铸造多晶硅用竖炉的制作方法

文档序号:11900896阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及硅生产技术领域。一种铸造多晶硅用竖炉,包括炉体,所述炉体的顶部和侧壁都设有加热机构,所述炉体内设有坩埚,所述炉体依次设有加热区、梯度区和冷却区,其特征在于,还包括驱动坩埚升降的坩埚升降机构,所述坩埚的底壁内表面设有黑色氮化硅粉层和铺设在黑色氮化硅粉层上的多晶硅层,所述多晶硅层的厚度为3‑5毫米,所述加热区、梯度区和冷却区从上向下依次分布。本发明提供了一种铸造多晶硅用竖炉,以提高整锭硅片的效率。

技术研发人员:马标;张立新
受保护的技术使用者:浙江绿谷光伏科技有限公司
文档号码:201611131905
技术研发日:2016.12.09
技术公布日:2017.05.17

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