1.一种含氟清洗液组合物的制备方法，其特征在于，其包括如下步骤：将所述的含氟清洗液组合物中的各个组分混合，即得到所述的含氟清洗液组合物：
所述的含氟清洗液组合物包括下述质量分数的组分：10-30％氧化剂、0.001-0.01％还原型谷胱甘肽、0.001-0.25％半胱氨酸、1-5％氟化物、1-5％有机碱、0.01-2％螯合剂、0.01-2％缓蚀剂、0.5-3％羧酸铵、0.01-1％eo-po聚合物l81、0.01-2％9-蒽甲醛-1,1-二苯基腙和水，水补足余量；各组分质量分数之和为100％。
2.如权利要求1所述的含氟清洗液组合物的制备方法，其特征在于，所述的含氟清洗液组合物的制备方法中，所述的混合的方式为将所述的组分中的固体组分加入到液体组分中，搅拌均匀；
和/或，所述的含氟清洗液组合物的制备方法中，所述的混合的温度为10-30℃。
3.如权利要求1所述的含氟清洗液组合物的制备方法，其特征在于，所述的含氟清洗液组合物中，所述的氧化剂的质量分数为10-15％；
和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的还原型谷胱甘肽的质量分数为0.005％-0.01％；
和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的半胱氨酸的质量分数为0.15-0.25％；
和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的氟化物的质量分数为1.0-2.5％；
和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的有机碱的质量分数为1.0-2.5％；
和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的螯合剂的质量分数为0.01-1.0％；
和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的缓蚀剂的质量分数为0.01-0.5％；
和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的羧酸铵的质量分数为0.5-1.0％；
和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的eo-po聚合物l81的质量分数为0.01-0.05％；
和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的9-蒽甲醛-1,1-二苯基腙的质量分数为0.01-0.9％。
4.如权利要求1所述的含氟清洗液组合物的制备方法，其特征在于，所述的含氟清洗液组合物中，所述的氧化剂的质量分数为15-30％；
和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的氟化物的质量分数为2.5-5.0％；
和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的有机碱的质量分数为2.5-5.0％；
和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的螯合剂的质量分数为1.0-2.0％；
和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的缓蚀剂的质量分数为0.5-2.0％；
和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的羧酸铵的质量分数为1.0-3.0％；
和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的eo-po聚合物l81的质量分数为0.05-1.0％；
和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的9-蒽甲醛-1,1-二苯基腙的质量分数为0.9-2.0％。
5.如权利要求1所述的含氟清洗液组合物的制备方法，其特征在于，所述的含氟清洗液组合物不含有胺类化合物、醇胺类化合物或胺-n-氧化合物；所述的醇胺类化合物优选为三乙醇胺、n-甲基乙醇胺、n,n-二甲基二甘醇胺；所述的胺-n-氧化合物优选为n-甲基吗啉氧化物；
和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的氧化剂为过氧化氢、过氧化苯甲酰、过氧单硫酸四丁铵、臭氧、氯化铁、高锰酸盐、过硼酸盐、高氯酸盐、过硫酸盐、过氧二硫酸铵、过乙酸、过氧化脲、硝酸、亚氯酸铵、氯酸铵、碘酸铵、过硼酸铵、高氯酸铵、高碘酸铵、过硫酸铵、亚氯酸四甲铵、氯酸四甲铵、碘酸四甲铵、过硼酸四甲铵、高氯酸四甲铵、高碘酸四甲铵、过硫酸四甲铵、过氧化尿素和过氧乙酸中的一种或多种，优选过氧化氢、过氧化脲和过氧乙酸中一种或多种，更优选过氧化氢和/或过氧乙酸；
