一种高孔隙率多孔二氧化硅减反射膜生产设备的制作方法

1.本实用新型涉及减反射膜生产技术领域，具体为一种高孔隙率多孔二氧化硅减反射膜生产设备。


背景技术：

2.减反射膜是一种用于覆盖在透镜等光学镜片表面，可以减少玻璃表面反光的复合型薄膜，减反射膜在生产制造时根据生产方法不同可分为溶胶——凝胶法、化学气相沉积法和溅射法，而在工业生产中最为成熟也是应用最广泛的为化学气相沉积法，因此，为了便于对减反射膜进行生产制备，我们提出一种高孔隙率多孔二氧化硅减反射膜生产设备。
3.现有的减反射膜生产设备存在的缺陷是：
4.1、现有的减反射膜生产设备在使用化学气相沉积法对减反射膜进行制备时，需要将含有特定元素的气体导入装置的内部，使空气中的粒子自由下落至石墨盘的表面，从而生成具有特殊结构的减反射膜，而传统的生产设备在使用气相沉积法进行制备时，气体粒子由于惯性，在进入装置后的移动轨迹较为混乱，进而会出现乱流，会对减反射膜的制备效果造成影响，从而使减反射膜的厚度不便于控制；
5.2、现有的减反射膜生产设备在对减反射膜进行制备后，由于气体粒子的扩散面积较大，粒子除了会吸附在石墨盘的表面，还会吸附在装置内部的组件表面，从而需要对装置内部的粒子进行清洗，传统的生产设备在对装置进行清洗时不够便利，并且清洗效果有限，且装置的用水量较大，降低了装置的实用性。


