物品保管设备以及物品运送设备的制作方法

本发明涉及一种物品保管设备以及具备该物品保管设备的物品运送设备，其中，物品保管设备设有保管半导体晶片以及标线片的保管架和入出库用运送装置。

背景技术：

上述这种物品保管设备在保管半导体晶片以及用于对半导体晶片进行曝光处理的标线片（reticule）中使用。即，保管的半导体晶片以及标线片在从保管架上出库后向曝光处理装置运送。

另外，曝光处理后的半导体晶片向进行下一处理的处理装置运送，但也存在为了暂时保管而入库到保管架上保管的情况及保管在其它的保管架上的情况。

而且，使用后的标线片一般再入库到保管架上保管。

在日本国特开2000-91401号公报（专利文献1）中公开了这种物品保管设备的一例。

根据专利文献1的结构，半导体晶片以收纳在晶片收纳容器中的状态保管在保管架的盒架上，标线片保持原状态或者以载置在标线片装载夹具上的状态保管在保管架的标线片架上。而且，在保管架上保管有形式与晶片收纳容器相同的空的收纳容器。

入出库用运送装置具备保持晶片收纳容器的盒用把手，保持标线片装载夹具的标线片用把手，以及开闭形式与晶片收纳容器相同的空的收纳容器的盖的开闭机构。

并且，在将晶片收纳容器出库之际，入出库用运送装置将晶片收纳容器从盒架向入出库口运送。

而且，在将标线片出库之际，入出库用运送装置预先将形式与晶片收纳容器相同的空的收纳容器从保管架上取出并打开盖。然后，入出库用运送装置将从标线片架上取出的标线片或者载置有标线片的标线片装载夹具收纳在打开了盖的空的收纳容器中，之后将该收纳容器关闭盖后向入出库口运送。

在专利文献1中，针对入库作业没有详细的说明，但认为是在将晶片收纳容器入库之际，入出库用运送装置将晶片收纳容器从入出库口向盒架运送的结构。

而且认为是如下的结构，即、在将标线片入库之际，入出库用运送装置从入出库口取出收纳了标线片或者载置有标线片的标线片装载夹具的收纳容器，卸下该取出的收纳容器的盖，从该卸下盖的容器中取出标线片或者载置有标线片的标线片装载夹具并向标线片架运送。并且，入出库用运送装置在取出了标线片或者载置有标线片的标线片装载夹具后的空的收纳容器上加盖，将该空的收纳容器收纳在保管架上。

而且，专利文献1中针对盒用把手支撑晶片收纳容器的结构、标线片用把手支撑标线片或者标线片装载夹具的结构没有具体地说明，但参照附图的记载，可认为盒用把手是载置支撑晶片收纳容器的结构，标线片用把手是载置支撑标线片或者标线片装载夹具的结构。

另外，在专利文献1中，例示了在晶片收纳容器的上部装备有顶部凸缘。

并且，虽然没有详细的说明，但记载了如下的物品运送设备，即、通过天花板行驶式无人运送车将收纳了标线片或者载置有标线片的标线片装载夹具的收纳容器向作为曝光处理装置的半导体曝光装置运送。

在专利文献1的物品保管设备中，难以迅速地进行标线片的出库作业及入库作业，而且入出库用运送设备为复杂的结构，希望得到改进。

即，在将标线片出库之际，需要将空的收纳容器从保管架上取出并打开盖的工序，将从标线片架上取出的标线片或者载置有标线片的标线片装载夹具收纳到已开盖的空的收纳容器中的工序，关闭该收纳容器的盖的工序，以及将盖关闭后的收纳容器向入出库口运送的工序，所以不能够迅速地进行标线片的出库作业。

而且，在将标线片入库之际，需要从入出库口取出收纳了标线片或者装置有标线片的标线片装载夹具的收纳容器并打开该收纳容器的盖的工序，从开盖后的收纳容器中取出标线片或者载置有标线片的标线片装载夹具并收纳在标线片架上的工序，关闭从取出了标线片或者载置有标线片的标线片装载夹具的收纳容器的盖的工序，以及将盖关闭后的收纳容器收纳在保管架上的工序，所以不能够迅速地进行标线片的入库作业。

而且，由于在入出库用运送装置上要具备保持晶片收纳容器的盒用把手，保持标线片装载夹具的标线片用把手，以及开闭形式与晶片收纳容器相同的空的收纳容器的盖的开闭机构，所以入出库用运送装置的结构复杂。

