路以及分支管路，所述分支管路包括有多个，全部的所述分支管路与所述主管路连通;所述加热器设置于所述主管路内，所述热传感器设置于所述分支管路上。
[0011]优选地，所述真空室为正方体结构，于所述真空室的各个侧壁上均设置有一个所述分支管路。
[0012]优选地，本实用新型还包括有热回收装置，所述热回收装置包括有热回收管、集热箱体以及循环栗;所述热回收管设置于所述尾气排出通路内，所述热回收管与所述集热箱体连接，所述集热箱体用于装载导热介质，所述热回收管用于导热介质的流通，所述循环栗设置于所述热回收管上。
[0013]优选地，于所述集热箱体上还设置有热能输出管;所述热能输出管上设置有循环栗，所述热能输出管设置于所述氧气供给通路内。
[0014]优选地，所述热回收管为金属管;所述热能输出管为金属管。
[0015]通过上述结构设计，本实用新型提供的自聚焦透镜用镀膜系统基于现有基础，特别提供了控制器、加热器以及静电吸附装置，其中，控制器能够实现本实用新型的自动控制，从而减少人为干预，降低出错率。设置加热器，能够对充入到真空室内的氧气进行预热，避免低温氧气进入真空室造成真空室的温度骤降，对氧气预热能够提高透镜镀膜的品质。静电吸附装置能够对镀膜尾气进行处理，避免尾气中的离子杂质散播到空气中，避免出现空气污染的情况出现。
【附图说明】
[0016]图1为本实用新型实施例中自聚焦透镜用镀膜系统的结构示意图；
[0017]在图1中，图中标记如下所示:
[0018]真空室1、控制器2、氧气瓶3、静电吸附装置4、加热器5。
【具体实施方式】
[0019]下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。
[0020]在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
[0021]在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接;可以是机械连接，也可以是电连接;可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0022]请参考图1，图1为本实用新型实施例中自聚焦透镜用镀膜系统的结构示意图。
[0023]本实用新型提供了一种自聚焦透镜用镀膜系统，包括有真空室1、氧气供给组件、尾气排出组件以及控制器2。
[0024]在上述结构设计中:
[0025]真空室I，真空室I采用高强度钢板制成，在真空室I内壁设置一层耐高温板材，例如陶瓷或者耐热砖，采用钢板制成真空室I的外层框架，能够提高真空室I的结构强度，从而保证真空室I能够承受非常高的真空度，在真空室I内设置耐高温板材，能够避免在真空室I室内加热时钢板变形的情况出现。在本实用新型中，真空室I具有氧气供给安装口以及尾气排出安装口，安装到上述两个安装口上的管路采用法兰连接，如此可以保证管路连接的可靠性以及保证连接部位保持较高的气密性。
[0026]控制器2为工控单片机，其具有逻辑、控制功能，控制器2与显示器以及输入设备连接，显示器能够对控制信息等进行显示，输入设备则能够对控制器2的控制参数进行更改。控制器2与本实用新型中涉及到的电子设备连接，控制器2能够以时间为参数也可以以传感器的监测信号为参数对这些电子设备进行智能控制。
[0027]氧气供给组件，氧气供给组件包括有氧气瓶3、氧气供给通路、电子阀，电子阀设置于氧气供给通路上用于导通或者闭合氧气供给通路，氧气供给通路的一端与氧气供给安装口连接，氧气供给通路的另一端与氧气瓶3连接，电子阀与控制器2信号连接。氧气供给通路可以采用PE管或者钢管，氧气供给通路与氧气瓶3之间通过螺纹接口方式连接，这样不仅便于氧气瓶3的更换，还能够保证连接的可靠性以及提高连接的气密性。电子阀采用现有技术中常用的电子阀，电子阀安装到氧气供给通路上，通过控制器2对电子阀的控制，能够实现氧气供给通路的开、闭。氧气供给通路与氧气供给安装口连接，能够向真空室I供给氧气，以便于镀膜工艺的进行。
[0028]尾气排出组件，尾气排出组件包括有静电吸附装置4、尾气排出通路，尾气排出通路的一端与尾气排出安装口连接，尾气排出通路的另一端设置有静电吸附装置4，静电吸附装置4设置于尾气排出通路尾端的管路内部。对于本领域技术人员而言，在对透镜进行镀膜时，真空室I排出的尾气会包含有较多的离子杂质，为了对尾气进行净化，本实用新型特别设置了静电吸附装置4，静电吸附装置4安装在尾气排出通路上利用静电的吸附作用能够将尾气中的离子杂质进行静电吸附，从而避免尾气污染的情况出现。
[0029]热传感器，热传感器采用现有技术中常用的热传感器，热传感器的温度检测范围为30 °C_350°C。热传感器与控制器2连接，能够将其检测到的温度检测信号发送给控制器2，控制器2能够以该温度检测信号作为控制参数对加热器5进行控制。
[0030]热加热，加热器5为电热管加热器5，加热器5设置在氧气供给通路上(可以设置在氧气供给通路内，也可以设置在氧气供给通路外侧)，通过热传感作用对经过氧气供给通路的氧气进行加热。
[0031]通过上述结构设计，本实用新型提供的自聚焦透镜用镀膜系统基于现有基础，特别提供了控制器2、加热器5以及静电吸附装置4，其中，控制器2能够实现本实用新型的自动控制，从而减少人为干预，降低出错率。设置加热器5，能够对充入到真空室I内的氧气进行预热，避免低温氧气进入真空室I造成真空室I的温度骤降，对氧气预热能够提高透镜镀膜的品质。静电吸附装置4能够对镀膜尾气进行处理，避免尾气中的离子杂质散播到空气中，避免出现空气污染的情况出现。
