行驶车系统的制作方法

本发明的一个方面涉及行驶车系统。

背景技术

已知有这样的高架行驶车(例如专利文献1)：具备能够沿着轨道行驶的主体部，以及具有把持物品的把持部、通过多个吊挂部件卷取和放出而相对于所述主体部升降的升降部。专利文献1中记载的行驶车沿着轨道行驶，所述轨道具备左右一对侧壁和将这对侧壁的上端之间连接的基部，为了形成收容行驶部的空间而形成为截面呈C字形。分别在一对侧壁上沿着延伸方向设置给行驶车提供电力的供电部。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007－50793号公报

发明的概要

发明想要解决的课题

在这样的行驶车中，有必要定期地进行清洁行驶部等维护保养。但是，由于上述以往的轨道形成为行驶部在收容空间的内部行驶，因此只要不使行驶部露出就不能进行维护保养。因此，可以考虑在侧壁设置开口部，但由于在侧壁上配置有供电部，因此不能够确保具有能够对行驶部进行维护保养的尺寸的开口。在设置了具有能够维护保养的尺寸的开口的情况下，由于不能够设置供电部，因此行驶车不能够行驶。

技术实现要素：

因此，本发明的一个方面的目的是要提供一种形成维护保养作业所需的、使行驶部露出的作业区域，并且在该作业区域内能够使行驶车移动的行驶车系统。

用于解决课题的手段

本发明的一个方面所涉及的行驶车系统为行驶车在行驶用轨道上行驶的行驶车系统，行驶用轨道具有：收容行驶车的行驶部并且沿着行驶车的行驶路径延伸的主体部，以及沿着主体部的延伸方向设置、给行驶部提供电力的供电部；该行驶车系统具备：设置成与行驶用轨道接续、形成让行驶部的至少一部分露出的开放部、并且未设置供电部的作业用轨道，以及使行驶车沿着作业用轨道移动的移动机构。

在该结构的行驶车系统中，未在作业用轨道上设置供电部，取而代之的是利用原来设置了供电部的部分来形成让行驶部的至少一部分露出的开放部。由此，由于能够使在行驶用轨道上被收容于主体部而不能露出的行驶部从轨道露出，因此能够容易地实施行驶部的维护保养。并且，在该结构的行驶车系统中，虽然在未设置供电部的作业用轨道上行驶车不能自行行驶，但设置有用于使行驶车在该作业用轨道上移动的移动机构。结果，能够形成维护作业所需的、使行驶部露出的作业区域，而且能够使行驶车在该作业区域内移动。

在本发明的一个方面所涉及的行驶车系统中，也可以在作业用轨道的两端连接有行驶用轨道，移动机构使行驶车在从一方行驶用轨道到另一方行驶用轨道之间移动。在该结构的行驶车系统中，能够在行驶路径的一部上设置用来维护保养行驶车的作业区域。

本发明的一个方面所涉及的行驶车系统可以还具备处理装置，该处理装置对位于作业用轨道的行驶车，经由开放部对行驶部的至少一部分执行作业。在该结构的行驶车系统中，能够使对行驶车的维护作业的一部分自动化。

在本发明的一个方面所涉及的行驶车系统中，处理装置可以是吸引附着在行驶部的至少一部分上的附着物的吸引装置。在该结构的行驶车系统中，不会使附着物附着在其他部分上，能够回收附着物。

在本发明的一个方面所涉及的行驶车系统中，移动机构具备：从行驶方向上的前后夹着行驶车的一对臂部，使一对臂部在夹着行驶车的位置、与从行驶车退避的位置之间移动的转动驱动部，以及使一对臂部沿着行驶用轨道的延伸方向移动的移动驱动部。在该结构的行驶车系统中，由于能够在从行驶方向的前后夹着行驶车的状态下使行驶车移动，因此能够防止使行驶车移动时或停止时，行驶车在惯性的作用下移动了。

在本发明的一个方面所涉及的行驶车系统中，也可以移动机构具有：底板，以及能够沿行驶方向移动地设置在底板上的移动板；一对臂部具有第一臂部和第二臂部；第一臂部设置成能够相对于移动板、沿行驶用轨道的延伸方向移动，第二臂部设置成不能相对于移动板、沿行驶用轨道的延伸方向移动。在该结构的行驶车系统中，由于使行驶车移动时只要使设置了第一臂部和第二臂部的移动板移动就可以，因此，没有必要为了维持第一臂部和第二臂部之间的距离而同步控制第一臂部和第二臂部。因此，与第一臂部和第二臂部分别独立移动的结构相比，通过容易的控制就能够使行驶车移动。