和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的氟化物为氟化氢、氟化铵、氟化钾、碱金属氟化物、四烷基氟化铵、氟硼酸、四氟硼酸铵、碱金属四氟硼酸盐、四氟硼酸四烷基铵和四氟硼酸三甲基氧鎓中的一种或多种，优选氟化氢；
和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的有机碱为四甲基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、苄基三甲基氢氧化铵、胆碱、(2-羟基乙基)三甲基氢氧化铵、三(2-羟乙基)甲基氢氧化铵、单乙醇胺、二甘醇胺、三乙醇胺、异丁醇胺、异丙醇胺、四丁基氢氧化鏻和四甲基胍中的一种或多种，优选四甲基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵和胆碱中的一种或多种，更优选四甲基氢氧化铵；
和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的螯合剂为1,2-环己二胺-n,n,n',n'-四乙酸、乙二胺四乙酸、次氮基三乙酸、二亚乙基三胺五乙酸、1,4,7,10-四氮杂环十二烷-1,4,7,10-四乙酸、乙二醇四乙酸、1,2-双(邻氨基苯氧基)乙烷-n,n,n',n'-四乙酸、n-{2-[双(羧甲基)氨基]乙基}-n-(2-羟乙基)甘氨酸、乙二胺-n,n'-双(2-羟基苯乙酸)、二氧杂八亚甲基二氮基四乙酸和三亚乙基四胺六乙酸中的一种或多种，优选1,2-环己二胺-n,n,n',n'-四乙酸和/或乙二胺四乙酸，更优选乙二胺四乙酸；
和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的缓蚀剂为苯并三唑、甲苯三唑、5-苯基-苯并三唑、5-硝基-苯并三唑、3-氨基-5-巯基-1,2,4-三唑、1-氨基-1,2,4-三唑、羟苯并三唑、2-(5-氨基-戊基)-苯并三唑、1-氨基-1,2,3-三唑、1-氨基-5-甲基-1,2,3-三唑、3-氨基-1,2,4-三唑、3-巯基-1,2,4-三唑、3-异丙基-1,2,4-三唑、5-苯硫醇-苯并三唑、卤代-苯并三唑、萘并三唑、2-巯基苯并咪唑(mbi)、2-巯基苯并噻唑、4-甲基-2-苯基咪唑、2-巯基噻唑啉、5-氨基四唑、5-氨基四唑一水合物、5-氨基-1,3,4-噻二唑-2-硫醇、2,4-二氨基-6-甲基-1,3,5-三嗪、噻唑、三嗪、甲基四唑、1,3-二甲基-2-咪唑啉酮、1,5-五亚甲基四唑、1-苯基-5-巯基四唑、二氨基甲基三嗪、咪唑啉硫酮、巯基苯并咪唑、4-甲基-4h-1,2,4-三唑-3-硫醇、5-氨基-1,3,4-噻二唑-2-硫醇和苯并噻唑中的一种或多种，优选苯并三唑和/或甲苯三唑，更优选甲苯三唑；
和/或，所述的含氟清洗液组合物中，所述的羧酸铵为草酸铵、乳酸铵、酒石酸铵、柠檬酸三铵、乙酸铵、氨基甲酸铵、碳酸铵、苯甲酸铵、乙二胺四乙酸铵、乙二胺四乙酸二铵、乙二胺四乙酸三铵、乙二胺四乙酸四铵、琥珀酸铵、甲酸铵和1-h-吡唑-3-甲酸铵中的一种或多种，优选草酸铵和/或柠檬酸三铵，更优选檬酸三铵；
和/或，所述的水为去离子水。
6.如权利要求1所述的含氟清洗液组合物的制备方法，其特征在于，所述的含氟清洗液组合物包括下述质量分数的组分：10-30％氧化剂、0.005-0.01％还原型谷胱甘肽、0.15-0.25％半胱氨酸、1-5％氟化氢、1-5％有机碱、0.01-2％螯合剂、0.01-2％缓蚀剂、0.5-3％羧酸铵、0.05-1％eo-po聚合物l81、0.01-2％9-蒽甲醛-1,1-二苯基腙和水，水补足余量；
所述的氧化剂为过氧化氢、过氧乙酸和过氧化脲中的一种或多种；
所述的有机碱为四甲基氢氧化铵和/或胆碱；
所述的螯合剂为1,2-环己二胺-n,n,n',n'-四乙酸和/或乙二胺四乙酸；
所述的缓蚀剂为苯并三唑和/或甲苯三唑；
所述的羧酸铵为草酸铵和/或柠檬酸三铵。
7.如权利要求1所述的含氟清洗液组合物的制备方法，其特征在于，所述的含氟清洗液组合物包括下述质量分数的组分：10-15％氧化剂、0.005-0.01％还原型谷胱甘肽、0.15-0.25％半胱氨酸、1-5％氟化氢、1-5％有机碱、0.01-2％螯合剂、0.01-2％缓蚀剂、0.5-3％羧酸铵、0.05-1％eo-po聚合物l81、0.01-2％9-蒽甲醛-1,1-二苯基腙和水，水补足余量；
