1.一种冷壁CVD法石墨烯制备装置的参数在线量值保证系统，其特征在于，包括石墨烯制备机构与量值保证机构，所述石墨烯制备机构包括主腔体、真空测控单元、温度测控单元、液体流量测控单元、气体流量测控单元，所述量值保证机构包括量值保证单元、控制处理单元，其中：
真空测控单元，包括测量真空传感器，用于测量所述主腔体内的真空度；
温度测控单元，包括测量热电偶，用于测量所述主腔体内的温度；
液体流量测控单元，包括液体流量计，用于测量所述主腔体外的循环冷却液流量；
气体流量测控单元，包括气体流量计，用于测量进入所述主腔体内的气体流量；
量值保证单元，包括参考热电偶、参考真空传感器、参考气体流量计、参考液体流量计，分别获取参考温度、参考真空度、参考气体流量、参考循环冷却液流量，其中，所述参考热电偶、所述参考真空传感器分别与对应的测量热电偶、测量真空传感器并联连接，所述参考气体流量计、所述参考液体流量计分别与对应的气体流量计、液体流量计串联连接；
控制处理单元，与所述真空测控单元、所述温度测控单元、所述液体流量测控单元、所述气体流量测控单元、所述量值保证单元通信连接。
2.根据权利要求1所述的冷壁CVD法石墨烯制备装置的参数在线量值保证系统，其特征在于，所述主腔体内设置样品传动模块，用于放置样品进行反应。
3.根据权利要求1所述的冷壁CVD法石墨烯制备装置的参数在线量值保证系统，其特征在于，所述真空测控单元还包括电磁高真空插板阀、分子泵、机械泵、副腔体，其中：
所述分子泵与所述机械泵分别设置所述电磁高真空插板阀，进而并联连接于副腔体；
所述副腔体与所述主腔体通过所述电磁高真空插板阀连接。
4.根据权利要求1所述的冷壁CVD法石墨烯制备装置的参数在线量值保证系统，其特征在于，温度测控单元还包括：
加热模块，位于所述主腔体内，用于为所述主腔体加热。
5.根据权利要求1所述的冷壁CVD法石墨烯制备装置的参数在线量值保证系统，其特征在于，液体流量测控单元还包括冷却水过滤网、水泵、水路管道，其中：
所述冷却水过滤网、所述水泵、所述液体流量计与所述参考液体流量计均设置在所述水路管道上。
6.根据权利要求1所述的冷壁CVD法石墨烯制备装置的参数在线量值保证系统，其特征在于，气体流量测控单元还包括电控微漏阀、减压阀、气瓶、气路管道，其中：
多条气路管道并联设置，一端连接所述主腔体，另一端连接所述气瓶，每条气路管道上均设置所述电控微漏阀、所述减压阀、所述气体流量计、所述参考气体流量计。