石英舟的制作方法

1.本公开涉及材料制造领域，尤其涉及一种石英舟。


背景技术：

2.锗多晶区熔制备过程中，石英舟是关键部件之一。
3.石英舟的形状是影响锗多晶的制备过程的因素之一，鉴于此，有必要在石英舟的形状上进一步改进，以改善锗多晶的制备过程。


技术实现要素：

4.鉴于背景技术中存在的问题，本公开的一目的在于提供一种石英舟，其便于在使用时出入炉。
5.本公开的另一目的在于提供一种石英舟，其能适用于锗多晶的制备。
6.由此，在一些实施例中，一种石英舟具有头部内壁面、尾部内壁面、两侧部内壁面以及底面，头部内壁面、尾部内壁面、两侧部内壁面以及底面形成具有开口的内腔，底面面对开口，尾部内壁面和两侧部内壁面中的至少一个为从底面向开口向外倾斜的斜面；石英舟在头部设置有钩推部，钩推部能够被出入炉的钩子勾推以被带动出入炉。
7.在一些实施例中，头部内壁面为垂直于底面的直立面并用作出炉的钩推部；石英舟还具有头部外壁面，头部外壁面为垂直于底面的直立面并用作入炉的钩推部。
8.在一些实施例中，石英舟还具有头部外壁面，石英舟在头部设置有钩部，钩部从头部的顶部向外延伸并向下弯折以在头部的头部外壁面形成凹口，钩部用作钩推部。
9.在一些实施例中，钩部的凹口在两侧部内壁面相对的方向上贯通。
10.在一些实施例中，钩部的凹口在两侧部内壁面相对的方向上的两端封闭。
11.在一些实施例中，头部内壁面为从底面向开口向外倾斜的斜面。
12.在一些实施例中，尾部内壁面和两侧部内壁面均为从底面向开口向外倾斜的斜面。
13.在一些实施例中，头部内壁面、尾部内壁面、两侧部内壁面以及底面彼此之间的交界处倒圆。
14.在一些实施例中，斜面倾斜的角度为大于60度且小于90度。
15.在一些实施例中，斜面倾斜的角度的范围为70度至80度。
16.本公开的有益效果如下：通过钩推部的设置，石英舟能够在使用时被出入炉的钩子勾推以被带动出入炉。在石英舟制备锗多晶时，锗的性质是热缩冷胀，在熔区冷却过程中，上表面先冷却，内部的锗后冷却，冷却时会膨胀，通过尾部内壁面和两侧部内壁面中的至少一个为从底面向开口向外倾斜的斜面，锗会沿着斜面侧面向上膨胀，从而避免石英舟被胀破，此外，冷胀过程不会挤压籽晶，避免籽晶在区熔过程中移动，进而提高了制备的锗多晶的品质。
附图说明
17.图1是根据本公开的第一实施例的石英舟的立体图。
18.图2是图1的从头部观察的前视图。
19.图3是图1的侧视图。
20.图4是根据本公开的第二实施例的石英舟的立体图。
21.图5是图4的仰视立体图。
22.图6是图5的变形例。
23.图7是根据本公开的第三实施例的石英舟的立体图。
24.图8是图7的侧视图。
25.其中，附图标记说明如下：
26.100石英舟
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5内腔
27.1a头部内壁面
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51开口
28.1b头部外壁面
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6头部
29.2尾部内壁面
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61顶部
30.3侧部内壁面
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7钩部
31.4底面
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θ角度
具体实施方式
32.附图示出本公开的实施例，且将理解的是，所公开的实施例仅仅是本公开的示例，本公开可以以各种形式实施，因此，本文公开的具体细节不应被解释为限制，而是仅作为权利要求的基础且作为表示性的基础用于教导本领域普通技术人员以各种方式实施本公开。