在本发明的一个方面所涉及的行驶车系统中，可以行驶部具有无供电时施加制动的行驶轮、以及自由旋转的行驶辅助轮；作业用轨道具有从下方支承行驶部的下方支承部；下方支承部形成为，在竖直方向上与行驶辅助轮相对的第一部分位于比与行驶轮相对的第二部分靠上方。该结构的行驶车中的行驶轮构成为在驱动部没有驱动的状态下不容易旋转。因此，在行驶轮与未设置供电部的作业用轨道接触的状态下，不容易使行驶车移动。在该结构的行驶车系统中，由于仅有自由旋转的行驶辅助轮与作业用轨道接触，因此能够容易地使行驶车移动。

发明的效果

根据本发明的一个方面，不仅形成维护作业所需的、使行驶部露出的作业区域，而且使行驶车能够在作业区域内移动。

附图说明

图1为示出一个实施方式所涉及的行驶车系统的概略俯视图。

图2为从行驶方向观察图1的高架行驶车的正面概略图。

图3为示出了一个实施方式的作业用轨道的立体图。

图4为示出了图3的作业用轨道和行驶车的行驶部的剖视图。

图5为示出了一个实施方式的移动机构的俯视图。

图6为示出了图5的移动机构的侧视图。

图7为从作业用轨道的延伸方向观察配置在一个实施方式的作业区域中的移动机构和吸引装置的剖视图。

图8的(a)～(d)为示出了图5的移动机构的动作的说明图。

图9的(a)～(d)为示出了图5的移动机构的动作的说明图。

具体实施方式

下面参照附图对本发明的一个方面的优选实施方式详细地进行说明。另外，在附图的说明中，对于相同的组成部分，添加相同的附图标记，省略重复的说明。在图2、图4及图7中，为了便于说明，定义“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”方向。

如图1及图2所示，行驶车系统1为使用能够沿着行驶用轨道4移动的高架行驶车6在载置部9、9之间搬运物品10用的系统。物品10包含例如存放多个半导体晶圆的FOUP(Front Opening Unified Pod：前开式晶圆传送盒)以及存放玻璃基板的容器、光掩模盒等之类的容器，以及一般的零部件等。行驶车系统1具备行驶用轨道4、多台行驶车6、多个载置部9、作业用轨道41、移动机构60、以及吸引装置(处理装置)80。

行驶用轨道4例如铺设在作业者的头顶空间即天花板付近。行驶用轨道4例如被从天花板悬吊着。行驶用轨道4为用来使行驶车6行驶的预定的行驶路线。行驶用轨道4由支柱40A、40A支承。行驶车系统1的行驶用轨道4具有朝一个方向在规定的区域巡回的主线部4A，以及使行驶车6导入设置了用来维护保养行驶车6的作业区域160的作业用轨道41的退避部4B。另外，行驶车6在退避部4B也沿着预定的一个方向移动。

行驶用轨道4具有：由一对下面部40B、一对侧面部40C、40C和顶面部40D构成的筒状导轨主体部40，供电部40E，以及磁板40F。导轨主体部40收容(内包)行驶车6的行驶部50。下面部40B沿行驶车6的行驶方向延伸，构成导轨主体部40的下表面。下面部40B为使行驶车6的行驶滚轮51滚动而行驶的板状部件。侧面部40C沿行驶车6的行驶方向延伸，构成导轨主体部40的侧表面。顶面部40D沿行驶车6的行驶方向延伸，构成导轨主体部40的上表面。

供电部40E为给行驶车6的供电芯57提供电力、并且与供电芯57进行信号收发的部位。供电部40E分别固定在一对侧面部40C、40C上，沿着行驶方向延伸。供电部40E以非接触的状态对供电芯57提供电力。磁板40F使行驶车6的LDM(Linear DC Motor：线性直流电动机)59产生行驶或停止用的磁力。磁板40F固定在顶面部40D上，沿着行驶方向`延伸。