鉴于上述背景，希望实现既能够迅速地进行半导体晶片以及标线片的入出库作业、又能够谋求入出库用运送装置的结构简单化的物品保管设备。

另外，也希望实现能够谋求设备整体的简单化的物品运送设备。

技术实现要素：

本发明的物品保管设备具备保管半导体晶片和标线片的保管架，以及入出库用运送装置，

在上述保管架上装备有第1收纳部，保管收纳上述半导体晶片的晶片收纳容器，

在上述保管架上装备有第2收纳部，保管收纳上述标线片的标线片收纳容器，

上述入出库用运送装置具备把持部，把持形成在上述晶片收纳容器的上部的顶部凸缘，将上述晶片收纳容器支撑在悬吊状态，

在上述标线片收纳容器的上部形成有凸缘部，用于上述入出库用运送装置以上述把持部把持，将上述标线片收纳容器支撑在悬吊状态。

即，半导体晶片以收纳在晶片收纳容器中的状态保管在保管架的第1收纳部中，标线片以收纳在标线片收纳容器中的状态保管在保管架的第2收纳部中。

另外，一般来说，在晶片收纳容器中以在上下方向上排列的状态收纳有多片半导体晶片，在标线片收纳容器中收纳有一片标线片。

并且，入出库用运送装置一边以把持部把持形成在晶片收纳容器的上部的顶部凸缘、将晶片收纳容器支撑在悬吊状态，一边进行晶片收纳容器的入出库作业。而且，入出库用运送装置一边以把持部把持形成在标线片收纳容器的上部的凸缘部、将标线片收纳容器支撑在悬吊状态，一边进行标线片收纳容器的入出库作业。

即，入出库用运送装置一边将把持晶片收纳容器的顶部凸缘的把持部用作把持标线片收纳容器的凸缘部的把持部，一边进行晶片收纳容器或标线片收纳容器的运送。

因此，在进行半导体晶片的入库或出库之际，只要通过入出库用运送装置一边将晶片收纳容器支撑在悬吊状态一边运送晶片收纳容器即可，同样，在进行标线片的入库或出库之际，只要通过入出库用运送装置一边将标线片收纳容器支撑在悬吊状态一边运送标线片收纳容器即可。其结果，能够迅速地进行半导体晶片的入出库作业及标线片的入出库作业。

并且，在入出库用运送装置上，为了晶片收纳容器以及标线片收纳容器的运送而仅具备共用于晶片收纳容器的顶部凸缘以及标线片收纳容器的凸缘部的把持的把持部即可，所以能够谋求入出库用运送装置结构的简单化。

若加以说明，则由于标线片的直径小于半导体晶片，所以俯视时标线片收纳容器比晶片收纳容器形状更小。在本发明中，着眼于能够将形态与晶片收纳容器的顶部凸缘同样的凸缘部形成在标线片收纳容器上，使标线片收纳容器具备形态与晶片收纳容器的顶部凸缘同样的凸缘部。这样一来，由于在入出库用运送装置上仅具备共用于晶片收纳容器的顶部凸缘以及标线片收纳容器的凸缘部的把持的把持部即可，所以能够谋求入出库运送装置结构的简单化。

以下，对本发明的优选实施方式的例子进行说明。

在本发明的物品保管设备的实施方式中，优选地是，

分别设有上述晶片收纳容器用的第1入出库部，和上述标线片收纳容器用的第2入出库部，

上述入出库用运送装置构成为在上述第1入出库部与上述第1收纳部之间运送上述晶片收纳容器，在上述第2入出库部与上述第2收纳部之间运送上述标线片收纳容器。

根据上述结构，在将晶片收纳容器和标线片收纳容器保管在一个保管架上的结构中，由于晶片收纳容器与标线片收纳容器在相互不同的入出库部与相互不同的收纳部之间运送，所以能够避免误将晶片收纳容器作为标线片收纳容器进行入出库作业，或误将标线片收纳容器作为晶片收纳容器进行入出库作业。其结果，能够恰当地将晶片收纳容器以及标线片收纳容器入出库。

