专利名称：非接触保持体及非接触保持柄的制作方法
技术领域：
本发明涉及通过使负压和正压作用在保持对象物的不同区域，从而在保持对象和保持面不接触的状态下对保持对象物进行保持的非接触保持体及非接触保持柄。
背景技术：
以往，如专利文献1所示，已知一种在液晶基板或半导体晶片等工件与保持部不接触的状态下对工件进行保持的非接触保持体。利用气体回旋流的非接触保持体，一般由与工件相面对的一端面构成保持面的筒体构成。而且，通过在筒内形成的气体回旋流从设在保持面的开口向工件和保持面之间流出，从而在设于保持面的开口的中心部分形成由回旋流形成的负压，并且在设于保持面的开口的外侧形成由该气体形成的正压。其结果是， 负压和正压作用到工件的不同部分，从而以工件和保持面不接触的状态将工件保持在保持面。专利文献1 日本特开2008-87910号公报然而，从设在保持面的开口流出的气体，由于回旋产生的惯性力和离心力而划出与保持面平行的涡旋状的轨迹。此时，从开口流出的气体和在开口周边流动的气体接触，并且从开口流出的气体和保持面接触。因此，从开口流出的气体所划出的上述涡旋状的轨迹， 以及在筒内形成的回旋流的回旋状态，由于从开口流出的气体的流动，也就是保持面的表面粗糙度、开口周边的气体流动而产生很大变化。例如，如果在保持面的面内表面粗糙度分布存在较大偏差，则保持面的面内会形成相对压力损失大的区域。其结果是，由于压力损失大的区域的压力变为低于该区域以外的压力，所以对于保持面与工件之间的正压，形成局部性的低的压力区域。此外，例如如果从开口流出的气体由于与该开口周边的气体的摩擦而流速急剧下降，则筒内形成的回旋流的回旋状态产生变化，所以甚至是由该回旋流形成的负压也产生很大变化。当如上所述地作用于工件的负压产生变动或局部性的正压产生变动时，工件和保持面的距离很难在保持面的面内保持不变，从而导致工件的姿势变得不稳定。另外，在使用多个非接触保持体来保持工件时，负压的变动、局部性正压的变动在每个非接触保持体上会分别在不同时刻产生，所以更无法稳定保持的工件的姿势。
发明内容
本发明是鉴于上述实际情况而作出的，其目的在于提供一种非接触保持体及非接触保持柄，使保持的工件的姿势稳定。本发明的非接触保持体具备筒体，上述筒体在与工件相面对的保持面具有与筒内周面连接的开口，通过流入到上述筒体内部的气体回旋流来在上述开口形成负压，并且通过从设于上述保持面的上述开口流出的上述气体来在该保持面和上述工件之间形成正压， 由此在上述工件与上述保持面不接触的状态下将上述工件保持于上述保持面，在上述保持面设置2n+l个引导槽，其中η为正整数，上述引导槽被形成为沿着上述回旋流的回旋方向的卷绕方向的涡旋状，并具有与上述开口连通的始端，对从该始端流入的气体沿着上述卷绕方向进行引导，在以上述开口为中心的圆周上等间隔地配置上述引导槽的终端。根据本发明的非接触保持体，从设于保持面的开口流出的气体，被导入设在保持面的2n+l个引导槽并向保持面的外侧流出。此时，从开口流出的气体通过多个引导槽的各个而被引导至保持面的外侧，所以从开口流出的气体，不会由于与该开口周边的气体的摩擦等而其流速急剧回落。因此，能够使在筒内形成的回旋流的回旋状态及由该回旋流形成的负压稳定。此外，由于气体通过2n+l个引导槽流出，所以与气体通过流路截面积与该引导槽相同的一个引导槽流出的情况相比，抑制了流入引导槽的气体的流速。因此，即使在保持面的面内形成相对压力损失大的区域，也能以抑制引导槽中的气体的流速的程度降低在引导槽中流动的气体的压力损失。其结果是，在保持面和工件之间形成正压时，抑制局部性的压力下降。因此，按照本发明的非接触保持体，作用在工件上的负压和正压稳定，所以能够使该工件的姿势稳定。另外，在各引导槽的终端，伴随在引导槽中流动的气体向外部流出而产生急剧的压力下降。在保持面只设置一个引导槽的结构中，终端附近的急剧的压力下降在保持面的一个部位产生，所以存在工件卡在上述终端而导致倾斜的可能性，并且还存在被向外部流出的气体的流动拖拽而工件移动的可能性。