行驶车6在行驶用轨道4上行驶、搬运物品10。行驶车6在行驶用轨道4上行驶是指行驶车6的行驶滚轮51在行驶用轨道4的下面部40B上滚动。行驶车6构成为能够移载物品10。行驶车6为高架行驶式无人行驶车。行驶车系统1所具备的行驶车6的台数没有特别限制，是多台。行驶车6具有主体部7、行驶部50、控制部35。主体部7具有主体框22、横向输送部24、θ驱动器26、升降驱动部28、升降台30、盖33。

主体框22与行驶部50连接，支承横向输送部24、θ驱动器26、升降驱动部28、升降台30、盖33。横向输送部24将θ驱动器26、升降驱动部28及升降台30一并沿与行驶用轨道4的行驶方向成直角的方向横向输送。θ驱动器26使升降驱动部28和升降台30中的至少任一个在水平面内在规定的角度范围内转动。升降驱动部28通过钢丝、绳索及皮带等吊挂材料的卷取或放出而使升降台30升降。在升降台30上设置有卡盘，可以自由地把持或释放物品10。盖33在例如行驶车6的行驶方向的前后设置一对。盖33使未图示的爪等出没，防止物品10在搬运过程中落下。

行驶部50使行驶车6沿着行驶用轨道4行驶。如图4所示，行驶部50具有行驶滚轮51、侧滚轮52、分支滚轮53、辅助滚轮54、倾斜滚轮55、供电芯57及LDM59。图2中，分支滚轮53、辅助滚轮54、及倾斜滚轮55的图示省略。

行驶滚轮51为由作为行驶轮的外轮51A和作为行驶辅助轮的内轮51B构成的滚轮对。行驶滚轮51配置在行驶部50的前后的左右两端。行驶滚轮51在行驶用轨道4的一对下面部40B、40B(或后述的图4的下方支承部43)上滚动。侧滚轮52配置成在前后方向上分别夹着行驶滚轮51的外轮51A。侧滚轮52设置成能够与行驶用轨道4的侧面部40C(或后述的图4的侧面支承部45)接触。分支滚轮53配置成在上下方向上分别夹着侧滚轮52。侧滚轮52设置成能够与配置在行驶用轨道4的连接部或分支部等上的引导件(未图示)接触。

辅助滚轮54设置在行驶部50的前后，为三个一组的滚轮组。辅助滚轮54是为了当行驶部50因加减速等而在行驶中前后倾斜时，防止LDM59及供电芯57等与配置在行驶用轨道4的上表面的磁板40F接触而设置的。倾斜滚轮55设置在LDM59的四个拐角。倾斜滚轮55以从前后方向倾斜的状态配置着。倾斜滚轮55是为了防止行驶部50在拐弯区间行驶之际的离心力引起的倾斜而设置的。

供电芯57在行驶部50的前后配置成沿左右方向夹着LDM59。与配置在行驶用轨道4上的供电部40E之间通过非接触进行供电，并且通过非接触进行各种信号的收发。供电芯57与控制部35之间交换信号。LDM59设置在行驶部50的前后。LDM59通过电磁铁在与配置于行驶用轨道4上表面的磁板40F之间产生用于行驶或停止的磁力。

如图1所示，载置部9沿着行驶用轨道4配置，设置在能够与行驶车6之间移交物品10的位置上。载置部9包含缓冲区和移交端口。缓冲区为临时载置物品10的载置部。缓冲区为例如在由于作为目的地的移交端口正载置着其他物品10等原因，不能将行驶车6搬运中的物品10移载到该移交端口的情况下，临时放置物品10的载置部。移交端口为用来对包括例如以洗净装置、成膜装置、光刻装置、刻蚀装置、热处理装置、平坦化装置为主的半导体的处理装置(未图示)进行物品10的移交的载置部。另外，处理装置没有特别限定，可以是各种装置。

例如，载置部9配置在行驶用轨道4的侧边。这种情况下，行驶车6通过利用横向输送部24横向输送升降驱动部28等、并使升降台30稍微升降，与载置部9之间移交物品10。另外，虽然没有图示，但载置部9也可以配置在行驶用轨道4的正下方。这种情况下，行驶车6通过使升降台30升降来与载置部9之间移交物品10。