在本发明的物品保管设备的实施方式中，优选地是，

上述保管架以遍及建筑物的多层的状态设置，

上述第1入出库部以及上述第2入出库部设在上述多层中的至少不同的两层的每一层上。

根据上述结构，能够将多层中设置第1入出库部以及第2入出库部的多层的每一层用作对半导体晶片进行处理的作业空间，并且能够进行相对于半导体晶片的处理。

即，由于能够以多层中设置第1入出库部以及第2入出库部的多个层进行相对于半导体晶片的处理，所以能够以减小俯视时的空间的形态设置对半导体晶片进行处理的设备。

在本发明的物品保管设备的实施方式中，优选地是，

上述入出库用运送装置具备容器判别传感器，用于判别是上述把持部把持着上述晶片收纳容器，还是上述把持部把持着上述标线片收纳容器。

根据上述结构，即使在为了入库或出库而以入出库用运送装置运送晶片收纳容器或标线片收纳容器的运送中，因停电等对入出库用运送装置的动作进行管理的系统停止，在其后的系统恢复后，也能够恰当地将运送中的晶片收纳容器或标线片收纳容器向应运送的运送目的地运送。

即，由于对入出库用运送装置的动作进行管理的系统在恢复后，能够基于容器判别传感器的检测信息，判别运送中的收纳容器是晶片收纳容器还是标线片收纳容器，确定针对运送中的收纳容器的恰当的运送目的地，所以能够将运送中的晶片收纳容器或标线片收纳容器恰当地向应运送的运送目的地运送。

本发明的物品运送设备具备上述各结构的物品保管设备，其中，

还具备第1天花板运送车，在上述第1入出库部与曝光处理装置中的晶片用运入运出部之间运送上述晶片收纳容器，以及第2天花板运送车，在上述第2入出库与上述曝光处理装置中的标线片用运入运出部之间运送上述标线片收纳容器，

上述第1天花板运送车的行驶路径以及上述第2天花板运送车的行驶路径设成至少一部分为上述第1天花板运送车以及上述第2天花板运送车分别行驶的共用行驶路径部分，

上述第1天花板运送车以及上述第2天花板运送车分别在沿着上述行驶路径设置在天花板一侧的行驶轨道上行驶。

即，晶片收纳容器被第1天花板运送车在第1入出库部与曝光处理装置中的晶片用运入运出部之间运送，标线片收纳容器被第2天花板运送车在第2入出库部与曝光处理装置中的标线片用运入运出部之间运送。

另外，第1天花板运送车例如是把持晶片收纳容器的顶部凸缘，并将晶片收纳容器支撑在悬吊状态进行运送的吊车式的天花板运送车，第2天花板运送车例如是把持标线片收纳容器的凸缘部，并将标线片收纳容器支撑在悬吊状态进行运送的吊车式的天花板运送车。

并且，用于使第1天花板运送车以及第2天花板运送车分别行驶的行驶路径设定成至少一部分作为第1天花板运送车以及第2天花板运送车分别行驶的共用行驶路径部分，第1天花板运送车以及第2天花板运送车分别在沿着行驶路径设置在天花板一侧的行驶轨道上行驶。

因此，沿着第1天花板运送车以及第2天花板运送车的行驶路径设置在天花板一侧的行驶轨道不仅能够用作第1天花板运送车的行驶轨道，也能够用作第2天花板运送车的行驶轨道，其结果，能够谋求为了使第1天花板运送车以及第2天花板运送车行驶的而设置的行驶轨道的整体设置长度的减小，而且能够谋求设备整体的简单化。

即，虽然可考虑以相互分离的状态设定相对于第1天花板运送车的专用的行驶路径与相对于第2天花板运送车的专用的行驶路径，针对这些行驶路径分别设置第1天花板运送车行驶的行驶轨道或第2天花板运送车行驶的行驶轨道，但在这种情况下，存在沿着两行驶路径设置的行驶轨道的整体设置长度增加的不良情况。

相对于此，在本发明的物品运送设备中，由于沿着第1天花板运送车以及第2天花板运送车的行驶路径设置在天花板一侧的行驶轨道不仅能够用作第1天花板运送车的行驶轨道，也能够用作第2天花板运送车的行驶轨道，所以为了使第1天花板运送车以及第2天花板运送车行驶而设置的行驶轨道的整体设置长度减小，能够谋求设备整体的简单化。

