一种直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置

文档序号:29394291发布日期:2022-03-23 15:45阅读:121来源:国知局
一种直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置

1.本实用新型涉及直拉单晶硅炉技术领域,更具体的说,尤其涉及一种直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置。


背景技术:

2.直拉单晶硅生产过程中,需向直拉单晶硅炉中通入氩气进行冷却,并带走拉制过程中产生的废气。直拉单晶硅炉大多采用炉底开放式直孔排气方式,这种排气方式具有简便、高效的优点。
3.直拉单晶硅炉排气口位置设有排气罩,拉制过程中,排气罩的排气口上会有大量杂质凝结,时间长了不清理会堵塞排气口,造成排气不畅而影响拉晶的速度和质量,排气口上的杂质一般需要在停机后清理,但停机后杂质会变硬,导致杂质的清理较为不便。
4.有鉴于此,针对现有的问题予以研究改良,提供一种直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置,旨在通过该技术,达到解决问题与提高实用价值性的目的。


技术实现要素:

5.本实用新型的目的在于提供一种直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置,以解决上述背景技术中提出的问题和不足。
6.为实现上述目的,本实用新型提供了一种直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置,由以下具体技术手段所达成:
7.一种直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置,包括:排气罩本体、排气口、刮刀、刮刀座、丝杆、电机、电机座、导杆、集渣槽、挡渣板;其特征在于:所述排气罩本体底部的排气口内侧设有刮刀;所述刮刀与排气口滑动配合;所述刮刀通过螺栓固定在刮刀座的顶端;所述刮刀座设在排气罩本体的下方;所述刮刀座的中间位置左右贯穿有一根丝杆,且丝杆与刮刀座螺纹连接;所述丝杆的左端通过联轴器固定在电机的输出轴上;所述电机通过螺栓固定在电机座的左端;所述电机座通过螺栓固定在集渣槽的左端;所述刮刀座的前后两侧对称设置有导杆;所述导杆左右贯穿刮刀座,且导杆与刮刀座滑动连接;所述导杆的两端及丝杆的两端均左右贯穿在集渣槽的顶部,且导杆的两端与集渣槽通过螺栓固定连接,并且丝杆的两端与集渣槽通过轴承转动连接;所述集渣槽通过螺栓固定在排气罩本体的顶端,且集渣槽设在电机座的右方;所述集渣槽后端的底部焊接有挡渣板。
8.作为本技术方案的进一步优化,本实用新型一种直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置,所述排气口与刮刀座均呈长方形状,且刮刀座设在集渣槽内部的顶部。
9.作为本技术方案的进一步优化,本实用新型一种直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置,所述刮刀俯视呈矩形状,且刮刀侧视呈菱形状。
10.作为本技术方案的进一步优化,本实用新型一种直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置,所述集渣槽呈u形槽状,且集渣槽的底部呈前低后高的倾斜状。
11.由于上述技术方案的运用,本实用新型与现有技术相比具有下列优点:
12.1、本实用新型通过电机带动丝杆转动,丝杆转动时使得刮刀沿排气口平移,对排气口进行刮壁动作,刮除凝结在排气口上的杂质,使得排气口保持排气通畅,且刮刀可随时清理排气口的杂质,在杂质较软时即可将其清理掉,并且无需人工清理,较为方便快捷。
13.2、本实用新型通过设置集渣槽,方便收集清理下来的杂质。
14.3、本实用新型通过对一种直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置的改进,具有结构合理,排气通畅,可自动清理排气口杂质,无需人工清理,较为方便快捷,方便杂质收集的优点,从而有效的解决了本实用新型在背景技术一项中提出的问题和不足。
附图说明
15.构成本技术的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解,本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