针对于此，按照本发明的非接触保持体，由于在以开口为中心的圆周上等间隔地配置引导槽的终端，所以上述的终端附近的压力下降以开口为中心均勻地作用。其结果是，能够使工件的姿势更为稳定。在该非接触保持体中，设于上述保持面的上述开口为圆形状，上述引导槽的始端等间隔地配置在上述开口的周向上。根据该非接触保持体，由于在呈圆形状的开口的周向等间隔地配置引导槽的始端，所以流入各引导槽的气体变得更为均勻，其结果是能够使工件的姿势更为稳定。在该非接触保持体中，上述引导槽具备作为与上述开口相对近的壁面的内侧壁面；作为与上述开口相对远的壁面的外侧壁面；将上述内侧壁面和上述外侧壁面连接起来的底面，上述外侧壁面为与上述保持面的法线平行的面。根据非接触保持体，在由于朝向外侧壁面的离心力而气体与外侧壁面冲撞的情况下，有更多的气体朝向内侧壁面或底面侧流动。因此，在引导槽中流动的气体很难越过外侧壁面，结果从开口流出的气体沿着引导槽可靠地被引导。在该非接触保持体中，上述引导槽具备作为与上述开口相对近的壁面的内侧壁面；作为与上述开口相对远的壁面的外侧壁面；将上述内侧壁面和上述外侧壁面连接起来的底面，上述外侧壁面为相对上述保持面的法线向上述开口侧倾斜的倾斜面。根据该非接触保持体，在由于朝向外侧壁面的离心力而气体与外侧壁面冲撞的情况下，有更多的气体朝向内侧壁面或底面侧流动。因此，在引导槽中流动的气体很难越过外侧壁面，结果从开口流出的气体沿着引导槽可靠地被弓I导。在该非接触保持体中，上述筒体为圆筒体，并具有流入路，上述流入路在上述筒内周面具有开口且沿上述筒内周面的切线方向延伸。根据该非接触保持体，通过流入路流入筒内的气体具有沿着筒体内周面的切线方向的流动，所以能够使筒体内部更有效地产生回旋流。该非接触保持体优选地，上述流入路在上述筒内周面沿该筒内周面的周向等间隔地配置。根据该非接触保持体，在回旋流产生部中从等间隔地配置的多个流入路流入气体。按照这种结构，能够使回旋流更有效地产生。本发明的非接触保持柄，是具备架部和与上述架部连接的壁部的非接触保持柄， 上述架部保持权利要求1至6中任一项上述的多个非接触保持体，上述多个非接触保持体， 由上述保持面被配置在同一平面且相同个数的上述回旋流的回旋方向互不相同的非接触保持体构成。按照本发明的非接触保持柄，由在引导槽中流动的气体产生的工件的旋转力在保持于架部的各非接触保持体中相互抵消。其结果是，工件沿着与保持面平行的方向的旋转， 所以使工件的姿势更为稳定。
图1为本发明一实施方式所涉及的非接触保持柄的分解立体图。图2为表示保持部的立体构造的立体图，(a)为从与保持面相反的一侧看到的立体图，(b)为从保持面看到的立体图。图3(a)为保持部的从保持面侧看到的俯视图，(b)为沿A-A线的剖视图。图4为表示变形例的引导槽的构造的剖视图。图5为表示变形例的引导槽的构造的剖视图。图6为表示变形例的回旋流产生部的构造的俯视图。附图标记说明10...非接触保持柄；11...壳体部；12...保持部；13...压缩空气供应源；14...下部壳体；15...上部壳体；16...架部；17...臂部；18...阶梯； 19...凹部；20...通孔；21...隔离部；25...管；26...管连接口 ；28...压缩空气供应路； 29...轴；30...回旋流产生部；31...端面；32...保持面；33...流入路；35...引导槽； 35a. · ·内侧壁面；35b. · ·外侧壁面；35c. · ·底面；36. · ·引导槽；37. · ·引导槽；41. · ·通孔；42. · ·凸部；42a. · ·端面；43. · ·流入路。
