一种具有冷凝功能的多晶硅生产制造用氯化氢合成炉的制作方法

文档序号:15503223发布日期:2018-09-21 22:50阅读:105来源:国知局

本实用新型涉及多晶硅生产设备技术领域,具体为一种具有冷凝功能的多晶硅生产制造用氯化氢合成炉。



背景技术:

多晶硅是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。

现有的西门子法多晶硅制备方法需要使用到氯化氢合成炉,通过氯化氢合成炉进行氯化氢的合成,通过合成氯化氢方便进行多晶硅的制备,氯化氢的合成需要进行氯气和氢气的点燃,点燃会产生大量的反应热,过大的热量,会造成仪器设备的损坏,从而影响氯化氢的生产。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种具有冷凝功能的多晶硅生产制造用氯化氢合成炉,具备冷凝功能的优点,解决了现有氯化氢合成炉不能进行有效的散热容易造成合成炉损坏影响氯化氢生产的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种具有冷凝功能的多晶硅生产制造用氯化氢合成炉,包括氯化氢合成炉,所述氯化氢合成炉包括合成炉体,所述合成炉体的外侧设有保护外壳,所述合成炉体的内部设有点燃合成内炉,所述保护外壳与点燃合成内炉之间形成有冷凝室,所述冷凝室的内部设有冷凝吸热水管,所述冷凝吸热水管套接在点燃合成内炉的外侧,所述冷凝吸热水管的顶端连接有冷凝进水管,所述冷凝吸热水管的底端连接有冷凝出水管,所述保护外壳的内部开设有延伸开口,所述冷凝进水管和冷凝出水管均通过延伸开口延伸至合成炉体的外侧,所述冷凝进水管的内部开设有进水口,所述冷凝吸热水管的顶端固定连通有第二连接管,所述冷凝吸热水管的顶端通过第二连接管与冷凝进水管进行连接,所述冷凝出水管的内部开设有出水口,所述冷凝吸热水管的底端固定连通有第一连接管,所述冷凝吸热水管的底端通过第一连接管与冷凝出水管进行连接。

优选的,所述点燃合成内炉的底部分别固定连通有氢气进气管和氯气进气管,所述氢气进气管和氯气进气管的另一端均贯穿保护外壳延伸至合成炉体的外侧,所述氢气进气管位于氯气进气管的左侧。

优选的,所述点燃合成内炉的顶部固定连通有氯化氢出气管,所述氯化氢出气管的顶端贯穿保护外壳延伸至合成炉体的外侧。

优选的,所述氯化氢出气管的顶端连接有密封顶板,所述密封顶板的顶部固定连接有控制把手,所述氯化氢出气管的内部开设有出气口,所述密封顶板的底部固定连接有合金密封塞,所述密封顶板通过合金密封塞与氯化氢出气管进行连接。

优选的,所述第一连接管和第二连接管的外侧面均设有螺纹连接外层,所述出水口和进水口的内侧面均设有螺纹连接内层,所述第一连接管通过螺纹连接外层与出水口内侧面的螺纹连接内层进行螺纹连接,所述第二连接管通过螺纹连接外层与进水口内侧面的螺纹连接内层进行螺纹连接。

优选的,所述合金密封塞的外表面设有螺纹连接外层,所述出气口的内侧面设有螺纹连接内层,所述合金密封塞通过螺纹连接外层与出气口内侧的螺纹连接内层进行螺纹连接。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:

1、本实用新型通过设置密封顶板和合金密封塞对氯化氢出气管进行密封,方便点燃合成内炉进行氯化氢的合成处理,不易发生气体泄漏,提高合成效率。

2、本实用新型通过设置冷凝吸热水管进行点燃合成内炉的吸热散热处理,通过从冷凝进水管内接入冷凝水,通过冷凝水在冷凝吸热水管内的流动,吸走制备过程中产生的热量,通过从冷凝出水管排出,从而带走内部的热量,起到冷凝散热的效果,从而对仪器进行有效的保护,提高氯化氢合成炉的使用寿命,达到了冷凝功能的优点,从而有效的解决了现有氯化氢合成炉不能进行有效的散热容易造成合成炉损坏影响氯化氢生产的问题。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图;

图2为本实用新型内部结构示意图;

图3为本实用新型冷凝出水管结构示意图;

图4为本实用新型冷凝进水管结构示意图;

