一种内存硬盘防腐抛光物的制作方法

文档序号:3799105阅读:209来源:国知局
一种内存硬盘防腐抛光物的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种内存硬盘防腐抛光物,其特征在于,包括下列重量份数的物质:柠檬酸3-9份,氯化钠8-14份,脂肪醇硫酸钠5-13份,过氧化氢14-25份,硫酸锌8-14份,氯苯7-10份,纳米硫酸钙12-24份,硫酸镁8-14份,表面活性剂1-3份,三乙胺2-8份,含氢硅油3-7份,氧化镁5-9份,碳酸钙15-25份,二氧化硅4-5份,钛酸酯偶联剂1-2份。本发明的有益效果是:制备简单,抛光效果明显,性能稳定。
【专利说明】一种内存硬盘防腐抛光物

【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及一种内存硬盘防腐抛光物。

【背景技术】
[0002]对增加内存或硬盘容量的需求以及内存或硬盘小型化的趋势(因为计算机设备中需要更小磁盘驱动器)持续不断,强调内存或硬盘片制造方法的重要性,包括这类盘片的平坦化或抛光,以确保性能最佳。尽管存在几种用于与半导体装置制造相关的化学机械抛光(CMP)组合物及方法,但是几乎没有常规的CMP方法或商购的CMP组合物非常适于内存或硬盘片的平坦化或抛光。


【发明内容】

[0003]本发明所要解决的技术问题是提供一种内存硬盘防腐抛光物。
[0004]为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案是:
一种内存硬盘防腐抛光物,其特征在于,包括下列重量份数的物质:柠檬酸3-9份,氯化钠8-14份,脂肪醇硫酸钠5-13份,过氧化氢14-25份,硫酸锌8-14份,氯苯7-10份,纳米硫酸钙12-24份,硫酸镁8-14份,表面活性剂1-3份,三乙胺2-8份,含氢硅油3-7份,氧化镁5-9份,碳酸钙15-25份,二氧化硅4-5份,钛酸酯偶联剂1-2份。
[0005]本发明的有益效果是:制备简单,抛光效果明显,性能稳定。

【具体实施方式】
[0006]实施例1
一种内存硬盘防腐抛光物,其特征在于,包括下列重量份数的物质:柠檬酸3-9份,氯化钠8-14份,脂肪醇硫酸钠5-13份,过氧化氢14-25份,硫酸锌8-14份,氯苯7-10份,纳米硫酸钙12-24份,硫酸镁8-14份,表面活性剂1-3份,三乙胺2-8份,含氢硅油3-7份,氧化镁5-9份,碳酸钙15-25份,二氧化硅4-5份,钛酸酯偶联剂1-2份。
【权利要求】
1.一种内存硬盘防腐抛光物,其特征在于,包括下列重量份数的物质:柠檬酸3-9份,氯化钠8-14份,脂肪醇硫酸钠5-13份,过氧化氢14-25份,硫酸锌8-14份,氯苯7-10份,纳米硫酸钙12-24份,硫酸镁8-14份,表面活性剂1-3份,三乙胺2-8份,含氢硅油3-7份,氧化镁5-9 份,碳酸钙15-25份,二氧化硅4-5份,钛酸酯偶联剂1-2份。
【文档编号】C09G1/02GK104046257SQ201410282495
【公开日】2014年9月17日 申请日期:2014年6月23日 优先权日:2014年6月23日
【发明者】范向奎 申请人:青岛宝泰新能源科技有限公司
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