技术实现要素：

6.本实用新型的目的在于提供一种高孔隙率多孔二氧化硅减反射膜生产设备，以解决上述背景技术中提出的问题。
7.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高孔隙率多孔二氧化硅减反射膜生产设备，包括壳体、水箱、导流组件和沉积箱，所述壳体的底部两侧安装有两组支撑脚，所述壳体的内部安装有保温板，所述壳体的内部安装有沉积箱，所述沉积箱的底部安装有加热箱，所述加热箱内部的底部两侧安装有加热管，所述加热箱的顶部安装有三组延伸至沉积箱内部的铜杆，所述沉积箱的内部安装有导流组件，所述导流组件内安装有安装架，所述安装架的一侧安装有两组安装板，所述安装板的正面等距安装有导流片，所述安装架的一侧安装有导气盘，所述沉积箱的一侧安装有风机箱，所述风机箱的内部安装有抽风机，所述抽风机的输入端安装有延伸出壳体的进气管，所述沉积箱远离风机箱的一侧安装有水箱，所述水箱内部的底部安装有回流箱，所述回流箱的顶部安装有过滤箱，所述过滤箱的内部等距安装有反渗透膜。
8.优选的，所述壳体的正面安装有密封盖，且壳体的正面两侧安装有检修盖。
9.优选的，所述抽风机的下方安装有真空泵，且真空泵的输出端安装有延伸出壳体的排气管。
10.优选的，所述过滤箱的顶部安装有抽水泵，且抽水泵的输出端延伸至沉积箱的内部安装有喷嘴。
11.优选的，所述导气盘的底部安装有透气网板，且导气盘的顶部安装有导流管。
12.优选的，所述铜杆的顶部安装有限位座，且限位座的顶部安装有石墨盘。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
14.1、本实用新型通过在安装板的一侧安装有导流片，能够通过导流片对沉积箱内部的气体粒子进行引导，从而可以使气体粒子垂直向下进行移动，进而可以保证气体粒子附着在石墨盘表面形成减反射膜时，减反射膜整体的厚度保持一致，防止装置制备出的减反射膜厚度不均匀，提升了装置对减反射膜的生产效果。
15.2、本实用新型通过在回流箱的顶部安装有过滤箱，能够通过过滤箱对回流箱内部的污水进行过滤分离，从而可以使污水中的颗粒物被隔绝在反渗透膜的底部，使水分子透过过滤箱进入抽水泵中对沉积箱的内部进行循环冲洗，不仅可以提升装置自动清洗的便利性，还可以节省水资源，提升了装置的实用性和环保性。
附图说明
16.图1为本实用新型的三维立体结构示意图；
17.图2为本实用新型的正面剖面结构示意图；
18.图3为本实用新型的正面外部结构示意图；
19.图4为本实用新型的导流组件局部结构示意图。
20.图中：1、壳体；101、保温板；102、支撑脚；103、密封盖；104、检修盖；2、风机箱；201、抽风机；202、进气管；203、排气管；204、真空泵；3、水箱；301、回流箱；302、反渗透膜；303、过滤箱；304、抽水泵；305、喷嘴；4、导流组件；401、安装架；402、导流管；403、导气盘；404、透气网板；405、安装板；406、导流片；5、沉积箱；501、石墨盘；502、铜杆；503、加热管；504、加热箱；505、限位座。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.请参阅图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种高孔隙率多孔二氧化硅减反射膜生产设备，包括壳体1、水箱3、导流组件4和沉积箱5，壳体1的底部两侧安装有两组支撑脚102，壳体1可以为内部的组件提供安装的位置，支撑脚102可以对壳体1进行支撑，从而增加了装置的稳定性，壳体1的内部安装有保温板101，保温板101可以提升壳体1的保温隔热性能，从而可以防止装置在进行减反射膜的制备时受到外界环境温度的影响，壳体1的内部安装有沉积箱5，沉积箱5可以为内部的组件提供安装的位置，并且可以使用气相沉积法对减反射膜进行制备，沉积箱5的底部安装有加热箱504，加热箱504可以为内部的组件提供安装的位置，并且加热箱504的内部填充有导热液，可以提升热量传导的效率和均匀性，加热箱504内部的底部两侧安装有加热管503，加热管503通电后可以发出热量，从而可以对周围的
组件进行加热，加热箱504的顶部安装有三组延伸至沉积箱5内部的铜杆502，铜杆502可以吸收加热箱504内部的热量，以便于对顶部的组件进行加热，沉积箱5的内部安装有导流组件4，导流组件4可以对进入沉积箱5内部的气体进行引导，从而可以使气体粒子均匀的垂直向下移动，以保证减反射膜的成膜效果，导流组件4内安装有安装架401，安装架401可以为周围的组件提供安装的位置，安装架401的一侧安装有两组安装板405，安装板405可以为导流片406提供安装的位置，安装板405的正面等距安装有导流片406，导流片406可以引导气体粒子均匀的垂直向下移动，进而可以保证气体粒子在石墨盘501的顶部形成减反射膜时减反射膜可以保持厚度均匀，提升了装置对于减反射膜的制备效果，安装架401的一侧安装有导气盘403，导气盘403可以引导气体粒子进入沉积箱5，并且使气体粒子均匀的分布到沉积箱5的内部，沉积箱5的一侧安装有风机箱2，风机箱2可以为内部的组件提供安装的位置，风机箱2的内部安装有抽风机201，抽风机201可采用cy190h型，抽风机201通电后可以将进气管202内部的气体粒子抽入沉积箱5中，从而使气体粒子在装置的内部进行气相沉积，从而可以制备减反射膜，抽风机201的输入端安装有延伸出壳体1的进气管202，进气管202可以与存储特殊气体的容器固定连接，从而可以将带有成膜粒子的气体导入沉积箱5中，沉积箱5远离风机箱2的一侧安装有水箱3，水箱3可以为内部的组件提供安装的位置，水箱3内部的底部安装有回流箱301，回流箱301可以与沉积箱5的一侧固定连接，从而可以在装置进行清洗时，将污水导入回流箱301中，以便于对污水进行净化再利用，减少了装置的用水量，回流箱301的顶部安装有过滤箱303，过滤箱303可以为内部的组件提供安装的位置，并且通过抽水泵304对过滤箱303的内部进行抽吸，使得过滤箱303形成负压将回流箱301内部的污水抽入过滤箱303的内部进行净化，过滤箱303的内部等距安装有反渗透膜302，反渗透膜302可以使水分子透过，进而可以对污水中的水分子进行提取，以便于对污水进行固液分离，使得污水净化后可以循环利用，减少了装置对水资源的消耗。
23.进一步，壳体1的正面安装有密封盖103，密封盖103可以对沉积箱5的正面进行加盖密封，以便于使气体粒子在沉积箱5的内部进行自然下落，并且可以通过密封盖103对石墨盘501进行摆放和取出，方便工作人员对减反射膜成品进行取出，且壳体1的正面两侧安装有检修盖104，检修盖104可以分别将风机箱2和水箱3打开，从而可以便于对装置内部的电子元件进行检修。
24.进一步，抽风机201的下方安装有真空泵204，真空泵204可采用rc-42sh-2型，真空泵204通电后可以对沉积箱5的内部空气进行抽吸，从而可以使沉积箱5内部形成低压或者真空环境，以便于减小气体粒子下落时的阻力，提升减反射膜的成膜速度，有利于提升装置的产量，且真空泵204的输出端安装有延伸出壳体1的排气管203，排气管203可以使真空泵204将沉积箱5内部的空气排出壳体1。
25.进一步，过滤箱303的顶部安装有抽水泵304，抽水泵304可采用25zwl8-15型，抽水泵304通电后可以对过滤箱303内部的水进行抽吸，从而可以将回流箱301内部的污水抽出，使污水经过反渗透膜302过滤净化后重新喷入沉积箱5的内部对沉积箱5进行清洗，且抽水泵304的输出端延伸至沉积箱5的内部安装有喷嘴305，喷嘴305可以将水流喷入沉积箱5中，从而可以利用水流将沉积箱5内部的气体粒子冲洗干净。
26.进一步，导气盘403的底部安装有透气网板404，透气网板404可以使导气盘403内部的气体均匀的排出导气盘403，进而扩大了气体粒子的移动范围，且导气盘403的顶部安
装有导流管402，导流管402可以与抽风机201的输出端固定连接，从而可以将气体导入导气盘403的内部。
27.进一步，铜杆502的顶部安装有限位座505，限位座505可以对顶部的石墨盘501进行限位固定，从而可以提升石墨盘501在减反射膜成膜时的稳定性，并且限位座505可以吸收铜杆502内部的热量，以便于对石墨盘501进行加热，且限位座505的顶部安装有石墨盘501，石墨盘501可以为气体粒子提供成膜的位置，从而可以使气体粒子经过气相沉积后，在石墨盘501的顶部形成具有特殊结构的减反射膜。
28.工作原理：打开密封盖103，将石墨盘501摆放在限位座505的顶部后，关闭密封盖103，通过真空泵204通电后对沉积箱5内部的空气进行抽吸，使沉积箱5内部的气压降低，通过抽风机201通电后将气体粒子抽送至导气盘403中，利用导气盘403将气体粒子均匀分布后排出，使气体粒子在沉积箱5的内部自由下落，通过两组导流片406引导气体粒子垂直下落，同时利用加热管503通电后发出热量，使铜杆502传递热量至限位座505，从而使限位座505对石墨盘501进行加热，使气体粒子下落至石墨盘501顶部时逐渐形成均匀的减反射膜，从而完成减反射膜的批量制备。