一种磨损率低的单晶硅片清洗脱胶机构的制作方法

1.本发明涉及单晶硅片清洗技术领域，具体的说是一种磨损率低的单晶硅片清洗脱胶机构。


背景技术：

2.单晶硅片：硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料,用于制造半导体器件、太阳能电池等；用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成,单晶硅片的清洗就是对切割后的单晶硅片进行清洗，也可以对制绒时进行清洗，总之单晶硅片的清洗在制造单晶硅片的工序中高达33％。
3.然而，目前的单晶硅片在切割后需要对其表面的粉末进行清洗，在清洗的时候都是人工将单晶硅片收纳盒内部的多个单晶硅片一起放置到清洗池的内部，清洗完成后通过机械手将收纳盒取出，清洗池上未设置方便清洗完成的单晶硅片晾干的机构，取出收纳盒后机械手直接将单晶硅片转运，收纳盒上的清洗液容易滴落到台面上，造成台面的污染；且直接放置到清洗池内部的收纳盒未对其进行抖动，单晶硅片始终停留在同一个地方，降低了对单晶硅片的清洗效果。


技术实现要素：

4.针对现有技术中的问题，本发明提供了一种磨损率低的单晶硅片清洗脱胶机构。
5.本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种磨损率低的单晶硅片清洗脱胶机构，包括清洗池，所述清洗池上安装有用于排放清洗剂的排水管，所述清洗池的内部安装有方便清洗后的单晶硅片晾干的调节机构，所述调节机构上相对设有两个放置单晶硅片收纳盒的放置机构，两个所述放置机构的内部均安装有夹持机构，所述清洗池的内部安装有两个对放置机构进行防护的防护机构，所述调节机构上安装有对放置机构进行抖动的摇摆机构，所述清洗池上安装有与摇摆机构抵触的驱动机构；
6.所述调节机构包括两个支撑板，所述清洗池的内部通过螺丝可拆卸连接有两个支撑板，两个所述支撑板上相对转动连接有两个侧板，两个所述侧板之间固定连接有连接板，两个所述侧板的相对侧壁均开设有滑槽，两个所述滑槽之间滑动连接有配重块，所述放置机构包括两组连接轴，两个所述侧板上均转动连接有两个连接轴，相对的两个所述连接轴之间均固定连接有固定架，相对的两个所述固定架之间均固定连接有表面开孔的吊篮。
7.具体的，两个所述支撑板位于清洗池内部的中心处，且所述支撑板的高度大于清洗池的高度，且所述支撑板位于侧板的侧壁的二分之一处。
8.具体的，所述调节机构还包括滚轴，两个所述侧板之间等距转动连接有位于滑槽处的滚轴，所述滚轴与配重块之间滚动连接。
9.具体的，所述调节机构还包括把手，所述配重块上固定连接有把手。
10.具体的，所述夹持机构包括两组夹板，两个所述吊篮的内壁均相对滑动连接有两个夹板，所述夹板与吊篮之间夹持有第二弹簧。
11.具体的，所述夹持机构还包括导向柱，所述夹板的侧壁等距转动连接有多个导向柱。
12.具体的，所述摇摆机构包括两个底板，其中一个所述侧板的底部关于支撑板对称固定连接有两个底板，其中一个所述支撑板的侧壁开设有限位槽，所述限位槽的内部滑动连接有限位块，所述限位块与支撑板之间夹持有第三弹簧，所述限位块的侧壁固定连接有中间板，所述中间板的底部固定连接有位于底板底部的碰撞板，所述中间板的顶部固定连接有顶板。
13.具体的，所述顶板上的长度大于支撑板的宽度，且所述顶板、中间板及碰撞板之间呈“工”字形结构。
14.具体的，所述驱动机构包括安装板，所述清洗池的侧壁固定连接有安装板，所述安装板上安装有电机，所述电机上通过联轴器连接有“s”形结构的转动板，所述转动板延伸至清洗池的内部，所述转动板与顶板抵触。
15.具体的，所述防护机构包括第一弹簧，所述清洗池的内部安装有两个第一弹簧，两个所述第一弹簧上固定连接有对吊篮防护的防护板。
16.本发明的有益效果是：
