一种用于通航飞机舷窗玻璃的高耐磨节能薄膜及其制备方法与流程

文档序号:12742818阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于通航飞机舷窗玻璃的高耐磨节能薄膜,其特征在于:所述用于通航飞机舷窗玻璃高耐磨节能薄膜包括有机玻璃基底(0),所述有机玻璃基底(0)上设置有A面和B面,所述A面和B面上分别设置有不同的透明薄膜,A面为节能膜系,B面为高耐磨透明膜系;所述节能膜系由有机玻璃基底由内向外依次为节能功能层和保护层。

2.根据权利要求1所述的用于通航飞机舷窗玻璃的高耐磨节能薄膜,其特征在于:所述A面向舷窗内为内侧,所述B面向舷窗外为外侧,所述节能功能层由内向外依次为第一氧化硅层(1-11)、第一氧化锌镓层(1-12)、第一氧化锌镓铟层(1-13)、金属层(1-14)和第二氧化锌镓铟层(1-15),所述第一氧化硅层(1-11)膜层厚度为16~28nm,第一氧化锌镓层(1-12)的膜层厚度为15~25nm,第二氧化锌镓铟层(1-13)的膜层厚度为18~30nm,金属层(1-14)的膜层厚度为6~12nm,第二氧化锌镓铟层(1-15)的膜层厚度为20~35nm。

3.根据权利要求2所述的用于通航飞机舷窗玻璃的高耐磨节能薄膜,其特征在于:所述金属层(1-14)为金属钛、金属银或金属金。

4.根据权利要求1所述的用于通航飞机舷窗玻璃的高耐磨节能薄膜,其特征在于:所述保护层由内向外依次为第二氧化锌镓层(1-21)和第二氧化硅层(1-22),所述第二氧化锌镓层(1-21)的膜层厚度为25~35nm,第二氧化硅层(1-22)的膜层厚度为45~100nm。

5.根据权利要求1所述的用于通航飞机舷窗玻璃的高耐磨节能薄膜,其特征在于:所述的高耐磨透明膜系由内向外依次为第一氮化硅层(2-11)、氮化铝膜层(2-12)、氮化钛膜层(2-13)和第二氮化硅膜层(2-14),所述第一氮化硅层(2-11)的膜层厚度为15~25nm,氮化铝膜层(2-12)的膜层厚度为18~35nm,氮化钛膜层(2-13)的膜层厚度为20~40nm,第二氮化硅膜层(2-14)的膜层厚度为55~150nm。

6.权利要求1至5任一项所述的用于通航飞机舷窗玻璃的高耐磨节能薄膜的制备方法,其特征在于包括如下步骤:

(1)采用平衡或非平衡磁控溅射方式,镀膜设备的进出片部分要求洁净度十万级以内,冷却水的温度为15~24℃,湿度小于60%;打开镀膜设备,抽真空至满足本底真空要求:镀膜室真空度<3×10-3Pa、其他真空室真空度<0.7Pa;

(2)舷窗有机玻璃基底经清洗机清洗后,以立式方式进入镀膜设备,依次通过进入室、隔离室,到达镀膜室,基片在进入室时抽真空至1~3Pa之间,打开隔离阀进入隔离室,关闭隔离阀,抽真空使隔离室真空度小于1.5Pa以下之后进入镀膜室;进入镀膜室后,关闭隔离室与镀膜室间的隔离阀,同时通入氩气和相应工艺气体维持真空度在0.3~0.8Pa之间;

(3)待镀膜室腔体内充入氩气和工艺气体的总气压稳定后,将有机玻璃基底的A面正对靶面,A面与靶面之间的距离保持在8~25cm,连续开启中频电源或直流电源,依次在基底的A面上镀制节能功能层和保护层;

(4)A面镀膜结束后,有机玻璃基底经过隔离室、离开室;

(5)清洗上片,对B面进行镀膜,重复步骤(1)~(3),镀膜过程中基底传输速度保持平稳均匀,速度范围为0.5~2.5m/min。

7.根据权利要求6所述的用于通航飞机舷窗玻璃的高耐磨节能薄膜的制备方法,其特征在于:在步骤(1)中,所述电源为中频电源或直流电源;在步骤(2)和(3)中,镀制A面时工艺气体为氧气,镀制B面时工艺气体为氮气。

8.根据权利要求7所述的用于通航飞机舷窗玻璃的高耐磨节能薄膜的制备方法,其特征在于:在步骤(3)中,电源采用恒功率的范围为5~35kw或恒电流的范围为5~35A。

9.根据权利要求8所述的用于通航飞机舷窗玻璃的高耐磨节能薄膜的制备方法,其特征在于:在步骤(3)中,所述镀制金属层时,电源采用恒功率的范围为0.5~2kw。

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