一种阳光选择滤光膜系的双银节能玻璃沉积方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及建筑及交通用具等节能窗用领域，具体涉及一种阳光选择滤光膜系的双银节能玻璃沉积方法。
【背景技术】
[0002]随着我国经济的高速增长，社会的快速发展，每年新增建筑约20亿平方米。然而其中大部分仍为高能耗建筑，只有5%达到节能建筑要求。在建筑能耗之中，采暖和空调能耗占比最大，约占60%?70%。采暖和空调能耗主要通过建筑外围结构与室外环境的热交换消耗。我国北方寒冷地区冬季采暖需用大量煤炭，夏季炎热的南方地区及夏季全国的空调制冷需用大量电能。而据统计，窗户能耗量占建筑外围结构能耗的50%。而在传热损耗中，窗框占15%，玻璃占约85%。可见，玻璃节能性能的高低，直接影响建筑能耗。传统的Low?E玻璃不具备根据不同的地区玮度和气候对室内温度人体舒适度的要求，对太阳光不具有进行选择性的过滤透过的功能。这样大多数只能用于高玮度的寒冷地区，且只是在冬季，其低辐射的性能才得到发挥。在炎热的夏季全国及南方地区，传统的Low?E玻璃由于不能对阳光进行可选择性的透过，并且由于较低的透过率的原因，不仅不能降低能耗，使得建筑室内和交通工具内的热量过多的聚集，反而更加加大了空调制冷需用的大量电能。再者，传统的Low?E玻璃过厚的金属膜层增加了可见光的反射，在可见光光谱范围内的整体透过性不高，容易造成光污染，且室外反射颜色，并不满足建筑设计外观的设计要求。同样的，交通工具的窗用玻璃由于不具有节约能源的功能，无论是在寒冷的冬季还是在炎热的夏季，为了保持交通工具内的温度舒适，都要消耗大量的燃料，也造成了更大的环境污染。
【发明内容】
[0003]为了克服上述现有技术中的不足之处，本发明的目的是提供一种工艺简单，节能环保的阳光选择滤光膜系的双银节能玻璃沉积方法。
[0004]为了实现上述技术目的，本发明采用的技术方案的如下:本发明为一种阳光选择滤光膜系的双银节能玻璃的薄膜沉积方法，所述阳光选择滤光膜系的双银节能玻璃从内到外依次为玻璃基体、阳光减反膜系、阳光选择滤光膜系、功能连接转换膜系、第一可见光透过增强膜系、第一膜层附着力增强的膜系、第一单银低辐射膜系、第二膜层附着力增强的膜系、第二可见光透过增强膜系、第三膜层附着力增强的膜系、第二单银低辐射膜系、第四膜层附着力增强的膜系、第三可见光透过增强膜系、色彩调制膜系和表面覆盖膜系；
[0005]在薄膜正常生产溅射过程中，在大型平板玻璃连续磁控溅射镀膜机上依次配置靶材，进行工业化连续生产；调节玻璃的传送速度在3?8m/min ;每对阴极上所施加的功率为20?60kw，施加在靶材上的电流为50?120A ;气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325?335SCCm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1?8% ;当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的3?8%。
[0006]进一步地，在薄膜正常生产溅射沉积阳光减反膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为40?60kw，施加在靶材上的电流为100?120A ;气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325?335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1?8% ;当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的3?8% ;所述阳光减反膜系由金属氧化物和金属氟化物组成。
[0007]进一步地，在薄膜正常生产溅射沉积阳光选择滤光膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为40?60kw，施加在靶材上的电流为100?120A ;气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325?335SCCm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1?8% ;当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的3?8% ;所述阳光选择滤光膜系由金属氧化物和金属氟化物组成。
[0008]更进一步地，在薄膜正常生产溅射沉积功能连接转换膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为30?40kw，施加在靶材上的电流为75?100A ;气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325?335SCCm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1?8% ;当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的3?8% ;所述功能连接转换膜系由金属氧化物和金属硫化物组成。
[0009]进一步地，在薄膜正常生产溅射沉积第一可见光透过增强膜系、第二可见光透过增强膜系和第三可见光透过增强膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为40?60kw，施加在靶材上的电流为100?120A ;气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325?335SCCm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1?8% ;所述第一可见光透过增强膜系、第二可见光透过增强膜系和第三可见光透过增强膜系均为透明导电金属氧化物。
[0010]进一步地，在薄膜正常生产溅射第一膜层附着力增强的膜系、第二膜层附着力增强的膜系、第三膜层附着力增强的膜系和第四膜层附着力增强的膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为20?30kw，施加在靶材上的电流为50?75A ;气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325?335sCCm ;所述第一膜层附着力增强的膜系、第二膜层附着力增强的膜系、第三膜层附着力增强的膜系和第四膜层附着力增强的膜系均由金属氧化物和非金属氧化物组成。
[0011]更进一步地，在薄膜正常生产溅射第一单银低辐射膜系和第二单银低辐射膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为20?30kw，施加在靶材上的电流为50?75A ;气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325?335sCCm ;所述第一单银低辐射膜系和第二单银低辐射膜系由银和其他金属组成，所述其他金属为铬、镍或钛。
[0012]进一步地，在薄膜正常生产溅射沉积色彩调制膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为40?60kw，施加在靶材上的电流为100?120A ;气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325?335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1?8% ;当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的3?8% ;所述色彩调制膜系由金属氧化物、非金属氧化物、金属硫化物和金属氮化物组成。
[0013]进一步地，在薄膜正常生产溅射沉积表面覆盖膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为40?60kw，施加在靶材上的电流为100?120A ;气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325?335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1?8% ;所述表面覆盖膜系由金属氧化物和非金属氧化物组成。
[0014]有益效果:本发明工艺简单，节能环保。在薄膜正常生产溅射过程中，根据我们设计的膜层匹配组合和材料以及生产工艺，能够达到不对玻璃机体加热，实现整个膜系的常温气相沉积。
【具体实施方式】<