控制部35为由CPU(Central Processing Unit：中央处理器)、ROM(Read Only Memory：只读存储器)及RAM(Random Access Memory：随机存储器)等构成的电子控制单元。控制部35控制行驶车6中的各种动作。具体为，控制部35控制行驶部50、横向输送部24、θ驱动器26、升降驱动部28、升降台30。控制部35可以构成为存储在例如ROM中的程序被加载到RAM上、由CPU执行的软件。控制部35也可以由电子电路等构成为硬件。控制部35利用行驶用轨道4的供电部40E(馈电线)等与控制器90进行通信。

控制器90为由CPU、ROM及RAM等构成的电子控制单元。控制器90可以构成为存储在例如ROM中的程序被加载到RAM上、由CPU执行的软件。控制器90也可以由电子电路等构成为硬件。控制器90给行驶车6发送搬运物品10的搬运指令。

如图1所示，作业区域160为设置在退避部4B的一部上、实施行驶车6所包含的行驶部50的行驶滚轮51及供电芯57等的维护保养的区域。在作业区域160中设置有作业用轨道41(参照图3)、移动机构60(参照图5及图6)、吸引装置(处理装置)80(参照图7)。

作业用轨道41以其两端与行驶用轨道4、4接续的方式沿一个方向(以下称为“延伸方向X”。)而延伸，如图3及图4所示，形成有使行驶部50的至少一部分(例如供电芯57)露出的开放部47。换言之，在作业用轨道41上未设置如设置在行驶用轨道4上那样的供电部40E和顶面部40D，而是使与行驶用轨道4的供电部40E和顶面部40D对应的部分成为开放部47。

作业用轨道41具有配置在作业用轨道41两端的框体42、一对下方支承部43、43、一对侧面支承部45。

框体42具有一对侧面部42A、42A、顶面部42B。一对侧面部42A、42A在左右方向上相对配置，为沿竖直方向延伸的板状部件。侧面部42A经由托架(未图示)及支柱(未图示)而被固定在天花板。顶面部42B为在一对侧面部42A、42A的上端连接一对侧面部42A、42A的板状部件。

下方支承部43从下方支承行驶部50。更详细为，下方支承部43为使行驶车6的行驶滚轮51的内轮51B滚动而行驶的部件。下方支承部43固定在框体42的侧面部42A的下端，沿着延伸方向X架设在一对框体42、42上。下方支承部43形成为，在竖直方向上与内轮51B相对的第一部分43B位于比与外轮51A相对的第二部分43A靠上方。下方支承部43的第一部分43B(即内轮51B的滚动面)在与行驶用轨道4连接的部位以与行驶用轨道4的下面部40B(参照图2)的上表面构成同一水平的平面(表面对齐)的方式而进行连接。

侧面支承部45为行驶车6的侧滚轮52接触的部件。侧面支承部45被固定于框体42的侧面部42A，架设在一对框体42、42上。

如图5～图7所示，移动机构60使行驶车6沿着作业用轨道41移动，以便使行驶车6在作业用轨道41上行驶。行驶车6在作业用轨道41上行驶是指行驶车6的行驶滚轮51在作业用轨道41的下方支承部43上滚动。在作业用轨道41的两端连接有行驶用轨道4、4。移动机构60使行驶车6在从一方行驶用轨道4到另一方行驶用轨道4之间移动。移动机构60具备底板70、移动板71、由第一臂部61和第二臂部65构成的一对臂部、第一转动驱动部(转动驱动部)62、第二转动驱动部(转动驱动部)66、第一移动驱动部(移动驱动部)64、第二移动驱动部(移动驱动部)68。

底板70支承移动板71、第一臂部61、第二臂部65、第一转动驱动部62、第二转动驱动部66、第一移动驱动部64、以及第二移动驱动部68，为板状部件。底板70利用悬挂部件75从天花板悬吊着。

移动板71为支承第一臂部61、第二臂部65、第一转动驱动部62、第二转动驱动部66、第一移动驱动部64、以及第二移动驱动部68的板状部件。移动板71设置成能够相对于底板70沿行驶车6的延伸方向X移动。更详细为，移动板71被设置成能够通过由LM引导件(Linear Motion Guide：直线滑动导轨)68A及驱动电动机68B等构成的第二移动驱动部68、相对于底板70沿行驶车6的延伸方向X移动。