17.(1)本发明所述的一种磨损率低的单晶硅片清洗脱胶机构，清洗池上安装有调节机构，在对单晶硅片进行清洗的时候，将装有单晶硅片的收纳盒放置到放置机构的内部，将配重结构滑动到单晶硅片的一侧，实现了调节机构类似跷跷板倾斜，此时单晶硅片浸入到清洗池的内部，实现了对单晶硅片的清洗，清洗完成后可以将配重的结构移动另一个放置机构一侧，实现了清洗池内部的放置机构移出清洗池，将未清洗的单晶硅片放置到配重结构一侧的放置机构上，那么清洗过的单晶硅片得到晾晒的时间，避免了机械手转移单晶硅片的时候清洗液滴落污染台面；即：在对刚切割的单晶硅片进行清洗的时候，将排水管上的阀门关闭，向清洗池的内部加入清洗液，将需要清洗的单晶硅片放置到收纳盒的内部，进一步的，将收纳盒放置到侧板上的吊篮内部，放置的时候选择悬空的吊篮，将收纳盒放置到吊篮的内部后，缓慢的将配重块滑动到单晶硅片的一侧，此时根据跷跷板原理，两个侧板倾斜，装有单晶硅片一端的吊篮进入到清洗池的内部，实现了对单晶硅片的清洗，且机械手拿取吊篮内部的收纳盒之前，将配重块背离装有单晶硅片的一侧滑动，且滚轴利于配重块的滑动，侧板水平的时候，将另一组单晶硅片收纳盒放置到另一个吊篮的内部，将配重块继续向未清洗的单晶硅片一端移动，此时未清洗的单晶硅片浸入到清洗池的内部清洗，那么清洗完成的单晶硅片被吊篮悬挂，实现了对清洗液的晾干，避免机械手直接拿取造成清洗液泼洒污染台面，连接轴与侧板之间转动，保证了固定架底部的吊篮始终处于垂直状态，单晶硅片不会掉落。
18.(2)本发明所述的一种磨损率低的单晶硅片清洗脱胶机构，清洗池的内部有单晶硅片需要清洗的时候，可以通过将驱动机构启动，此时驱动机构转动的时候间歇性的将摇摆机构抵触，摇摆机构被抵触后实现了对调节机构进行抖动，利于放置机构内部的单晶硅片的清洗；即：在吊篮浸入到清洗池的内部后将电机启动，此时电机上的转动板随之转动，当转动板转动完成后实现了将顶板进行间歇性的敲打，顶板被碰撞后带动了限位块向限位槽的顶部方向移动，此时第三弹簧张开，进一步的顶板带动了中间板一起提升，最终实现了碰撞板将侧板底部的底板抵触，进而实现了侧板摆动，利于吊篮内部收纳盒上的单晶硅盘
的清洗。
19.(3)本发明所述的一种磨损率低的单晶硅片清洗脱胶机构，放置机构的内部设有夹持机构，使单晶硅片收纳盒放置的更加稳定，避免单晶硅片晃动造成磨损，且清洗池的内部设有两个防护机构，可以在调节机构摆动的时候对单晶硅片进行防护，避免单晶硅片破碎；即：在将单晶硅片的收纳盒放置到吊篮的内部的时候，可以将收纳盒直接向两个夹板之间推动，此时两个第二弹簧收缩，进一步的，收纳盒内被夹持在两个夹板之间，避免了收纳盒晃动造成单晶硅片破碎，且导向柱利于机械手从吊篮的内部取出收纳盒；在碰撞板抵触底板的时候，侧板摆动，在侧板摆动的时候吊篮随之摆动，当吊篮的摆动幅度过大的时候，吊篮可以与第一弹簧上的防护板抵触，实现了对吊篮进行减震，避免了吊篮内部的单晶硅片被清洗池的底部碰碎。
附图说明
20.下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
21.图1为本发明提供的一种磨损率低的单晶硅片清洗脱胶机构的一种较佳实施例的整体结构示意图；
22.图2为本发明的清洗池、支撑板、侧板、连接轴、固定架、吊篮、第一弹簧、防护板、中间板、底板、顶板、顶板及底板的连接结构示意图；
23.图3为图2所示的a部结构放大示意图；
24.图4为图2所示的b部结构放大示意图；
25.图5为本发明的清洗池、支撑板、侧板、配重块、滚轴、限位槽、限位块、第三弹簧、顶板、中间板、底板、转动板、安装板及电机的连接结构示意图；
26.图6为本发明的支撑板、限位槽、顶板、底板、中间板及转动板的连接结构示意图。
27.图中：1、清洗池；2、调节机构；201、支撑板；202、滑槽；203、配重块；204、滚轴；205、把手；206、连接板；207、侧板；3、放置机构；301、连接轴；302、固定架；303、吊篮；4、排水管；5、防护机构；501、第一弹簧；502、防护板；6、夹持机构；601、夹板；602、第二弹簧；603、导向柱；7、摇摆机构；701、底板；702、碰撞板；703、中间板；704、顶板；705、限位槽；706、限位块；707、第三弹簧；8、驱动机构；801、安装板；802、电机；803、转动板。