具体实施例方式下面，参照图1至图3对应用本发明的非接触保持体的非接触保持柄的一实施方式进行说明。图1为非接触保持柄的分解立体图。图2为表示保持部的构造的图，(a)为从保持面的相反侧看到的立体图，(b)为从保持面侧看到的立体图。图3(a)为保持部的从保持面侧看到的俯视图，图3 (b)为沿A-A线的剖视图。如图1所示，非接触保持柄10具有壳体部11、作为筒体的保持部12和作为供气源的压缩空气供应源13。壳体部11由下部壳体14和固定于该下部壳体14的上部壳体15构成。壳体部11 具有配设保持部12的架部16和与该架部16连接并直线状延伸的臂部17。该臂部17在手握非接触保持柄10时作为把手部发挥作用，在安装到装置时作为安装部发挥功能。在下部壳体14上形成具有与架部16及臂部17连接的台阶18的多段状的凹部 19。在下部壳体14的架部16中，将向凹部19的底面开口的截面呈圆状的四个通孔20配置成矩阵状。此外，在与臂部17的延伸方向正交的方向且相面对的两个通孔20之间，具有与台阶18相同高度的隔离部21从凹部19的底面直立设置。另一方面，上部壳体15呈平板状。在上部壳体15的一端中，设有经由管子25与压缩空气供应源13连接的管连接口 26。上部壳体15以与凹部19的台阶18及隔离部21 的上表面接触的形态被插入到该凹部19，相对下部壳体14气密地被固定。即，在壳体部11的内部，由下部壳体14和上部壳体15形成与台阶18及隔离部21 的高度对应的空间，即、形成从压缩空气供应源13经由管连接口沈供应压缩空气的压缩空气供应路观。另一方面，在上述四个通孔20内插入保持部12。如图2(a)所示，保持部12以其外周面与通孔20面接触的形态形成以轴四为中心轴的圆筒形状，并由筒内周面形成圆柱形状的内部空间。保持部12具有与上部壳体15的下表面(接触面)面接触的端面31和配置在从下表面稍稍突出的位置的保持面32。各保持部12的保持面32被配置在与轴四正交的同一平面上。保持部12以被上述内部空间的顶面为密封部件的上部壳体15的接触面密封的形态粘接固定到上部壳体15，同时相对下部壳体15的通孔20气密地被粘接固定。 而且，通过上述内部空间被上部壳体15密封而形成回旋流产生部30。S卩，由保持部12和上部壳体15构成非接触保持体。在保持部12的端面31内，凹设有用于使压缩空气供应路观内的压缩空气流入回旋流产生部30的一对流入路33。一对流入路33其一端位于回旋流产生部30的内周面，另一端位于保持部12的外周面，端面31中的开放部分被上部壳体15密封。一对流入路33 形成为，从回旋流产生部30的截面圆的切线方向且在该回旋流产生部30的内周面中的相面对位置朝向相反的方向延伸。即，一对流入路33的一端以等间隔地设在回旋流产生部30 的内周面。只要是这种结构，经由流入路33流入回旋流产生部30的压缩空气，就具有沿上述切线方向的流动，所以能够诱发沿回旋流产生部30的内周面的流动。其结果是，能够在回旋流产生部30内有效产生一上述轴四为轴的回旋流。此外，由于在回旋流产生部30中从多个部位并且相面对的位置流入压缩空气，所以能够更有效地在回旋流产生部30产生回旋流。通过这种回旋流产生部30中的压缩空气的回旋，在回旋流产生部30的中心部产生基于伯努利定律的负压，使保持面吸附工件。在回旋流产生部30中回旋的压缩空气最终从保持面32中的开口部沿着该保持面32流出。下面，对保持部12的保持面32作更详细的说明。另外，回旋方向为相反方向的两个保持部12，除回旋方向相反之外基本构造相同。因此，只对一方的回旋方向的保持部12 的保持面32进行说明，对另一方的回旋方向的保持部12的保持面32省略详细说明。如图2(b)所示，在保持部12的保持面32中，设有从该保持面32中的回旋流产生部30的开口部起形成涡旋状的奇数个(本实施方式中为三个)引导槽35、36、37。如图 3(a)所示，引导槽35、36、37以沿着在回旋流产生部30中产生的回旋流的回旋方向的方式形成。引导槽35、36、37以上述轴四为中心分别旋转移动120°的形态的相同的构造形成。 即，引导槽35、36、37的各始端沿开口部的周向等间隔地设置。从回旋流产生部30流出的压缩空气分别导入到引导槽35、36、37之后，向保持面32的外侧流出。此时，流入引导槽35、 36、37的压缩空气，由于各引导槽35、36、37的始端沿开口部的周向等间隔地设置而均勻地流入。另外，在图3(a)中，用实线表示引导槽35中的压缩空气的流动，用双点划线表示引导槽36中的压缩空气的流动，用虚线表示引导槽37中的压缩空气的流动。