16.图1为本实用新型的结构示意图;
17.图2为本实用新型的俯视结构示意图;
18.图3为本实用新型的a-a向剖视结构示意图;
19.图4为本实用新型的b-b向剖视结构示意图。
20.图中:排气罩本体1、排气口2、刮刀3、刮刀座4、丝杆5、电机6、电机座7、导杆8、集渣槽9、挡渣板10。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
22.需要说明的是,在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上;术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
23.同时,在本实用新型的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电性连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
24.请参见图1至图4,本实用新型提供一种直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置的具体技术实施方案:
25.一种直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置,包括:排气罩本体1、排气口2、刮刀3、刮刀座4、丝杆5、电机6、电机座7、导杆8、集渣槽9、挡渣板10;排气罩本体1底部的排气口2内侧设有刮刀3;刮刀3与排气口2滑动配合;刮刀3通过螺栓固定在刮刀座4的顶端;刮刀座4设在排气罩本体1的下方;刮刀座4的中间位置左右贯穿有一根丝杆5,且丝杆5与刮刀座4螺纹连接;丝杆5的左端通过联轴器固定在电机6的输出轴上;电机6通过螺栓固定在电机座7的左
端;电机座7通过螺栓固定在集渣槽9的左端;刮刀座4的前后两侧对称设置有导杆8;导杆8左右贯穿刮刀座4,且导杆8与刮刀座4滑动连接;导杆8的两端及丝杆5的两端均左右贯穿在集渣槽9的顶部,且导杆8的两端与集渣槽9通过螺栓固定连接,并且丝杆5的两端与集渣槽9通过轴承转动连接;集渣槽9通过螺栓固定在排气罩本体1的顶端,且集渣槽9设在电机座7的右方;集渣槽9后端的底部焊接有挡渣板10。
26.具体的,请参阅图2与图1,排气口2与刮刀座4均呈长方形状,且刮刀座4设在集渣槽9内部的顶部,排气口2设有多个,且多个排气口2在前后方向上等距排列,每个排气口内侧设置一个刮刀3,多个刮刀3均通过螺栓固定在刮刀座4的顶端,刮刀座4左右平移时带动所有的刮刀3左右平移,对排气口2的内侧进行刮壁,清理凝结在排气口2内侧的杂质。
27.具体的,请参阅图2,刮刀3俯视呈矩形状,且参阅图3,刮刀3侧视呈菱形状,刮壁的效果较好,电机6通电工作时,其输出轴带动丝杆5转动,刮刀座4通过与丝杆5的螺纹啮合,且刮刀座4通过与导杆8的滑动配合,来实现刮刀座4的左右平移,刮刀座4带动刮刀3在排气口2内侧左右平移,刮刀3平移过程中对排气口2进行刮壁动作。
28.具体的,请参阅图1,集渣槽9呈u形槽状,用于收集掉落的杂质,且集渣槽9的底部呈前低后高的倾斜状,方便将杂质导出集渣槽9。
29.具体实施步骤:
30.电机6通电工作,其输出轴带动丝杆5转动,刮刀座4通过与丝杆5的螺纹啮合,且刮刀座4通过与导杆8的滑动配合,来实现刮刀座4的左右平移,刮刀座4带动刮刀3在排气口2内侧左右平移,刮除排气口2内侧的杂质,刮下来的杂质落入集渣槽9,由集渣槽9的前端导出。
31.综上所述:该一种直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置,通过电机带动丝杆转动,丝杆转动时使得刮刀沿排气口平移,对排气口进行刮壁动作,刮除凝结在排气口上的杂质,使得排气口保持排气通畅,且刮刀可随时清理排气口的杂质,在杂质较软时即可将其清理掉,并且无需人工清理,较为方便快捷;通过设置集渣槽,方便收集清理下来的杂质;本实用新型通过对一种直拉单晶硅炉的炉底排气罩装置的改进,具有结构合理,排气通畅,可自动清理排气口杂质,无需人工清理,较为方便快捷,方便杂质收集的优点,从而有效的解决了现有装置中出现的问题和不足。
32.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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