一种石英管真空封管装置的制作方法

本实用新型涉及半导体材料制造技术领域，尤其涉及一种石英管真空封管装置。

背景技术：

石英管真空封口设备能够用于实现热电材料的真空密封保存，广泛应用于高校和研究所的实验室等场所。目前的石英管真空封口设备一般包括立式封口机和卧式封口机，立式和卧式是根据石英管的放置状态命名的，封口机一般包括支座，支座上设置有石英管在线旋转真空抽取系统，石英管在线旋转真空抽取系统具有供待封口的石英管安装的真空接头，石英管真空封口设备还包括氢氧火焰枪。在现有技术中，目前对无法对多根石英管同时进行封管操作，且操作复杂，使得工作效率低。

技术实现要素：

为了解决现有技术中存在的问题，本实用新型提供了一种石英管真空封管装置，所述技术方案如下：

本实用新型提供一种石英管真空封管装置，用于给石英管真空封口，包括石英管在线旋转真空抽取系统、石英管支撑平台和火焰枪固定支架，所述石英管在线旋转真空抽取系统包括机体外壳、真空泵和调速电机，所述机体外壳上设有一个或多个石英管真空接头，所述石英管的开口端接在所述石英管真空接头上，所述真空泵用于给所述石英管抽真空，所述调速电机用于驱动所述石英管以其轴线为中心进行旋转；所述石英管支撑平台与所述石英管在线旋转真空抽取系统相对设置，所述石英管支撑平台上设有一个或多个石英管固定座，所述石英管固定座与所述石英管支撑平台枢轴连接；所述火焰枪固定支架设有一个或多个火焰枪固定卡槽。

进一步地，所述石英管固定座与所述石英管真空接头一一对应，所述石英管的一端竖直固定在所述石英管固定座上，另一端竖直固定在所述石英管真空接头上。

进一步地，所述石英管真空封管装置还包括基座，所述机体外壳通过支杆固定在所述基座上方，所述石英管支撑平台放置在所述基座和所述机体外壳之间。

进一步地，所述真空泵设置在所述机体外壳外部，并通过波纹管与所述机体外壳上设置的真空挡板阀相连。

进一步地，所述调速电机设置在所述机体外壳内部，所述调速电机通过同步带轮驱动所述石英管旋转。

进一步地，所述调速电机驱动所述石英管以1-20r/min的转速进行旋转。

进一步地，所述机体外壳上还设有一个或多个直通阀，所述直通阀的一端与所述石英管真空接头对应相连，其另一端通过磁流体部件与所述真空挡板阀相连，所述直通阀能够相对于所述真空挡板阀转动，所述磁流体部件通过所述同步带轮的传动发生转动。

进一步地，所述火焰枪固定支架包括竖杆和横杆，所述竖杆竖直固定在所述基座上，所述横杆通过调节装置固定在所述竖杆上，所述调节装置用于调节所述横杆相对所述竖杆上下左右移动以及调节所述横杆所在的方位。

进一步地，所述石英管支撑平台为升降式平台。

进一步地，所述石英管固定座通过滚珠式轴承与所述石英管支撑平台枢轴连接。

本实用新型提供的技术方案带来的有益效果如下：

a.能够同时对多根石英管进行封管；

b.结构简单，操作便捷；

c.石英管封管的效率得到提升。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的石英管真空封管装置的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的石英管真空封管装置的侧面示意图；

图3是本实用新型实施例提供的石英管真空封管装置的石英管支撑平台结构示意图；

图4是本实用新型实施例提供的石英管真空封管装置的滚珠式轴承结构示意图；

图5是本实用新型实施例提供的石英管真空封管装置的火焰枪固定支架结构示意图。

其中，附图标记包括：100-机体外壳，101-电源连接口，102-显示屏，103-压力表，104-放气阀，105-进气阀，106-真空挡板阀，107-调速按钮，108-电源开关，109-波纹管，110-直通阀，111-石英管真空接头，112-真空泵，2-石英管支撑平台，201-石英管固定座，202-滚珠式轴承，203-升降支架，204-固定柱，3-火焰枪固定支架，301-上下调节旋钮，302-左右调节旋钮，303-火焰枪固定卡槽，304-竖杆，305-横杆，4-基座，5-石英管，6-支杆。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，本实用新型的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本实用新型的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、装置、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。

在本实用新型的一个实施例中，提供了一种石英管真空封管装置，具体结构参见图1和图2，用于给石英管5真空封口，包括石英管在线旋转真空抽取系统、石英管支撑平台2、火焰枪固定支架3和基座4，所述石英管在线旋转真空抽取系统包括机体外壳100、真空泵112和调速电机，所述机体外壳100通过支杆6固定在所述基座4上方，所述机体外壳100上设有一个或多个石英管真空接头111，所述石英管5的开口端接在所述石英管真空接头111上，所述真空泵112能够同时给多个石英管5抽真空，所述调速电机能够驱动所述石英管5以其轴线为中心进行旋转；