第一臂部61配置在行驶车6的延伸方向X上的上游侧。即，当使行驶车6移动时，第一臂部61与行驶车6的后端(盖33)接触。另外，这里所说的上游侧、下游侧是指以预先设定的行驶车6向一个方向的移动方向为基准拟定的方向。第一臂部61在第一转动驱动部62的驱动下在夹着行驶车6的位置(接触位置)与从行驶车退避6的位置(退避位置)之间移动。第一臂部61和第一转动驱动部62设置为，在第一移动驱动部64的驱动下能够相对于移动板71沿行驶车6的延伸方向X移动。更详细为，第一臂部61和第一转动驱动部62设置为，利用由LM引导件64A和驱动电动机64B等构成的第一移动驱动部64能够相对于移动板71沿行驶车6的延伸方向X移动。

第二臂部65配置在行驶车6的延伸方向X的下游侧。即，当使行驶车6移动时，第二臂部65与行驶车6的前端接触。第二臂部65在第二转动驱动部66的驱动下能够在夹着行驶车6的位置与从行驶车退避6的位置之间移动。第二臂部65和第二转动驱动部66、与第一臂部61和第一转动驱动部62不同，设置为不能相对于移动板71而沿延伸方向X移动。

吸引装置80对位于作业区域160(作业用轨道41)的行驶车6，经由开放部47而对行驶部50的至少一部分执行作业。更详细为，吸引装置80吸引附着在行驶部50的至少一部分(例如供电芯57)上的附着物。吸引装置80设置在从天花板悬吊下来的支承板85上。吸引装置80为由六个(六轴)关节构成的垂直多关节型机器人81，在其顶端设置有吸引附着物的吸引部82。

下面主要使用图8和图9说明移动机构60使行驶车6移动时的动作。

当配置在作业区域160的作业用轨道41上不存在行驶车6时，如图8的(a)所示，第一臂部61位于退避位置、第二臂部65位于接触位置。在这样的状态下，当行驶车6进入到作业用轨道41中来时，如图8的(b)所示，行驶车6临时停止在与第二臂部65接触的位置。当行驶车6临时停止在与第二臂部65接触的位置时，第一转动驱动部62使第一臂部61转动到接触位置，第一移动驱动部64使第一臂部61和第一转动驱动部62を前进(移动到行驶车6的行驶方向的下游侧)。由此，如图8的(c)所示，行驶车6变成被第一臂部61和第二臂部65夹着的状态。

接着，如图8的(d)所示，第二移动驱动部68使移动板71前进。即，第二移动驱动部68在维持第一臂部61与第二臂部65之间的距离的状态下使第一臂部61、第一转动驱动部62、第二臂部65和第二转动驱动部66前进。行驶车6在被第一臂部61和第二臂部65夹着的状态下前进，如图9的(a)所示，被沿着作业用轨道41从一方行驶用轨道4移动到了另一方行驶用轨道4。

接着，当行驶车6被移动到另一方行驶用轨道4时，如图9的(b)所示，第二转动驱动部66使第二臂部65转动到退避位置。然后，行驶车6利用提供给行驶部50的供电芯57的电力在自身的行驶部50所具有的驱动部的驱动下开始前进。

接着，如图9的(c)所示，第二转动驱动部66使第二臂部65转动到接触位置。然后，第二移动驱动部68使移动板71后退。即，第二移动驱动部68在维持第一臂部61与第二臂部65之间的距离的状态下，使第一臂部61、第一转动驱动部62、第二臂部65和第二转动驱动部66后退。然后，第一移动驱动部64使第一臂部61和第一转动驱动部62后退。如图9的(d)所示，第一臂部61和第二臂部65返回到等待下一个进入其中来的行驶车6的位置。然后，如图8的(a)所示，在第一臂部61位于退避位置、第二臂部65位于接触位置的状态下，等待下一个行驶车6的到来。

接着，对上述实施方式的行驶车系统1的作用效果进行说明。在上述实施方式的行驶车系统1中，在作业用轨道41上不设置供电部，而是像图3所示那样利用原来设置了供电部的部分来形成让行驶车6的行驶部50的至少一部分露出的开放部47。由于能够使在行驶用轨道4上被收容在导轨主体部40中而不能露出的行驶部50从作业用轨道41露出，因此能够容易地实施行驶部50的维护保养。并且，在上述实施方式的行驶车系统1中，设置有用来使因未设置供电部而无法自行行驶的行驶车6在作业用轨道41上移动的移动机构60。因此，不仅能够形成维护保养作业所需的使行驶部50露出的作业区域160，而且使行驶车6能够在该作业区域160中移动。