图5为本实用新型氯化氢出气管结构示意图。

图中:1氯化氢合成炉、2合成炉体、3氢气进气管、4氯气进气管、5氯化氢出气管、6冷凝进水管、7冷凝出水管、8保护外壳、9冷凝室、10点燃合成内炉、11 冷凝吸热水管、12第一连接管、13出水口、14第二连接管、15进水口、16密封顶板、17控制把手、18出气口、19合金密封塞。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5,一种具有冷凝功能的多晶硅生产制造用氯化氢合成炉,包括氯化氢合成炉1,氯化氢合成炉1包括合成炉体2,合成炉体2的外侧设有保护外壳8,合成炉体2的内部设有点燃合成内炉10,点燃合成内炉10的底部分别固定连通有氢气进气管3和氯气进气管4,氢气进气管3和氯气进气管4的另一端均贯穿保护外壳 8延伸至合成炉体2的外侧,氢气进气管3位于氯气进气管4的左侧,点燃合成内炉 10的顶部固定连通有氯化氢出气管5,氯化氢出气管5的顶端贯穿保护外壳8延伸至合成炉体2的外侧,氯化氢出气管5的顶端连接有密封顶板16,密封顶板16的顶部固定连接有控制把手17,通过控制把手17方便控制密封连接块19与氯化氢出气管5的连接与分离,氯化氢出气管6的内部开设有出气口18,密封顶板16的底部固定连接有合金密封塞19,密封顶板16通过合金密封塞19与氯化氢出气管5进行连接,通过设置密封顶板16和合金密封塞19对氯化氢出气管5进行密封,方便点燃合成内炉10进行氯化氢的合成处理,不易发生气体泄漏,提高合成效率,合金密封塞19的外表面设有螺纹连接外层,出气口18的内侧面设有螺纹连接内层,合金密封塞19通过螺纹连接外层与出气口18内侧的螺纹连接内层进行螺纹连接,通过螺纹连接方便对密封连接块19进行固定,且提高了密封效果,方便控制密封连接块19 与氯化氢出气管5进行连接与分离,保护外壳8与点燃合成内炉10之间形成有冷凝室9,冷凝室9的内部设有冷凝吸热水管11,冷凝吸热水管11套接在点燃合成内炉 10的外侧,冷凝吸热水管11的顶端连接有冷凝进水管6,冷凝吸热水管11的底端连接有冷凝出水管7,通过设置冷凝吸热水管11进行点燃合成内炉10的吸热散热处理,通过从冷凝进水管6内接入冷凝水,通过冷凝水在冷凝吸热水管11内的流动,吸走制备过程中产生的热量,通过从冷凝出水管7排出,从而带走内部的热量,起到冷凝散热的效果,从而对仪器进行有效的保护,提高氯化氢合成炉1的使用寿命,保护外壳8的内部开设有延伸开口,冷凝进水管6和冷凝出水管7均通过延伸开口延伸至合成炉体2的外侧,冷凝进水管6的内部开设有进水口15,冷凝吸热水管11 的顶端固定连通有第二连接管14,冷凝吸热水管11的顶端通过第二连接管14与冷凝进水管6进行连接,冷凝出水管7的内部开设有出水口13,冷凝吸热水管11的底端固定连通有第一连接管12,冷凝吸热水管11的底端通过第一连接管12与冷凝出水管7进行连接,第一连接管12和第二连接管14的外侧面均设有螺纹连接外层,出水口13和进水口15的内侧面均设有螺纹连接内层,第一连接管12通过螺纹连接外层与出水口13内侧面的螺纹连接内层进行螺纹连接,第二连接管14通过螺纹连接外层与进水口15内侧面的螺纹连接内层进行螺纹连接,通过螺纹连接方便对冷凝进水管6和冷凝出水管7进行拆卸,从而方便对冷凝进水管6和冷凝出水管7进行保护和清洗,方便冷凝管的使用,达到了冷凝功能的优点,从而有效的解决了现有氯化氢合成炉1不能进行有效的散热容易造成合成炉损坏影响氯化氢生产的问题。

工作原理:该具有冷凝功能的多晶硅生产制造用氯化氢合成炉使用时,通过氢气进气管3输送氢气进入到点燃合成内炉10内,通过氯气进气管4输送氯气进入到点燃合成内炉10内,通过点燃合成内炉10进行点燃处理,使得氯气和氢气反应制成氯化氢,从而方便使用氯化氢进行多晶硅的制备。

综上所述:该具有冷凝功能的多晶硅生产制造用氯化氢合成炉,通过设置密封顶板16和合金密封塞19对氯化氢出气管5进行密封,方便点燃合成内炉10进行氯化氢的合成处理,不易发生气体泄漏,提高合成效率,通过设置冷凝吸热水管11进行点燃合成内炉10的吸热散热处理,通过从冷凝进水管6内接入冷凝水,通过冷凝水在冷凝吸热水管11内的流动,吸走制备过程中产生的热量,通过从冷凝出水管7 排出,从而带走内部的热量,起到冷凝散热的效果,从而对仪器进行有效的保护,提高氯化氢合成炉1的使用寿命,解决了现有氯化氢合成炉1不能进行有效的散热容易造成合成炉损坏影响氯化氢生产的问题。

需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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