所述石英管支撑平台2与所述石英管在线旋转真空抽取系统相对设置，并放置在所述基座4和所述机体外壳100之间，参见图3，所述石英管支撑平台2为升降式平台，通过其设置的升降支架203进行升降调节，所述升降支架203利用x形结构或连杆结构进行设计，需要说明的是所述石英管支撑平台2的升降方式包括但不局限于上述，还应包括技术效果等同的其他技术方案，比如电动式升降；所述石英管支撑平台2上设有一个或多个石英管固定座201，所述石英管固定座201与所述石英管真空接头111一一对应，比如两者均设置为4个，比实现同时对4根装有热电材料的石英管5统一进行真空封管，所述石英管5的一端竖直固定在所述石英管固定座201上，另一端竖直固定在所述石英管真空接头111上，形成一一对应；所述石英管固定座201顶部设有用于固定所述石英管5的固定孔，其底部设有滚珠式轴承202，所述石英管固定座201通过滚珠式轴承202与所述石英管支撑平台2枢轴连接，具体的，参见图4，所述滚珠式轴承202的外圈与所述石英管固定座201底部固定，所述滚珠式轴承202的内圈通过固定柱204固定在所述石英管支撑平台2上，这样能够使多个所述石英管固定座201在所述石英管支撑平台2上发生自转；

所述火焰枪固定支架3包括竖杆304和横杆305，所述竖杆304竖直固定在所述基座4上，参见图5，所述横杆305上设有一个或多个火焰枪固定卡槽303，所述横杆305通过调节装置固定在所述竖杆304上，所述调节装置能够调节所述横杆305相对所述竖杆304上下左右移动以及调节所述横杆305所在的方位，以实现横向和纵向上同时任意调节位置，具体地，所述调节装置设有上下调节旋钮301和左右调节旋钮302，所述上下调节旋钮301能够使得所述横杆305沿所述竖杆304上下移动并发生转动，所述左右调节旋钮302能够使得所述横杆305沿水平面的某一反向发生移动。

在本实用新型的一个实施例中，所述真空泵112设置在所述机体外壳100外部，并通过波纹管109与所述机体外壳100上设置的真空挡板阀106相连，而所述调速电机设置在所述机体外壳100内部，所述调速电机通过同步带轮驱动所述石英管5旋转，所述调速电机驱动所述石英管5以1-20r/min的转速进行旋转，合理利用所述机体外壳100的内部空间，并减少了所述机体外壳100振动对封管产生的影响。

在本实用新型的一个实施例中，所述机体外壳100上还设有一个或多个直通阀110，所述直通阀110的一端与所述石英管真空接头111对应相连，其另一端通过磁流体部件与所述真空挡板阀106相连，所述直通阀110能够相对于所述真空挡板阀106转动，所述磁流体部件通过所述同步带轮的传动发生转动，具体地，所述调速电机上装有同步带轮，所述同步带轮与磁流体部件连接，所述磁流体部件内部含有磁流体，所述磁流体部件上方连接真空挡板阀106，以实现旋转密封，下方连接直通阀110。

在本实用新型的一个实施例中，所述机体外壳100上还设有电源连接口101、显示屏102、压力表103、放气阀104、进气阀105、调速按钮107和电源开关108，所述调速按钮107和显示屏102都与所述石英管真空接头111一一对应，所述调速按钮107能够调节所述调速电机的转速，通过石英管5动力传输带动石英管固定座201旋转，从而使石英管5旋转，压力表103、放气阀104和进气阀105用来配合对真空管5抽真空。

在本实用新型的一个实施例中，使用所述石英管真空封管装置时，先将装有热电材料的石英管的封口端装到石英管真空接头，通过调节可升降的石英管支撑平台使石英管的底端有效固定在石英管固定座上；关闭进气阀和放气阀，打开直通阀，开启真空泵，通过旋转真空挡板阀调节抽速，使装有热电材料的石英管内部达到一定的真空度；将火焰枪分别固定在火焰枪固定卡槽内，通过左右调节旋钮和上下调节旋钮使火焰枪与石英管封口一一对应；打开调速电机，通过调速按钮调节速率，打开火焰枪进行封口。使用火焰枪石英管周向加热熔融，由压差在加热处产生缩颈，将石英柱装进石英管，石英柱卡在缩颈处，对石英管旋转抽真空同时使用火焰枪加热，使石英管与石英柱烧结密封。

本实用新型提供的石英管真空封管装置简化并规范材料合成过程中的真空封管操作，大幅度提高劳动效率，提高了产能，通过制备过程的优化，构架了特定的真空装置，使用可升降石英管支撑平台和可调节的火焰枪固定支架，以实现对石英管进行一次性多根同时封管，有利于工作效率的提高和产能的提升，可广泛应用于真空封管的领域。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。