一种重载石英舟的制作方法

文档序号:12521360阅读:362来源:国知局
一种重载石英舟的制作方法与工艺

本实用新型涉及石英舟,特别涉及一种重载石英舟。



背景技术:

石英玻璃制品以其优良的物理化学特性,被广泛应用于微电子产业集成电路芯片 制造业。石英舟是扩散时的常用工具。扩散是制造太阳能电池光电转换核心部件-PN结的工艺环节,是太阳能电池制造的关键技术。由于石英材质特性,其较脆,温度升高硬度下降,因此石英舟无法在高温时进行重负荷承载。



技术实现要素:

针对现有技术的不足,本实用新型的目的是提供一种重载石英舟。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种重载石英舟,包括相对设置的侧板、设置在所述侧板之间的上槽棒和下槽棒,所述上槽棒和所述下槽棒均设有槽口,所述侧板设有抓取通孔,所述上槽棒设有竖直的竖直支撑杆,所述下槽棒设有水平的水平支撑杆,所述水平支撑杆与所述竖直支撑杆连接处设有向下延伸的支脚,所述下槽棒中部设有水平的限位棒。

上述设计中通过连接上槽棒和下槽棒的水平支撑杆以及竖直支撑杆提高石英舟的整体强度,通过支架提高石英舟在所述限位棒便于拿取石英舟时对石英舟中部进行支撑。

作为本设计的进一步改进,两根所述下槽棒上的水平支撑杆镜像设置,镜像设置的水平支撑杆之间设有拱形连接桥,进一步提高石英舟的强度。

作为本设计的进一步改进,所述上槽棒的槽口设置在所述上槽棒内侧,所述上槽棒的槽口和所述下槽棒的槽口开口处均设有夹角为60°的导向口,所述上槽棒的槽口顶面设有夹角为90°的上导口,便于石墨片材的插入以及防止撞伤石墨片材。

本实用新型的有益效果是:本实用新型通过连接上槽棒和下槽棒的水平支撑杆以及竖直支撑杆提高石英舟的整体强度,通过支架提高石英舟在所述限位棒便于拿取石英舟时对石英舟中部进行支撑。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的正面结构示意图。

图2是本实用新型的侧面示意图。

图3是本实用新型的下槽棒示意图。

图4是本实用新型的下槽棒俯视局部结构示意图。

图5是本实用新型的下槽棒正面局部结构示意图。

在图中1.下槽棒,2.限位棒,3.槽口,4.侧板,5.上槽棒,6.水平支撑杆,7.竖直支撑杆,8.抓取通孔,9.连接桥,10.支脚,11.导向口,12.上导口。

具体实施方式

下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本实用新型,其中的示意性实施例以及说明仅用来解释本实用新型,但并不作为对本实用新型的限定。

实施例:一种重载石英舟,包括相对设置的侧板4、设置在所述侧板4之间的上槽棒5和下槽棒1,所述上槽棒5和所述下槽棒1均设有槽口3,所述侧板4设有抓取通孔8,所述上槽棒5设有竖直的竖直支撑杆7,所述下槽棒1设有水平的水平支撑杆6,所述水平支撑杆6与所述竖直支撑杆7连接处设有向下延伸的支脚10,所述下槽棒1中部设有水平的限位棒2。

上述设计中通过连接上槽棒5和下槽棒1的水平支撑杆6以及竖直支撑杆7提高石英舟的整体强度,通过支架提高石英舟在所述限位棒2便于拿取石英舟时对石英舟中部进行支撑。

作为本设计的进一步改进,两根所述下槽棒1上的水平支撑杆6镜像设置,镜像设置的水平支撑杆6之间设有拱形连接桥9,进一步提高石英舟的强度。

作为本设计的进一步改进,所述上槽棒5的槽口3设置在所述上槽棒5内侧,所述上槽棒5的槽口3和所述下槽棒1的槽口3开口处均设有夹角为60°的导向口11,所述上槽棒5的槽口3顶面设有夹角为90°的上导口12,便于石墨片材的插入以及防止撞伤石墨片材。

以上所述仅为本实用新型的实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

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