[0032]具体地，热传感器设置于氧气供给通路与氧气供给安装口连接的通路管口上。将热传感器设置在接近真空室I的氧气供给安装口上，能够最大程度地保证氧气在进入到真空室I时与真空室I内的温度最为接近。
[0033]氧气是气相镀膜中必不可少的“参与者”，为了提高镀膜品质，氧气需要完全包裹住透镜。为了达到上述目的，本实用新型对氧气供给通路进行了结构优化:氧气供给通路包括有主管路以及分支管路，分支管路包括有多个，全部的分支管路与主管路连通;加热器5设置于主管路内，热传感器设置于分支管路上。设置有多个分支管路，并将分支管路分别设置到真空室I不同的侧壁上，这样能够使得氧气呈360°充入到真空室I内。
[0034]具体地，真空室I为正方体结构，于真空室I的各个侧壁上均设置有一个分支管路。
[0035]当然，在本实用新型的其他实施方式中，真空室I还可以采用球形结构。
[0036]在对透镜进行镀膜时，真空室I内的温度一般会维持在200_250°C之间，镀膜产生的尾气从真空室I内直接排出，尾气温度较高，蕴含的热能加多，如果将尾气直接排放，其会造成热能的损失。为了能够对尾气中的热能进行回收利用，本实用新型还提供了热回收装置，热回收装置包括有热回收管、集热箱体以及循环栗;热回收管设置于尾气排出通路内，热回收管与集热箱体，集热箱体用于装载导热介质，热回收管用于导热介质的流通，循环栗设置于热回收管上。热回收装置以纯净水作为介质在热回收管以及集热箱体内流通。热回收管设置在尾气排出通路内，通过热交换作用吸收尾气中的热能，热回收管内的介质温度升高，然后在循环栗的作用下回流至集热箱体中，集热箱体内盛装的热水能够作为其他用途使用。
[0037]由上述结构可知:集热箱体内的介质为纯净的热水，热水包含有大量的热能。而在本实用新型中又需要对氧气进行加热，为了能够实现热能的利用，本实用新型于集热箱体上还设置有热能输出管;热能输出管上设置有循环栗，热能输出管设置于氧气供给通路内。
[0038]具体地，热回收管为金属管;热能输出管为金属管。
[0039]本实用新型的具体镀膜工艺流程为:在真空室I内升温，对透镜进行烘烤，烘烤温度为255°C ;对真空室I抽真空，当真空度达到0.002Pa时，充入氧气，使真空室I的压强保持在0.02Pa左右;打开离子源轰击透镜基底5min后，打开电子枪进行蒸镀，其中，二氧化硅的蒸发速率为0.lnm/s，五氧化二钽的蒸发速率为0.2nm/s。
[0040]以上对本实用新型所提供的一种自聚焦透镜用镀膜系统进行了详细介绍，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型实施例的思想，在【具体实施方式】及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
【主权项】
1.一种自聚焦透镜用镀膜系统，包括有真空室(I)、氧气供给组件、尾气排出组件以及控制器(2)，其特征在于， 所述真空室具有氧气供给安装口以及尾气排出安装口； 所述氧气供给组件包括有氧气瓶(3)、氧气供给通路、电子阀，所述电子阀设置于所述氧气供给通路上用于导通或者闭合所述氧气供给通路，所述氧气供给通路的一端与所述氧气供给安装口连接，所述氧气供给通路的另一端与所述氧气瓶连接，所述电子阀与所述控制器信号连接； 所述尾气排出组件包括有静电吸附装置(4)、尾气排出通路，所述尾气排出通路的一端与所述尾气排出安装口连接，所述尾气排出通路的另一端设置有所述静电吸附装置，所述静电吸附装置设置于所述尾气排出通路尾端的管路内部； 还包括有加热器(5)以及热传感器，所述加热器以及所述热传感器均设置于所述氧气供给通路上，所述加热器以及所述热传感器均与所述控制器信号连接。2.根据权利要求1所述的自聚焦透镜用镀膜系统，其特征在于， 所述热传感器设置于所述氧气供给通路与所述氧气供给安装口连接的通路管口上。3.根据权利要求1所述的自聚焦透镜用镀膜系统，其特征在于， 所述氧气供给通路包括有主管路以及分支管路，所述分支管路包括有多个，全部的所述分支管路与所述主管路连通； 所述加热器设置于所述主管路内，所述热传感器设置于所述分支管路上。4.根据权利要求3所述的自聚焦透镜用镀膜系统，其特征在于， 所述真空室为正方体结构，于所述真空室的各个侧壁上均设置有一个所述分支管路。5.根据权利要求1所述的自聚焦透镜用镀膜系统，其特征在于， 还包括有热回收装置，所述热回收装置包括有热回收管、集热箱体以及循环栗； 所述热回收管设置于所述尾气排出通路内，所述热回收管与所述集热箱体连接，所述集热箱体用于装载导热介质，所述热回收管用于导热介质的流通，所述循环栗设置于所述热回收管上。6.根据权利要求5所述的自聚焦透镜用镀膜系统，其特征在于， 于所述集热箱体上还设置有热能输出管； 所述热能输出管上设置有循环栗，所述热能输出管设置于所述氧气供给通路内。7.根据权利要求6所述的自聚焦透镜用镀膜系统，其特征在于， 所述热回收管为金属管； 所述热能输出管为金属管。
【文档编号】C23C16/455GK205603670SQ201620212297
【公开日】2016年9月28日
【申请日】2016年3月20日
【发明人】宋海峰
【申请人】杰讯光电(福建)有限公司