所述的氧化剂为过氧化氢和/或过氧乙酸；
所述的有机碱为四甲基氢氧化铵；
所述的螯合剂为1,2-环己二胺-n,n,n',n'-四乙酸和/或乙二胺四乙酸；
所述的缓蚀剂为苯并三唑和/或甲苯三唑；
所述的羧酸铵为草酸铵和/或柠檬酸三铵。
8.如权利要求1所述的含氟清洗液组合物的制备方法，其特征在于，所述的含氟清洗液组合物包括下述质量分数的组分：10-15％过氧乙酸、0.005-0.01％还原型谷胱甘肽、0.15-0.25％半胱氨酸、1-5％氟化氢、1-5％四甲基氢氧化铵、0.01-2％乙二胺四乙酸、0.01-2％苯并三唑、0.5-3％草酸铵、0.01-1％eo-po聚合物l81、0.01-2％9-蒽甲醛-1,1-二苯基腙和水，水补足余量。
9.如权利要求1所述的含氟清洗液组合物的制备方法，其特征在于，所述的含氟清洗液组合物包括下述质量分数的组分的任一组合：
组合1：15％过氧化氢、0.005％还原型谷胱甘肽、0.25％半胱氨酸、2.5％氟化氢、2.5％四甲基氢氧化铵、1.0％乙二胺四乙酸、0.5％苯并三唑、1.0％草酸铵、0.05％eo-po聚合物l81、0.9％9-蒽甲醛-1,1-二苯基腙和去离子水，去离子水补足余量；
组合2：10％过氧化氢、0.01％还原型谷胱甘肽、0.15％半胱氨酸、1.0％氟化氢、1.0％四甲基氢氧化铵、0.01％乙二胺四乙酸、0.01％苯并三唑、0.5％草酸铵、0.01％eo-po聚合物l81、0.1％9-蒽甲醛-1,1-二苯基腙和去离子水，去离子水补足余量；
组合3：30％过氧化氢、0.01％还原型谷胱甘肽、0.25％半胱氨酸、5.0％氟化氢、5.0％四甲基氢氧化铵、2.0％乙二胺四乙酸、2.0％苯并三唑、3.0％草酸铵、1.0％eo-po聚合物l81、2.0％9-蒽甲醛-1,1-二苯基腙和水，去离子水补足余量；
组合4：15％过氧化氢、0.005％还原型谷胱甘肽、0.25％半胱氨酸、2.5％氟化氢、2.5％四甲基氢氧化铵、1.0％乙二胺四乙酸、0.5％苯并三唑、1.0％草酸铵、0.05％eo-po聚合物l81、0.9％9-蒽甲醛-1,1-二苯基腙和去离子水，去离子水补足余量；
组合5：30％过氧化氢、0.01％还原型谷胱甘肽、0.15％半胱氨酸、2.5％氟化氢、5.0％四甲基氢氧化铵、2.0％乙二胺四乙酸、2.0％苯并三唑、3.0％草酸铵、1.0％eo-po聚合物l81、2.0％9-蒽甲醛-1,1-二苯基腙和去离子水，去离子水补足余量；
组合6：15％过氧化脲、0.005％还原型谷胱甘肽、0.25％半胱氨酸、2.5％氟化氢、2.5％四甲基氢氧化铵、1.0％乙二胺四乙酸、0.5％苯并三唑、1.0％草酸铵、0.05％eo-po聚合物l81、0.9％9-蒽甲醛-1,1-二苯基腙和去离子水，去离子水补足余量；
组合7：15％过氧乙酸、0.005％还原型谷胱甘肽、0.25％半胱氨酸、2.5％氟化氢、2.5％四甲基氢氧化铵、1.0％乙二胺四乙酸、0.5％苯并三唑、1.0％草酸铵、0.05％eo-po聚合物l81、0.9％9-蒽甲醛-1,1-二苯基腙和去离子水，去离子水补足余量；
组合8：15％过氧化氢、0.005％还原型谷胱甘肽、0.25％半胱氨酸、2.5％氟化氢、2.5％胆碱、1.0％乙二胺四乙酸、0.5％苯并三唑、1.0％草酸铵、0.05％eo-po聚合物l81、0.9％9-蒽甲醛-1,1-二苯基腙和去离子水，去离子水补足余量；
组合9：15％过氧化氢、0.005％还原型谷胱甘肽、0.25％半胱氨酸、2.5％氟化氢、2.5％四甲基氢氧化铵、1.0％1,2-环己二胺-n,n,n',n'-四乙酸、0.5％苯并三唑、1.0％草酸铵、0.05％eo-po聚合物l81、0.9％9-蒽甲醛-1,1-二苯基腙和去离子水，去离子水补足余量；
组合10：15％过氧化氢、0.005％还原型谷胱甘肽、0.25％半胱氨酸、2.5％氟化氢、2.5％四甲基氢氧化铵、1.0％乙二胺四乙酸、0.5％甲苯三唑、1.0％草酸铵、0.05％eo-po聚合物l81、0.9％9-蒽甲醛-1,1-二苯基腙和去离子水，去离子水补足余量；
组合11：15％过氧化氢、0.005％还原型谷胱甘肽、0.25％半胱氨酸、2.5％氟化氢、2.5％四甲基氢氧化铵、1.0％乙二胺四乙酸、0.5％苯并三唑、1.0％柠檬酸三铵、0.05％eo-po聚合物l81、0.9％9-蒽甲醛-1,1-二苯基腙和去离子水，去离子水补足余量。
10.如权利要求1-9中任一项所述的含氟清洗液组合物的制备方法，其特征在于，所述的含氟清洗液组合物由下述的组分组成：所述的氧化剂、所述的还原型谷胱甘肽、所述的半胱氨酸、所述的氟化物、所述的有机碱、所述的螯合剂、所述的缓蚀剂、所述的羧酸铵、所述的eo-po聚合物l81、所述的9-蒽甲醛-1,1-二苯基腙和所述的水。