一种高效内存硬盘用防腐抛光组合物的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种高效内存硬盘用防腐抛光组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质：表面活性剂10-18份，氧化镁5-9份，盐酸9-13份，氧化铜3-7份，双酚A型聚碳酸酯5-9份，三乙胺8-12份，酒石酸5-9份，苯甲酸甲酯6-7份，聚乙烯醇2-3份，二氧化硅4-5份，过氧化氢7-9份，硫酸锌1-3份，硫酸镁2-4份，氯苯1-3份，纳米硫酸钙2-8份，钛酸酯偶联剂1-2份，纳米银0.01-0.03份。本发明的有益效果是：制备简单，抛光效果明显，性能稳定。
【专利说明】一种高效内存硬盘用防腐抛光组合物
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及一种高效内存硬盘用防腐抛光组合物。
【背景技术】
[0002]对增加内存或硬盘容量的需求以及内存或硬盘小型化的趋势(因为计算机设备中需要更小磁盘驱动器)持续不断，强调内存或硬盘片制造方法的重要性，包括这类盘片的平坦化或抛光，以确保性能最佳。尽管存在几种用于与半导体装置制造相关的化学机械抛光(CMP)组合物及方法，但是几乎没有常规的CMP方法或商购的CMP组合物非常适于内存或硬盘片的平坦化或抛光。
【发明内容】
[0003]本发明所要解决的技术问题是提供一种高效内存硬盘用防腐抛光组合物。
[0004]为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是:
一种高效内存硬盘用防腐抛光组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质:表面活性剂10-18份，氧化镁5-9份，盐酸9-13份，氧化铜3-7份，双酚A型聚碳酸酯5-9份，三乙胺8-12份，酒石酸5-9份，苯甲酸甲酯6-7份，聚乙烯醇2-3份，二氧化硅4-5份，过氧化氢7-9份，硫酸锌1-3份，硫酸镁2-4份，氯苯1-3份，纳米硫酸钙2-8份，钛酸酯偶联剂1-2份，纳米银0.01-0.03份。
[0005]本发明的有益效果是:制备简单，抛光效果明显，性能稳定。
【具体实施方式】
[0006]实施例1
一种高效内存硬盘用防腐抛光组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质:表面活性剂10-18份，氧化镁5-9份，盐酸9-13份，氧化铜3-7份，双酚A型聚碳酸酯5-9份，三乙胺8-12份，酒石酸5-9份，苯甲酸甲酯6-7份，聚乙烯醇2-3份，二氧化硅4-5份，过氧化氢7-9份，硫酸锌1-3份，硫酸镁2-4份，氯苯1-3份，纳米硫酸钙2-8份，钛酸酯偶联剂1-2份，纳米银0.01-0.03份。
【权利要求】
1.一种高效内存硬盘用防腐抛光组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质:表面活性剂10-18份，氧化镁5-9份，盐酸9-13份，氧化铜3-7份，双酚A型聚碳酸酯5-9份，三乙胺8-12份，酒石酸5-9份，苯甲酸甲酯6-7份，聚乙烯醇2-3份，二氧化硅4-5份，过氧化氢7-9份，硫酸锌1-3份，硫酸镁2-4份，氯苯1-3份，纳米硫酸钙2-8份，钛酸酯偶联剂1-2份，纳米银0.01-0.03 份。
【文档编号】C09G1/02GK104046260SQ201410291836
【公开日】2014年9月17日 申请日期:2014年6月26日 优先权日:2014年6月26日
【发明者】范向奎 申请人:青岛宝泰新能源科技有限公司