具体实施方式
28.为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
29.如图1-图6所示，本发明所述的一种磨损率低的单晶硅片清洗脱胶机构，包括清洗池1，所述清洗池1上安装有用于排放清洗剂的排水管4，所述清洗池1的内部安装有方便清洗后的单晶硅片晾干的调节机构2，所述调节机构2上相对设有两个放置单晶硅片收纳盒的放置机构3，两个所述放置机构3的内部均安装有夹持机构6，所述清洗池1的内部安装有两个对放置机构3进行防护的防护机构5，所述调节机构2上安装有对放置机构3进行抖动的摇摆机构7，所述清洗池1上安装有与摇摆机构7抵触的驱动机构8；
30.所述调节机构2包括两个支撑板201，所述清洗池1的内部通过螺丝可拆卸连接有两个支撑板201，两个所述支撑板201上相对转动连接有两个侧板207，两个所述侧板207之
间固定连接有连接板206，两个所述侧板207的相对侧壁均开设有滑槽202，两个所述滑槽202之间滑动连接有配重块203，所述放置机构3包括两组连接轴301，两个所述侧板207上均转动连接有两个连接轴301，相对的两个所述连接轴301之间均固定连接有固定架302，相对的两个所述固定架302之间均固定连接有表面开孔的吊篮303，两个所述支撑板201位于清洗池1内部的中心处，且所述支撑板201的高度大于清洗池1的高度，且所述支撑板201位于侧板207的侧壁的二分之一处，所述调节机构2还包括滚轴204，两个所述侧板207之间等距转动连接有位于滑槽202处的滚轴204，所述滚轴204与配重块203之间滚动连接，所述调节机构2还包括把手205，所述配重块203上固定连接有把手205；在对刚切割的单晶硅片进行清洗的时候，将所述排水管4上的阀门关闭，向所述清洗池1的内部加入清洗液，将需要清洗的单晶硅片放置到收纳盒的内部，进一步的，将收纳盒放置到所述侧板207上的所述吊篮303内部，放置的时候选择悬空的所述吊篮303，将收纳盒放置到吊篮303的内部后，缓慢的将所述配重块203滑动到单晶硅片的一侧，此时根据跷跷板原理，两个所述侧板207倾斜，装有单晶硅片一端的所述吊篮303进入到所述清洗池1的内部，实现了对单晶硅片的清洗，且机械手拿取所述吊篮303内部的收纳盒之前，将所述配重块203背离装有单晶硅片的一侧滑动，且所述滚轴204利于所述配重块203的滑动，所述侧板207水平的时候，将另一组单晶硅片收纳盒放置到另一个所述吊篮303的内部，将所述配重块203继续向未清洗的单晶硅片一端移动，此时未清洗的单晶硅片浸入到所述清洗池1的内部清洗，那么清洗完成的单晶硅片被所述吊篮303悬挂，实现了对清洗液的晾干，避免机械手直接拿取造成清洗液泼洒污染台面，所述连接轴301与所述侧板207之间转动，保证了所述固定架302底部的所述吊篮303始终处于垂直状态，单晶硅片不会掉落。
31.具体的，所述夹持机构6包括两组夹板601，两个所述吊篮303的内壁均相对滑动连接有两个夹板601，所述夹板601与吊篮303之间夹持有第二弹簧602，所述夹持机构6还包括导向柱603，所述夹板601的侧壁等距转动连接有多个导向柱603；在将单晶硅片的收纳盒放置到所述吊篮303的内部的时候，可以将收纳盒直接向两个所述夹板601之间推动，此时两个所述第二弹簧602收缩，进一步的，收纳盒内被夹持在两个所述夹板601之间，避免了收纳盒晃动造成单晶硅片破碎，且所述导向柱603利于机械手从所述吊篮303的内部取出收纳盒。