如图3(b)所示，引导槽35具有内侧壁面35a，其为在包含回旋流产生器30的轴 29的流路截面中距回旋流产生部30的轴四最近的壁面；外侧壁面35b，其为距轴四最远的壁面；以及底面35c，其为连接内侧壁面3 和外侧壁面35b的壁面。内侧壁面35a以流路截面在保持面32侧展开的方式，由相对回旋流产生部30的轴四倾斜的面、即倾斜面构成。另一方面，外侧壁面35b由与回旋流产生部30的轴四平行的面、即垂直面构成。另外， 引导槽36、37中的内侧壁面、外侧壁面和底面也均以相同的方式构成。按照由这种结构构成的引导槽35、36、37的话，由于在作为垂直壁面的外侧壁面承受基于回旋流的压缩空气的离心力，所以该压缩空气很难越过外侧壁面。即，能够沿着引导槽35、36、37可靠地引导压缩空气。此外，由于内侧壁面35a由倾斜面构成，所以能够提高构成引导槽35的壁部的物理强度。而且，从引导槽35、36、37的开放部分，在该引导槽35、36、37中流动的压缩空气的一部分朝向保持面32流出，该流出的压缩空气使保持面32和工件之间产生正压。而且， 在非接触保持柄10中，通过该正压和上述的负压作用到工件，相对保持面32以非接触方式保持工件。在此，由于在涡旋状各引导槽35、36、37中流动的压缩空气而工件上会赋予旋转力。因此，如果将配置成矩阵状的四个保持部12全部设为相同回旋方向的结构，则存在由于上述旋转力而导致工件旋转的可能性。针对于此，在本实施方式中，配置成矩阵状的四个保持部12中的配置于对角位置的两个保持部，其回旋流的回旋方向相同，以夹持隔离部21 的形态配置的两个保持部12，其回旋流的回旋方向相反。只要是这种结构，能够抵消由于在引导槽中流动的压缩空气而承受的旋转力，从而能够抑制工件的旋转。其结果是能够使工件的姿势稳定。此外，在上述的引导槽35、36、37中引导的压缩空气，与通过未形成引导槽的保持面向外侧流出的压缩空气相比，可以抑制与周边压缩空气的摩擦等而引起的流动紊乱，圆滑地向保持面32的外侧流出。即，很难在引导槽35、36、37中流动的压缩空气产生急剧的减速，能够使回旋流的回旋方式稳定。其结果是，能够抑制在回旋流产生部30中产生负压变动，能够使工件的姿势稳定。在此，由于压缩空气为压缩性流体，所以若产生压力损失则体积增加。因此，如果产生压力损失，则引导槽中的压缩空气的流速增大。而且，由于该流速的增大，压缩空气更容易产生压力损失。即，容易产生引导槽中的压缩空气的压力变化。针对于此，在本实施方式中，使压缩空气通过三个引导槽35、36、37流出，由此例如与使压缩空气通过具有相同流路截面积的一个引导槽流出的结构相比，能够抑制刚流入该引导槽之后的压缩空气的流速。由此，即使在引导槽35、36、37中形成压损区域，也能与该抑制的流速部分对应地降低在该引导槽35、36、37中流动的压缩空气的压力损失。并且， 由于抑制了在引导槽35、36、37中流动的压缩空气的流速，所以对于从该引导槽35、36、37 的开放部分流出而产生正压的压缩空气而言，也能抑制其流速。由此，即使在保持面32形成压损区域，也能与该抑制的流速部分对应地降低该压损区域中的压力损失。即，通过在保持面32形成引导槽35、36、37，能够降低在该引导槽35、36、37中流动的压缩空气的压力损失及从该引导槽35、36、37的开放部分流出而产生正压的压缩空气的压缩损失。换言之，能够使在引导槽35、36、37中流动的压缩空气即产生正压之前的压缩空气及从引导槽35、36、 37流出的压缩空气即产生正压的压缩空气均稳定。其结果是，很难产生局部性的正压的下降，能够使工件的姿势稳定。