附图说明

图1是物品保管设备的局部剖开主视图；

图2是相同设备的上方部的局部剖开主视图；

图3是相同部分的横剖俯视图；

图4是相同设备的下方部的横剖俯视图；

图5是第1收纳部的立体图；

图6是将晶片收纳容器保管在相同收纳部上的状态下的侧视图；

图7是第2收纳部的俯视图；

图8是相同收纳部的侧视图；

图9是升降运送机构的侧视图；

图10是相同机构把持晶片收纳容器的状态下的侧视图；

图11是相同机构把持标线片收纳容器的状态下的侧视图；

图12是相同机构的俯视图；

图13是把持部把持标线片收纳容器的状态下的立体图；

图14是表示物品运送设备的运送路径的俯视图；

图15是第1天花板运送车的侧视图；

图16是相同车的局部剖开主视图；

图17是第2天花板运送车的局部剖开侧视图；

图18是相同车的局部剖开主视图；

图19是表示标线片收纳容器的运送路径的俯视图。

附图标记说明：

1：保管架，2：入出库用运送装置，R：标线片收纳容器，10；顶部凸缘，13C：凸缘部，16：把持部，30：容器判别传感器，41：行驶轨道，B1：第1天花板运送车，B2：第2天花板运送车，F1：第1入出库部，F2：第2入出库部，L：行驶路径，La：共用行驶路径部分，PR：曝光处理装置，Rt：标线片，S1：第1收纳部，S2第2收纳部，W：晶片收纳容器，Wh：半导体晶片。

具体实施方式

以下，基于附图对本发明的实施方式进行说明。

（物品保管设备的整体结构）

如图1所示，保管半导体晶片Wh（参照图16）以及标线片Rt（参照图18）的保管架1以遍及建筑物的一层到三层的状态设置，并且，作为入出库用运送装置的升降式运送装置2（参照图9）以遍及一层到三层的状态设置。即，在本实施方式中，保管架1以遍及建筑物的多层的状态设置。在此，作为其一例，保管架1以遍及建筑物的三层的状态设置。

即，保管架1具备设置在建筑物的一层的下部结构体1D，设置在建筑物的三层的上部结构体1U，以及设置在下部结构体1D与上部结构体1U之间的中间结构体1M，将半导体晶片Wh以及标线片Rt保管在下部结构体1D与上部结构体1U上。

而且，升降式运送装置2中的升降台2A（参照图9）构成为穿过保管架1上的下部结构体1D、中间结构体1M、以及上部结构体1U的内部空间升降。

在本实施方式中，如上述说明所明确的那样，中间结构体1M不保管半导体晶片Wh以及标线片Rt，而形成升降式运送装置2中的升降台2A的升降通路。也能够以将半导体晶片Wh或标线片Rt保管在该中间结构体1M上的方式实施。

而且，在本实施方式中，上部结构体1U以及与中间结构体1M的位于二层的地面上方的部分被壁状体K1覆盖外周部，下部结构体1D以及中间结构体1M的位于二层的地面下方的部分被板状体K2（参照图4）覆盖外周部。

虽然未详述，但在各处装备有用于将上部结构体1U、中间结构体1M、以及下部结构体1D的内部空间维持在清洁的状态的通风装置。而且，建筑物的一层以及三层是作为洁净室构成的。

下部结构体1D以及上部结构体1U如图2～图4所示，构成为将长条状的框形成部件组成框架结构，外形为纵长的长方体状。

在上部结构体1U上，如图2所示，以在上下方向上排列的状态装备有保管收纳半导体晶片Wh的晶片收纳容器W的两个第1收纳部S1，以及保管收纳标线片Rt的标线片收纳容器R的一个第2收纳容器S2。设在上部结构体1U上的第1收纳部S1的个数及第2收纳部S2的个数能够适当变更。

在下部结构体1D上，如图4所示，以沿着圆周方向排列的状态设置有两个第1收纳部S1以及两个第2收纳部S2。

另外，在下部结构体1D上，虽然未图示，但在与图4所示的两个第1收纳部S1不同的部位另外设有两个第2收纳部S2。设在下部结构体1D上的第1收纳部S1的个数及第2收纳部S2的个数能够适当变更。

在上部结构体1U上，如图1～图3所示，作为晶片收纳容器W用的第1入出库部F1，装备有以在前后方向上排列的状态配设在上部一侧的左侧部位的一对上部晶片输送机3，和配设在下部一侧的左侧部位的下部晶片输送机4。

下部晶片输送机4是为了作业者通过手动作业移载晶片收纳容器W而设置的。

前后一对的上部晶片输送机3如后所述，是为了吊车式的第1天花板运送车B1移载晶片收纳容器W而设置的。

而且，在上部结构体1U上，如图1～图3所示，作为标线片收纳容器R用的第2入出库部F2，装备有以前后排列的状态配设在上部一侧的右侧部位的一对上部标线片输送机5，和与上述的下部晶片输送机4在前后方向上排列的状态配设在下部一侧的左侧部位的下部标线片输送机6。