32.具体的，所述摇摆机构7包括两个底板701，其中一个所述侧板207的底部关于支撑板201对称固定连接有两个底板701，其中一个所述支撑板201的侧壁开设有限位槽705，所述限位槽705的内部滑动连接有限位块706，所述限位块706与支撑板201之间夹持有第三弹簧707，所述限位块706的侧壁固定连接有中间板703，所述中间板703的底部固定连接有位于底板701底部的碰撞板702，所述中间板703的顶部固定连接有顶板704；所述顶板704上的长度大于支撑板201的宽度，且所述顶板704、中间板703及碰撞板702之间呈“工”字形结构；所述驱动机构8包括安装板801，所述清洗池1的侧壁固定连接有安装板801，所述安装板801上安装有电机802，所述电机802上通过联轴器连接有“s”形结构的转动板803，所述转动板803延伸至清洗池1的内部，所述转动板803与顶板704抵触；在所述吊篮303浸入到所述清洗池1的内部后将所述电机802启动，此时所述电机802上的所述转动板803随之转动，当所述转动板803转动完成后实现了将所述顶板704进行间歇性的敲打，所述顶板704被碰撞后带动了所述限位块706向所述限位槽705的顶部方向移动，此时所述第三弹簧707张开，进一步
的所述顶板704带动了所述中间板703一起提升，最终实现了所述碰撞板702将所述侧板207底部的所述底板701抵触，进而实现了所述侧板207摆动，利于所述吊篮303内部收纳盒上的单晶硅盘的清洗。
33.具体的，所述防护机构5包括第一弹簧501，所述清洗池1的内部安装有两个第一弹簧501，两个所述第一弹簧501上固定连接有对吊篮303防护的防护板502；在所述碰撞板702抵触所述底板701的时候，所述侧板207摆动，在所述侧板207摆动的时候所述吊篮303随之摆动，当所述吊篮303的摆动幅度过大的时候，所述吊篮303可以与所述第一弹簧501上的所述防护板502抵触，实现了对所述吊篮303进行减震，避免了所述吊篮303内部的单晶硅片被所述清洗池1的底部碰碎。
34.本发明在使用时，首先，在对刚切割的单晶硅片进行清洗的时候，将排水管4上的阀门关闭，向清洗池1的内部加入清洗液，将需要清洗的单晶硅片放置到收纳盒的内部，进一步的，将收纳盒放置到侧板207上的吊篮303内部，放置的时候选择悬空的吊篮303，将收纳盒放置到吊篮303的内部后，缓慢的将配重块203滑动到单晶硅片的一侧，此时根据跷跷板原理，两个侧板207倾斜，装有单晶硅片一端的吊篮303进入到清洗池1的内部，实现了对单晶硅片的清洗，且机械手拿取吊篮303内部的收纳盒之前，将配重块203背离装有单晶硅片的一侧滑动，且滚轴204利于配重块203的滑动，侧板207水平的时候，将另一组单晶硅片收纳盒放置到另一个吊篮303的内部，将配重块203继续向未清洗的单晶硅片一端移动，此时未清洗的单晶硅片浸入到清洗池1的内部清洗，那么清洗完成的单晶硅片被吊篮303悬挂，实现了对清洗液的晾干，避免机械手直接拿取造成清洗液泼洒污染台面，连接轴301与侧板207之间转动，保证了固定架302底部的吊篮303始终处于垂直状态，单晶硅片不会掉落，在将单晶硅片的收纳盒放置到吊篮303的内部的时候，可以将收纳盒直接向两个夹板601之间推动，此时两个第二弹簧602收缩，进一步的，收纳盒内被夹持在两个夹板601之间，避免了收纳盒晃动造成单晶硅片破碎，且导向柱603利于机械手从吊篮303的内部取出收纳盒；然后，在吊篮303浸入到清洗池1的内部后将电机802启动，此时电机802上的转动板803随之转动，当转动板803转动完成后实现了将顶板704进行间歇性的敲打，顶板704被碰撞后带动了限位块706向限位槽705的顶部方向移动，此时第三弹簧707张开，进一步的顶板704带动了中间板703一起提升，最终实现了碰撞板702将侧板207底部的底板701抵触，进而实现了侧板207摆动，利于吊篮303内部收纳盒上的单晶硅盘的清洗；最后，在碰撞板702抵触底板701的时候，侧板207摆动，在侧板207摆动的时候吊篮303随之摆动，当吊篮303的摆动幅度过大的时候，吊篮303可以与第一弹簧501上的防护板502抵触，实现了对吊篮303进行减震，避免了吊篮303内部的单晶硅片被清洗池1的底部碰碎。
35.对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
36.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员
可以理解的其他实施方式。