33.此外，用于说明实施例中的各构件的操作和构造的指示方向的表述(例如上下)不是绝对的而是相对的，且尽管各构件处于图中所示的位置时这些指示是恰当的，但是当这些位置改变时，这些方向应有不同的解释，以对应所述改变。
34.参照图1至图8，在一些实施例中，石英舟100具有头部内壁面1a、尾部内壁面2、两侧部内壁面3以及底面4，头部内壁面1a、尾部内壁面2、两侧部内壁面3以及底面4形成具有开口51的内腔5，底面4面对开口51，尾部内壁面2和两侧部内壁面3中的至少一个为从底面4向开口51向外倾斜的斜面；石英舟100在头部6设置有钩推部，钩推部能够被出入炉的钩子勾推以被带动出入炉。
35.在本公开中，通过钩推部的设置，石英舟100能够在使用时被出入炉的钩子勾推以被带动出入炉。
36.在本公开中，在石英舟100制备锗多晶时，锗的性质是热缩冷胀，在熔区冷却过程中，上表面先冷却，内部的锗后冷却，冷却时会膨胀，通过尾部内壁面2和两侧部内壁面3中的至少一个为从底面4向开口51向外倾斜的斜面，锗会沿着斜面侧面向上膨胀，从而避免石英舟100被胀破，此外，冷胀过程不会挤压籽晶，避免籽晶在区熔过程中移动，进而提高了制备的锗多晶的品质。
37.在一些实施例中，参照图1至图6，头部内壁面1a为垂直于底面4的直立面并用作出炉的钩推部，石英舟100还具有头部外壁面1b，头部外壁面1b为垂直于底面4的直立面并用作入炉的钩推部。通过直立面用作钩推部，石英舟100的钩推部的设计简单，与头部内壁面
1a和头部外壁面1b为斜面的情况相比，通过钩子直接勾住/推直立面，钩子能够稳定且方便地将石英舟100出入炉。
38.在一些实施例中，参照图4至图8，石英舟100在头部6设置有钩部7，钩部7从头部6的顶部61向外延伸并向下弯折以在头部6的头部外壁面1b形成凹口71，钩部7用作钩推部。钩部7的设置可以无需考虑头部内壁面1a和/或头部外壁面1b是斜面还是直立面，只需钩子置于凹口71内并基于凹口71的限位来实现出炉的拉动和入炉的推动。顶部61为头部内壁面1a和头部外壁面1b之间的靠近内腔5的开口51的部分。
39.在一些实施例中，参照图4、图5、图7和图8，钩部7的凹口71在两侧部内壁面3相对的方向上贯通。采用贯通的方式，能够增加凹口71在两侧部内壁面3相对的方向上的尺寸，如此可以采用对应尺寸的钩子，从而使得钩子作用于凹口71中的力更大更均匀，能将石英舟100更稳定且更快地拉出入炉子。
40.在一些实施例中，参照图6，钩部7的凹口71在两侧部内壁面3相对的方向上的两端封闭。采用两端封闭的凹口71便于对钩子从两端进行限位，从而能够使得钩子在拉动/推动过程中方向稳定。
41.在一些实施例中，参照图7和图8，头部内壁面1a为从底面4向开口51向外倾斜的斜面。
42.在一些实施例中，参照图1至图3、图4、图7至图8，尾部内壁面2和两侧部内壁面3均为从底面4向开口51向外倾斜的斜面。
43.在一些实施例中，斜面倾斜的角度θ为大于60度且小于90度。斜面倾斜的角度θ在这个范围内能兼顾石英舟100的内腔5的深度(即石英舟100的容积，进而锗多晶制备的量)以及对锗多晶制备时锗冷却膨胀应力地释放。更进一步地，在斜面倾斜的角度θ的范围为70度至80度。
44.在一些实施例中，头部内壁面1a、尾部内壁面2、两侧部内壁面3以及底面4彼此之间的交界处倒圆。与头部内壁面1a、尾部内壁面2、两侧部内壁面3以及底面4彼此之间的交界处为尖锐边缘相比，倒圆处理能够使得在锗多晶热缩或冷胀时应力沿着倒圆柔和地传递并释放。
45.采用上面详细的说明描述多个示范性实施例，但本文不意欲限制到明确公开的组合。因此，除非另有说明，本文所公开的各种特征可以组合在一起而形成出于简明目的而未示出的多个另外组合。