在此，例如即使是一个引导槽，也能通过加大该引导槽的流路截面积，抑制刚流入引导槽之后的压缩空气的流速。但是，为了将在回旋流产生部30产生的负压有效作用到工件，优选地将引导槽形成得浅。即，优选地，加大引导槽的流路截面积时扩大该引导槽的底面。但是，扩大了底面的引导槽，压缩空气的流动接近于在没有引导槽的保持面流动的压缩空气的流动。因此，在扩大了底面的引导槽中流动的压缩空气，容易产生由摩擦等引起的急剧的减速，容易造成上述的负压变动。针对于此，按照上述的结构，通过形成多个引导槽35、 36,37来抑制在引导槽中流动的压缩空气的流速，与为了加大流路截面积而扩大底面的引导槽相比，能够抑制由摩擦等引起的急剧的减速。此外，在引导槽的终端附近，伴随压缩空气像保持面32的外侧流出而产生急剧的压力下降。因此，例如在只设置一个引导槽的情况下，这种终端附近的急剧的压力下降在一个部位产生，所以存在工件卡在压力下降的部分而导致倾斜的可能性。针对于此，在本实施方式中，三个引导槽35、36、37，以回旋流产生部30的轴四为中心分别旋转移动120°的形态的相同的构造形成。即，三个引导槽35、36、37的终端在以回旋流产生部30的轴四为中心的圆周上等间隔地配置。按照这种结构，能够将各引导槽35、36、37的终端附近的压力下降，以轴四为中心均勻地作用到工件。其结果是，能够抑制由引导槽终端附近的压力下降引起的工件的倾斜，能够使工件的姿势更为稳定。如以上的说明，根据本实施方式的非接触保持柄10，能够得到如下效果。(1)在上述实施方式的保持面32设有引导槽35、36、37，这些引导槽35、36、37对从回旋流产生部30流出的压缩空气进行引导并向保持面32的外侧流出。根据这种结构，在引导槽35、36、37内流动的压缩空气，与周边压缩空气的摩擦等引起的流动紊流得到抑制， 圆滑地从保持面32的外侧流出。由此，很难产生从回旋流产生部30流出的压缩空气的急剧减速，能够使回旋流的回旋状态稳定。其结果是，能够抑制在回旋流产生部30产生的负压的变动，使工件的姿势稳定。(2)此外，通过在保持面32设置三个引导槽35、36、37，能够抑制在该引导槽35、 36,37中流动的压缩空气的流速。由此，即使在引导槽35、36、37中形成压损区域的情况下， 也能以该抑制的流速部分对应地降低引导槽35、36、37的压损区域中的压力损失。(3)并且，还能抑制从引导槽35、36、37的开放部分流出而产生正压的压缩空气的流速。由此，即使在引导槽35、36、37形成压损区域的情况下，也能以该抑制的流速部分对应地降低引导槽35、36、37的压损区域中的压力损失。(4)根据上述( (3)，能够使从回旋流产生部30流出的压缩空气的压力稳定。其结果是，很难产生局部性的正压下降，能够使工件的姿势稳定。(5)根据上述实施方式，将引导槽35、36、37的始端以等间隔的形式配置到回旋流产生部30的开口部，使压缩空气均勻地流入到该引导槽35、36、37。此外，将引导槽35、36、 37的终端在以回旋流产生部30的轴四为中心的圆周上等间隔地配置。按照这种结构，能够将各引导槽35、36、37终端附近的急剧压力下降，以轴四为中心均勻地是加大到工件。其结果是，能够抑制由引导槽出口附近的急剧的压力下降引起的工件的倾斜，能够使工件的姿势更为稳定。(6)根据上述实施方式，将构成引导槽35的外侧壁面3 用与回旋流产生部30的轴四平行的垂直面来构成。按照这种结果，能够在外侧壁面3 接受基于回旋流的压缩空气的离心力，该压缩空气很难越过外侧壁面3 。其结果是，能够将压缩空气沿着引导槽35 可靠地进行引导。(7)根据上述实施方式，将构成引导槽35的内侧壁面35a以流路截面在保持面32 侧展开的方式用相对回旋流产生部30的轴四倾斜的倾斜面来构成。按照这种结构，能够提高划分引导槽35的壁部的物理强度。(8)根据上述实施方式，一对流入路33在回旋流产生部30的截面圆的切线方向且在回旋流产生部30的内周面相面对的位置朝向相反的方向延伸形成。