技术特征：
技术总结
公开了一种用于化学机械抛光的浆料组合物，该组合物表现出在酸性气氛下pH随时间的变化小，从而可易于长期储存。用于化学机械抛光的浆料组合物包含磨料、0.000006重量％至0.01重量％的铝、和水。优选的是，磨料的表面上的硅烷醇基团的数量和铝含量满足以下数学式的要求。[数学式1]0.0005≤(S*C)*100≤4.5，其中S是1nm2的磨料表面上存在的硅烷醇基团的数量(单位：个/nm2)，以及C是浆料组合物中的铝含量(重量％)。
技术研发人员：朴惠贞;金宰贤;朴锺大;李敏键;申宗哲;陈成勋
受保护的技术使用者：东进世美肯株式会社
技术研发日：2017.05.17
技术公布日：2019.01.04