专利名称：多晶硅还原炉的制作方法
技术领域：
本实用型新型涉及多晶硅技术领域，确切地说它是ー种多晶硅还原炉。
背景技术：
多晶硅是当今世界电子エ业、光电エ业以及能源转换技术(太阳能光伏电池)等领域不可缺少的重要基础材料；是生产单晶硅的直接材料；而单晶硅是制作太阳能光伏电池的直接材料。由于太阳能发电具有充分的清洁性、绝对的安全性、资源的广泛性和充足性，绿色环保，所以被认为是最具有希望取代传统化石能源(煤、石油)的新能源。以多晶硅为原料生产的单晶硅是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的基础材料，现代科学研究、航天、军事エ业、农业等等都离不开单晶硅，多晶硅还原炉就是生产多晶硅的核心设备，是直接产出多晶硅的设备。我国多晶硅的生产开始于60年代，但规模很小，每年产量只有几吨，品质又低，特别是电子级的多晶硅完全依赖进ロ。2003年，我们和多家科研、生产单位共同研制了我国第一条300吨/年多晶硅生产线，制作出了当时我国第一台12对棒还原炉，ー举打破了国外多年的技术封锁。之后，为了扩大产能的需要，我们又研制了国内第一台18对棒还原炉，第一台24对棒还原炉，有力的推动了我国多晶硅产业的大发展。但是，規模、产能上去了，由多晶硅的进ロ国变成了多晶硅的出口国，新的问题又出现了，多晶硅的生产耗能巨大，电耗达到了 180kwh/kg· Si，那里建多晶硅厂，那里的电カ就紧张，使我国部分地区本来就紧张的电カ供应更加雪上加霜，以致部分省区不得不下令停止建厂，以保护能源的平衡供应。国家发改委也于2008年末发文规定，要求新建的多晶硅企业能耗必须降到70kwh/kg*Si以下，否则，不予批复。面对节能降耗、环保低碳的新课题，我们开始了节能、环保、高效、新型多晶硅还原炉的研制工作，我们联合高校、科研単位多晶硅生产企业，理论与实际相结合，经过一年多的努力，研制成功了节能型36对棒还原炉，36对棒还原炉设计电耗< 50kwh/kg · Si,电耗指标达到了国际先进水平。
发明内容本实用新型的目的是提供ー种多晶硅还原炉，它具有较好的节能效果。技术方案如下，多晶硅还原炉，它包括底盘、底盘冷却水出ロ、底盘冷却水进ロ、物料进ロ、夹套出水ロ、夹套进水ロ，视镜ロ、钟罩和硅棒，其特征在于硅棒共有36对，硅棒按正六边形安装布置，最外层姆边四个娃棒，共24个娃棒,总共^ 层娃棒均布。本发明的优点是电耗彡50kwh/kg*Si，电耗指标达到了国际先进水平。有利用多
晶娃的生产和生产布局。各种规格还原炉电耗一览表(不含系统电耗)
权利要求1.多晶硅还原炉，它包括底盘(I)、底盘冷却水出口( 2 )、底盘冷却水进ロ( 3 )、物料进ロ(4)、夹套出水ロ(5)、夹套进水口(6)，视镜ロ(7)、钟罩(8)和硅棒(9)，其特征在于硅棒(9)共有36对,娃棒(9)按正六边形安装布置,最外层姆边四个娃棒(9),共24个娃棒(9),总共^ 层娃棒(9)均布。
专利摘要本实用新型是一种多晶硅还原炉，它具有很好的节能效果。它包括底盘、底盘冷却水出口、尾气出口、物料进口、夹套冷却水出口、夹套冷却水总进口，视镜口、钟罩和电极棒，其特征在于硅棒共有36对，硅棒按正六边形安装布置，最外层每边四个硅棒，共24个硅棒，总共十一层硅棒均布。本实用新型电耗≤50kwh/kg·Si，电耗指标达到了国际先进水平，有利于多晶硅的生产和生产布局。
文档编号C01B33/021GK202519037SQ20122016625
公开日2012年11月7日 申请日期2012年4月19日 优先权日2012年4月19日
发明者常青 申请人:常青