在上述实施方式的行驶车系统1中，如图5和图6所示，具备使行驶车6沿着作业用轨道41在从一方行驶用轨道4到另一方行驶用轨道4之间移动的移动机构60。因此，能够在行驶路径的一部分上设置用来维护保养行驶车6的作业区域。

如图7所示，上述实施方式的行驶车系统1中，具备对位于作业用轨道41的行驶车6经由开放部47而对行驶部50的至少一部分执行作业的作为处理装置的吸引装置80。利用这样的结构，能够使对行驶车6的维护作业的一部分自动化，不会把附着物散布出去而使附着物附着在其他部分上，能够回收附着物。

如图5和图6所示，上述实施方式的行驶车系统1的移动机构60具备从行驶方向上的前后夹着行驶车6的一对臂部即第一臂部61和第二臂部65。利用这样的结构，能够防止在使行驶车6移动时或停止时行驶车6由于惯性而移动了。

上述实施方式的行驶车系统1的移动机构60在设置成能够相对于底板70沿延伸方向X移动的移动板71上，设置有第一臂部61和第二臂部65。利用这样的结构，没有必要为了在使行驶车6移动时维持相互之间的距离而同步控制第一臂部61和第二臂部65。因此，与第一臂部61和第二臂部65分别独立移动的结构相比，通过容易的控制就能够使行驶车6移动。

在上述实施方式的行驶车系统1的作业用轨道41中，如图4所示，下方支承部43形成为，在竖直方向上，与内轮51B相对的第一部分43B位于比与外轮51A相对的第二部分43A靠上方。因此，即使是具有在没给供电芯57提供电力的状态下(无供电时)为了不旋转而施加制动的外轮51A的行驶车6，由于只有未施加制动而自由旋转的内轮51B与作业用轨道41接触、作为行驶轮的外轮51A处于悬空状态(不与下方支承部43接触的状态)，因此能够容易地使行驶车6移动。

以上说明了本发明的一个实施方式，但本发明的一个方面并不局限于上述实施方式，在不超出发明宗旨的范围内能够进行种种变更。

上述实施方式的作业用轨道41举了由下方支承部43及侧面支承部45构成的例子进行了说明，但并不局限于该实施方式。例如，也可以形成具有像行驶用轨道4所具备的一对侧面部40C、40C那样覆盖侧面的侧面部、利用原来设置了供电部的部分使行驶部50的至少一部分露出的开放部47。

上述实施方式中举了作业区域160(即作业用轨道41)配置在行驶用轨道4与行驶用轨道4之间的例子进行了说明，但作业区域160也可以配置在行驶用轨道4的终端部。

上述实施方式的移动机构60举了第一臂部61和第二臂部65设置在移动板71上、一体地沿延伸方向X移动的例子进行了说明，但并不局限于该实施方式。例如，也可以第一臂部61和第二臂部65设置在底板70上、分别相对于底板70而独立地沿延伸方向X移动地设置。

就上述实施方式的作业用轨道41举了下方支承部43形成为在竖直方向上第一部分43B位于比第二部分43A靠上方的例子进行了说明，但并不局限于该实施方式。例如，在行驶部50的行驶轮作为内轮51B而形成、行驶辅助轮作为外轮51A而构成的情况下，也可以形成为第二部分43A位于比第一部分43B靠上方。

上述实施方式中举了应用于悬吊行驶车6并使其行驶用的行驶用轨道4的例子进行了说明，但本发明的一个方面也可以应用于行驶车在配置于地面的轨道上行驶的行驶车系统。

附图标记的说明

1—行驶车系统；4—行驶用轨道；6—高架行驶车(行驶车)；7—主体部；10—物品；40C—侧面部；40E—供电部；41—作业用轨道；42—框体；43—下方支承部；43A—第二部分；43B—第一部分；45—侧面支承部；47—开放部；50—行驶部；51—行驶滚轮；51A—外轮(行驶轮)；51B—内轮(行驶辅助轮)；57—供电芯；60—移动机构；61—第一臂部；62—第一转动驱动部(转动驱动部)；64—第一移动驱动部(移动驱动部)；65—第二臂部；66—第二转动驱动部(转动驱动部)；68—第二移动驱动部(移动驱动部)；70—底板；71—移动板；80—吸引装置(处理装置)；81—垂直多关节型机器人；82—吸引部；160—作业区域。