一种大型退火炉用旋转进出料装置的制作方法

1.本实用新型涉及大型退火炉技术领域，具体涉及一种大型退火炉用旋转进出料装置。


背景技术：

2.退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理，退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。
3.但现有的大型退火炉装置，大多都是直接进料和出料，且不能够进行旋转因进料和出料使用的使两个不同的设备，导致制作成本较高。


技术实现要素：

4.为解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型提供了一种大型退火炉用旋转进出料装置，具有进料和出料采用同一个设备，同时可进行旋转进出料的特点。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种大型退火炉用旋转进出料装置，包括退火炉，所述退火炉的左侧设置有集料斗，所述集料斗的下端面固定连接有隔板，所述隔板的下端面安装有转筒，所述转筒的下端面固定连接有支板，所述转筒的上端面贯穿开设有多个均匀分布的下料孔，多个所述下料孔的下端面均贯穿支板并延伸至支板的下端面，所述支板的下端面安装有固定板，所述固定板的下端面连通有出料管，所述出料管的右侧连通有下料管，所述退火炉的左侧连通有转接管，所述转接管与下料管的另一端连通。
6.为了实现旋转进料的效果，作为本实用新型一种大型退火炉用旋转进出料装置优选的，所述固定板的内部开设有多个与下料孔相匹配的通孔，所述固定板的下方设置有电机，所述电机位于出料管的左侧，所述电机的输出端固定连接有转轴，所述转轴的上端面贯穿固定板并延伸至支板的下端面。
7.为了使集料斗内的物料顺利下落至转筒内，作为本实用新型一种大型退火炉用旋转进出料装置优选的，所述隔板的内部安装有遮挡板，所述遮挡板的右侧固定连接有转块，所述转块位于隔板的右侧。
8.为了使转接管顺利转动，作为本实用新型一种大型退火炉用旋转进出料装置优选的，所述退火炉的左侧开设进料口，所述进料口与转接管连通，所述转接管和退火炉的左侧之间安装有两个活动轴。
9.为了实现旋转出料，作为本实用新型一种大型退火炉用旋转进出料装置优选的，所述转接管的上端面固定连接有转动杆。
10.为了控制下料的速度，避免速度太快导致将转筒堵塞，作为本实用新型一种大型退火炉用旋转进出料装置优选的，所述集料斗为漏斗状。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
12.1、该种大型退火炉用旋转进出料装置，将需要退火的物料加入集料斗，再通过隔板进入转筒内，通过转筒内的下料孔与通孔重合，可将物料下落至出料管内，再由下料管进入转接管，通过转接管可进入退火炉内进行退火，当出料时，可旋转转接管，使转接管带动下料管以及转筒和集料斗反转，再通过转接管以及下料管可将物料排至出料管内，使电机带动转筒转动，当下料孔与通孔和出料管重合时，物料可由集料斗排出，进而实现了旋转进出料的效果。
13.2、该种大型退火炉用旋转进出料装置，启动电机，使电机带动转轴转动，促使转轴带动支板以及转筒转动，当下料孔与通孔重合时，同时通孔与出料管连通时，可使物料顺利下落至出料管内，由下料管输送至退火炉内，进而实现了旋转进料的效果。
14.综上所述，该种大型退火炉用旋转进出料装置实现了进料和出料采用同一个设备，同时可进行旋转进出料的效果。
附图说明
15.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。
16.在附图中：
17.图1为本实用新型的一种大型退火炉用旋转进出料装置结构图；
18.图2为本实用新型的集料斗和转筒剖面图；
19.图3为本实用新型的转筒横截面图；
20.图4为本实用新型的转筒俯视图。
21.图中，1、退火炉；101、活动轴；102、进料口；2、集料斗；201、隔板；202、遮挡板；203、转块；3、转筒；301、下料孔；302、支板；4、固定板；401、通孔；5、电机；501、转轴；6、出料管；601、下料管；7、转接管；701、转动杆。
具体实施方式
22.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