根据这种结构，流入回旋流产生部30的压缩空气具有沿着上述切线方向的流动，诱发沿着回旋流产生部30的内周面的流动。其结果是，能够使回旋流产生部30有效地产生回旋流。(9)此外，在回旋流产生部30，从多个部位并且从相面对的部位流入压缩空气。其结果是，能够使回旋流产生部30更有效地产生回旋流。(10)在上述实施方式的非接触保持柄10中，将多个保持部12由回旋方向不同的多个保持部12来构成。根据这种结果，能够抵消在引导槽35、36、37中流动的压缩空气赋予工件的旋转力。(11)根据上述实施方式的非接触保持柄10，在各保持部12的回旋流产生部30，流入气体供应路中存在的压缩空气。即，在各保持部12的回旋流产生部30，从共通的供气路流入压缩空气。其结果，在回旋流产生部30均等地流入压缩空气，能够使在该回旋流产生部30产生的负压相等。另外，上述实施方式还可如下变更。在上述实施方式中，使压缩空气通过压缩空气供应路28流入各保持部12的回旋流产生部30。即，通过共通的压缩空气供应路观向各回旋流产生部30供应压缩空气。但不限于此，也可以以各保持部12中的负压变为相等的方式，向各回旋流产生部30分别流入压缩空气。即使是这种结构，能够得到与上述(1) (10)类似的效果。在上述实施方式中，将多个保持部12由相同个数的回旋方向不同的保持部12来构成。但不限于此，只要不受引导槽35、36、37中流动的压缩空气赋予工件的旋转力，则例如也可以只由回旋方向相同的保持部12构成。即使是这种结构，也能得到与上述(1) (9)(11)类似的效果。在上述实施方式中，将回旋流产生部30由保持部12和上部壳体15来构成。但不限于此，回旋流产生部也可以由在保持部12的保持面32开口的凹部形成。此时，流入路 30由在保持部12和回旋流产生部30开口的通孔构成。即使是这种结构，也能得到与上述 ⑴ (11)类似的效果。在上述实施方式中，将作为筒体的保持部12由圆筒体构成，但筒体的形状并不限于圆筒体。在上述实施方式中，流入路33在回旋流产生部30的内周面等间隔地形成开口，并且沿着截面圆的切线方向延伸形成。但是，流入路33只要能够在回旋流产生部30产生回旋流，则回旋流产生部30的内周面的开口位置、延伸方向也不限于上述的形态。即使是这种结构，也能得到与上述(1) (7) (10) (11)类似的效果。在上述实施方式的引导槽35中，内侧壁面35a以流路截面在保持面32侧展开的
9方式由相对回旋流产生部30的轴四倾斜的面、即倾斜面构成，同时外侧壁面35b由与回旋流产生部30的轴四平行的面即垂直面构成。但是，引导槽35不限于这种结构。例如，如图4所示，内侧壁面3 和外侧壁面3 均由与回旋流产生部30的轴四平行的面即垂直面构成。只要是这种结构，则能够得到与上述(1) (11)类似的效果，此外能够简单的形成引导槽35，同时能够进一步提高划分相邻的引导槽的壁部的机械强度。此外，例如，如图5中的实线所示，外侧壁面3 还可以以覆盖底面35c的方式由相对回旋流产生部30的轴四倾斜的倾斜面、即悬伸面构成。此外，如图5的虚线所示，外侧壁面35b以覆盖底面35c的方式由向回旋流产生部30的轴四弯曲的壁面即悬伸壁面构成。只要是这种结构，能够得到与上述(1) (11)类似的效果，能够较长地维持在引导槽中流动的压缩空气的层流状态。在上述实施方式中，在保持面32中形成有三个引导槽35、36、37。形成于保持面 32的引导槽，只要为三个以上的奇数且该引导槽的终端以回旋流产生部四的中心的圆周上等间隔地配置即可，例如，也可以在保持面形成五个引导槽。即使是这种结构，也能得到与上述(1) (11)类似的效果。在上述实施方式中，由保持部12和上部壳体15形成回旋流产生部。但是不限于此，如图6所示，回旋流产生部也可以由下部壳体14以及上部壳体15、保持部12构成。而且，在图6中与上述实施方式相同的构成标记相同符号。如后所述，在下部壳体14的架部16中具有构成回旋流产生部的通孔41。