一种用于炉体的接线工装的制作方法

本实用新型涉及半导体材料加工领域，尤其涉及一种用于单晶炉体的接线工装。本实用新型适用于单晶炉使用，还适用于多晶炉、扩散炉、退火炉、合成炉、氧化炉等需要接电缆通电工业装备或设备。

背景技术：

近年来，随着国内半导体行业的快速迅猛发展，对半导体材料的质量也提出了更加严格的要求，特别是对单晶生长的质量和生产设备的要求。其中炉体加热需要大功率加热，但是为了保证安全用电，都实行大电流，低电压；大电流就造成需要相应的电缆。如果电缆直接接到电极上，会有一定的下坠力，拉裂电极和炉丝焊接处；炉体表面有一定的热量挥发，挥发出来的热量就会烘烤电缆表面绝缘层，使其老化脱皮，电缆丝易老化，影响使用寿命；短时间内需要更换新电缆；如要使用高温电缆，成本太高，长时间也需要更换电缆。更换电缆需要停炉，等温度降低时才能更换，浪费时间成本。

技术实现要素：

针对现有技术中炉体接线方法存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种炉体接线工装，其具有：成本低，结构简单、设计合理、使用方便、便于更换、操作稳定，重复使用等优点。

为了达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案实现：

一种用于炉体的接线工装，其特点在于：该工装包括电木板、支撑板、铝排、螺柱、螺母；电木板按电极间距开相应的通孔i（对应电极数量开孔），支撑板上开2个固定电木板的通孔iv、通孔v；并在与支撑板的通孔iv、通孔v相对应的电木板位置开通孔ii、通孔iii。铝排两端开通孔vi、通孔vii，其中支撑板按要求固定在炉体指定的位置上；用螺柱穿过电木板上的通孔ii和支撑板上的通孔iv并用螺母固定住，用螺柱穿过电木板上的通孔iii和支撑板上的通孔v并用螺母固定住；用螺柱穿过铝排上的通孔vi并用螺母固定在电极上，用螺柱穿过铝排上的通孔vii和电木板上的通孔i并用螺母固定住；可按照电极的数量、间距进行增减安装相应的铝排和电木板通孔。

本实用新型的优点：操作简单，方便快捷；用支撑板、电木板、铝排三者结合，减少炉体表面温度传递，保护电缆绝缘层，延迟电缆使用寿命；防止电缆下坠的作用力传递到炉体电极上，使其电极和炉丝之间的焊接处开裂，对炉体造成致命伤害；电缆在电木板上和铝排相交，远离炉体表面温度，增加电缆使用寿命；还具有广泛的适用性，不仅适用于单晶炉使用，还适用于多晶炉、扩散炉、退火炉、合成炉、氧化炉等采用电极加热的工业装备或设备。

附图说明

图1为本实用新型接线工装安装在炉体上的装配结构示意图。

图2为本实用新型电木板的结构示意图。

图3为本实用新型的支撑板结构示意图。

图4为本实用新型的支撑板背面的通孔结构示意图。

图5为本实用新型的铝排的通孔的结构示意图。

附图中

1、炉体；2、电木板；3、铝排；4、螺柱；5、支撑板；6、螺母；7、电极；8、通孔i；9、通孔ii；10、通孔iii；11、通孔iv；12、通孔v；13、通孔vi、14、通孔vii。

具体实施方式

下面结合说明附图对本实用新型一种用于炉体接线方法作以详细说明。

一种用于炉体的接线工装，如图1-5所示：该工装包括电木板2、支撑板5、铝排3、螺柱4、螺母6；电木板2按电极7间距开相应的通孔i8（对应电极7数量开孔），支撑板5上开2个固定电木板2的通孔iv11、通孔v12；并在与支撑板5的通孔iv11、通孔v12相对应的电木板2位置开通孔ii9、通孔iii10。铝排3两端开通孔vi13、通孔vii14，其中支撑板5按要求固定在炉体1指定的位置上；用螺柱穿过电木板2上的通孔ii9和支撑板5上的通孔iv11并用螺母6固定住，用螺柱4穿过电木板2上的通孔iii10和支撑板5上的通孔v12并用螺母6固定住；用螺柱4穿过铝排3上的通孔vi13并用螺母6固定在电极7上，用螺柱4穿过铝排3上的通孔vii14和电木板2上的通孔i8并用螺母6固定住；可按照电极7的数量、间距进行增减安装相应的铝排3和电木板2的通孔。

本实用新型除了在本实施例中用于单晶炉使用，还适用于多晶炉、扩散炉、退火炉、合成炉、氧化炉等采用电极加热的工业装备或设备，均取得了很好的效果。

上述的对实施例的描述是为便于该技术领域的普通技术人员能理解和应用本实用新型。熟悉本领域技术的人员显然可以容易地对这些实施例做出各种修改，并把在此说明的一般原理应用到其他实施例中而不必经过创造性的劳动。因此，本实用新型不限于这里的实施例，本领域技术人员根据本实用新型的揭示，不脱离本实用新型范畴所做出的改进和修改都应该在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种用于炉体的接线工装，其特征在于：该工装包括电木板（2）、支撑板（5）、铝排（3）、螺柱（4）、螺母（6）；电木板（2）按电极（7）间距开相应的通孔i（8），支撑板（5）上开2个固定电木板（2）的通孔iv（11）、通孔v（12）；并在与支撑板（5）的通孔iv（11）、通孔v（12）相对应的电木板（2）位置开通孔ii（9）、通孔iii(10)。

2.铝排（3）两端开通孔vi（13）、通孔vii（14），其中支撑板（5）按要求固定在炉体（1）指定的位置上；用螺柱穿过电木板（2）上的通孔ii（9）和支撑板（5）上的通孔iv（11）并用螺母（6）固定住，用螺柱（4）穿过电木板（2）上的通孔iii（10）和支撑板（5）上的通孔v（12）并用螺母（6）固定住；用螺柱（4）穿过铝排（3）上的通孔vi（13）并用螺母（6）固定在电极（7）上，用螺柱（4）穿过铝排（3）上的通孔vii（14）和电木板（2）上的通孔i（8）并用螺母（6）固定住；可按照电极（7）的数量、间距进行增减安装相应的铝排（3）和电木板（2）的通孔。

技术总结
一种用于炉体的接线工装，包括电木板、支撑板、铝排、螺柱、螺母；电木板按电极间距开相应的通孔I、通孔II、通孔III，支撑板上开2个固定电木板的通孔IV、通孔V；铝排两端开通孔VI、通孔VII，用螺柱穿过电木板上的通孔II和支撑板上的通孔IV并用螺母固定住，用螺柱穿过电木板上的通孔III和支撑板上的通孔V并用螺母固定住；用螺柱穿过铝排上的通孔VI并用螺母固定在电极上，用螺柱穿过铝排上的通孔VII和电木板上的通孔I并用螺母固定住；本实用新型优点：成本低，结构简单、设计合理、使用方便、便于更换、操作稳定，重复使用等优点。

技术研发人员：张庆龙;绳仁龙;田晓凡
受保护的技术使用者：山东圆坤电子科技有限公司
技术研发日：2019.12.06
技术公布日：2020.07.28