23.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
24.请参阅图1
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4，本实用新型提供以下技术方案：一种大型退火炉用旋转进出料装置，包括退火炉1，退火炉1的左侧设置有集料斗2，集料斗2的下端面固定连接有隔板201，隔板201的下端面安装有转筒3，转筒3的下端面固定连接有支板302，转筒3的上端面贯穿开设有多个均匀分布的下料孔301，多个下料孔301的下端面均贯穿支板302并延伸至支板302的下端面，支板302的下端面安装有固定板4，固定板4的下端面连通有出料管6，出料管6的右
侧连通有下料管601，退火炉1的左侧连通有转接管7，转接管7与下料管601的另一端连通。
25.本实施例中：将需要退火的物料加入集料斗2，再通过隔板201进入转筒3内，通过转筒3内的下料孔301与通孔401重合，可将物料下落至出料管6内，再由下料管601进入转接管7，通过转接管7可进入退火炉1内进行退火，当出料时，可旋转转接管7，使转接管7带动下料管601以及转筒3和集料斗2反转，再通过转接管7以及下料管601可将物料排至出料管6内，使电机5带动转筒3转动，当下料孔301与通孔401和出料管6重合时，物料可由集料斗2排出，进而实现了旋转进出料的效果。
26.作为本实用新型的一种技术优化方案，固定板4的内部开设有多个与下料孔301相匹配的通孔401，固定板4的下方设置有电机5，电机5位于出料管6的左侧，电机5的输出端固定连接有转轴501，转轴501的上端面贯穿固定板4并延伸至支板302的下端面。
27.本实施例中：启动电机5，电机5的型号为m540
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401，使电机5带动转轴501转动，促使转轴501带动支板302以及转筒3转动，当下料孔301与通孔401重合时，同时通孔401与出料管6连通时，可使物料顺利下落至出料管6内，由下料管601输送至退火炉1内，进而实现了旋转进料的效果。
28.作为本实用新型的一种技术优化方案，隔板201的内部安装有遮挡板202，遮挡板202的右侧固定连接有转块203，转块203位于隔板201的右侧。
29.本实施例中：当需要向退火炉1内加入物料时，手动向右拉动转块203，使转块203带动遮挡板202向右移动，进而可将隔板201打开，使集料斗2内的物料顺利下落至转筒3内。
30.作为本实用新型的一种技术优化方案，退火炉1的左侧开设进料口102，进料口102与转接管7连通，转接管7和退火炉1的左侧之间安装有两个活动轴101。
31.本实施例中：当下料管601内的物料下落至转接管7内，通过转接管7和进料口102可进入退火炉1，通过活动轴101可使转接管7顺利转动，以便于实现旋转进出料的效果。
32.作为本实用新型的一种技术优化方案，转接管7的上端面固定连接有转动杆701。
33.本实施例中：当出料时可手持转动杆701向外扳动，进而可使转动杆701带动转接管7以及下料管601转动，促使转筒3和集料斗2转动，直至集料斗2的开口朝下，进而可实现旋转出料。
34.作为本实用新型的一种技术优化方案，集料斗2为漏斗状。
35.本实施例中：通过集料斗2为漏斗状可控制下料的速度，避免速度太快导致将转筒3堵塞。
36.本实用新型的工作原理及使用流程：首先将需要退火的物料加入集料斗2，接着手动向右拉动转块203，使转块203带动遮挡板202向右移动，进而可将隔板201打开，使集料斗2内的物料顺利下落至转筒3内，其次启动电机5，使电机5带动转轴501转动，促使转轴501带动支板302以及转筒3转动，当下料孔301与通孔401重合时，同时通孔401与出料管6连通时，可使物料顺利下落至出料管6内，由下料管601输送至退火炉1内，最后手持转动杆701向外扳动，进而可使转接管7带动下料管601以及转筒3和集料斗2反转，再通过转接管7以及下料管601可将物料排至出料管6内，使电机5带动转筒3转动，当下料孔301与通孔401和出料管6重合时，物料可由集料斗2排出，进而实现了旋转进出料的效果。
37.以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保
护范围之内。