该通孔 41为贯通凸部42的孔，该凸部42以具有与隔离部21相同高度的形态从凹部19的底面直立设置而成。在凸部42上且与上部壳体15抵接的端面4 中，凹设有一对流入路43，该一对流入路43在通孔41的截面圆的切线方向且从该通孔41的内周面朝向相反的方向延伸形成。即，压缩空气供应路38内的压缩空气，可以通过一对流入路43流入通孔41。另一方面，保持部在保持面32形成有引导槽35、36、37，并且形成具有与下部壳体14的通孔41中的截面圆相同的截面圆的通孔的圆筒形状。而且，还可以以下部壳体14的通孔41与保持部12的通孔的中心轴一致的方式粘接固定下部壳体14和保持部，并用这些通孔构成回旋流产生部。即使是这种结构，也能得到与上述(1) (11)类似的效果。在上述实施方式的非接触保持柄10中，作为气体使用了压缩空气，但气体还可以是例如非活性气体。
权利要求
1.一种非接触保持体，具备筒体，所述筒体在与工件相面对的保持面具有与筒内周面连接的开口，通过流入到所述筒体内部的气体的回旋流来在所述开口处形成负压，并且通过从设于所述保持面的所述开口流出的所述气体来在该保持面和所述工件之间形成正压，由此在所述工件与所述保持面不接触的状态下将所述工件保持于所述保持面，其特征在于， 在所述保持面设置2Π+1个引导槽，其中η为正整数，所述引导槽被形成为沿着所述回旋流的回旋方向的卷绕方向的涡旋状，并具有与所述开口连通的始端，对从该始端流入的气体沿着所述卷绕方向进行引导， 在以所述开口为中心的圆周上等间隔地配置所述引导槽的终端。
2.根据权利要求1所述的非接触保持体，其特征在于， 设于所述保持面的所述开口为圆形状，所述引导槽的始端被等间隔地配置在所述开口的周向上。
3.根据权利要求1或2所述的非接触保持体，其特征在于， 所述引导槽具备作为与所述开口相对近的壁面的内侧壁面； 作为与所述开口相对远的壁面的外侧壁面； 将所述内侧壁面和所述外侧壁面连接起来的底面， 所述外侧壁面为与所述保持面的法线平行的面。
4.根据权利要求1或2所述的非接触保持体，其特征在于， 所述引导槽具备作为与所述开口相对近的壁面的内侧壁面； 作为与所述开口相对远的壁面的外侧壁面； 将所述内侧壁面和所述外侧壁面连接起来的底面， 所述外侧壁面为相对所述保持面的法线而向所述开口侧倾斜的倾斜面。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的非接触保持体，其特征在于， 所述筒体为圆筒体，并具有流入路，所述流入路在所述筒内周面具有开口且沿所述筒内周面的切线方向延伸。
6.根据权利要求5所述的非接触保持体，其特征在于，所述流入路在所述筒内周面沿该筒内周面的周向等间隔地配置。
7.一种非接触保持柄，是具备架部和与所述架部连接的壁部的非接触保持柄，所述架部保持权利要求1至6中任一项所述的多个非接触保持体，其特征在于，所述多个非接触保持体，由所述保持面被配置在同一平面且相同个数的所述回旋流的回旋方向互不相同的非接触保持体构成。
全文摘要
本发明提供一种非接触保持体及非接触保持柄。非接触保持体具备筒体，该筒体在与工件相面对的保持面具有与筒内周面连接的开口，通过流入到上述筒体内部的气体回旋流来在上述开口形成负压，通过从设在上述保持面的上述开口流出的上述气体来在该保持面和上述工件之间形成正压，由此在上述工件与上述保持面不接触的状态下将上述工件保持于上述保持面，其中，在上述保持面在上述保持面设置2n+1个引导槽，其中n为正整数，上述引导槽被形成为沿着上述回旋流的回旋方向的卷绕方向的涡旋状，并具有与上述开口连通的始端，对从该始端流入的气体沿着上述卷绕方向进行引导，在以上述开口为中心的圆周上等间隔地配置上述引导槽的终端。
文档编号B65G49/06GK102152969SQ20101062332
公开日2011年8月17日 申请日期2010年12月27日 优先权日2009年12月28日
发明者原田贤一, 守屋智德 申请人:精工爱普生株式会社