下部标线片输送机6是为了作业者通过手动作业移载标线片收纳容器R而设置的。

前后一对的上部标线片输送机5如后所述，是为了吊车式的第2天花板运送车B2移载标线片收纳容器R而设置的。

在下部结构体1D上，如图1所示，作为第1入出库部F1，装备有配设在上部一侧部位的左右一对的上部晶片输送机7，和配设在下部一侧部位的下部晶片输送机8。

下部晶片输送机8是为了作业者通过手动作业移载晶片收纳容器W而设置的。

左右一对的上部晶片输送机7是为了吊车式的第1天花板运送车B1移载晶片收纳容器W而设置的。

而且，在下部结构体1D上，作为第2入出库部F2，装备有配设在下部一侧部位的下部标线片输送机9。

下部标线片输送机9是为了作业者通过手动作业移载标线片收纳容器R而设置的。

如上所述，在本实施方式中，第1入出库部F1以及第2入出库部F2设在上部结构体1U以及下部结构体1D的每一结构体上。上部结构体1U上的第1入出库部F1及第2入出库部F2的配设位置及配设个数能够适当变更，下部结构体1D上的第1入出库部F1及第2入出库部F2的配设位置及配设个数能够适当变更。

在本实施方式中，装备在升降式运送装置2的升降台2A上的容器移载装置2B（参照图9）如后所述，构成为通过绕沿着上下方向的转向轴心Z转向而选择移载对象部位。

因此，如图4所示，第1收纳部S1构成为以晶片收纳容器W的前后方向朝向转向轴心Z的姿势支撑晶片收纳容器W，同样，第2收纳部S2构成为以标线片收纳容器R的前后方向朝向转向轴心Z的姿势支撑标线片收纳容器R。

如图3所示，装备在上部结构体1U上的容器运送用的输送机、即上部晶片输送机3，下部晶片输送机4，上部标线片输送机5，以及下部标线片输送机6在本实施方式中分别利用辊式输送机构成。在这些输送机的架内侧端部装备有姿势变更装置（未图示），将晶片收纳容器W及标线片收纳容器R的姿势（朝向）变更操作成晶片收纳容器W及标线片收纳容器R的前后方向朝向转向轴心Z。

同样，装备在下部结构体1D上的容器运送用的输送机、即上部晶片输送机7，下部晶片输送机8，以及下部标线片输送机9在本实施方式中分别利用辊式输送机构成。在这些输送机的架内侧端部装备有姿势变更装置（未图示），将晶片收纳容器W及标线片收纳容器R的姿势变更操作成晶片收纳容器W及标线片收纳容器R的前后方向朝向转向轴心Z。

姿势变更装置虽未详述，但装备成使容器支撑台升降自如、转向自如、以及在运送方向上移动自如，变更容器的姿势。

姿势变更装置在将容器出库时将从容器移载装置2B供给的容器的姿势返回由容器运送用的输送机运送的姿势，并向容器运送输送机供给。

（晶片收纳容器的结构）

收纳半导体晶片Wh的晶片收纳容器是合成树脂制的气密容器，以美国半导体设备与材料学会（SEMI：Semiconductor Equipment and Materials International）为基准制成，一般被称为前开式标准容器（FOUP：Front Opening Unified Pod）。

该晶片收纳容器W省略了详细的说明，但如图16所示，构成为将多片半导体晶片Wh以在上下方向上排列的状态收纳，上部形成有由上述的吊车式第1天花板运送车B1把持的顶部凸缘10。并且，在晶片收纳容器W上，在前表面形成有被装卸自如的盖体开闭的基板出入用的开口，进而，在底部形成有定位销11（参照图5）所卡合的三个卡合槽（未图示）。

（标线片收纳容器的结构）

收纳标线片Rt的标线片收纳容器R如图17以及图18所示，是由底部开口的朝下开口状的主体部分13A和装卸自如地安装在该主体部分13A的下部开口的盖体13B构成的合成树脂制的气密容器，将标线片R1载置支撑在盖体13B的上表面。

在该标线片收纳容器R的上部，形成有由上述的吊车式第2天花板运送车B2把持的凸缘部13C。

该标线片收纳容器R的凸缘部13C形成为形状和大小与晶片收纳容器W的顶部凸缘10相同。

（第1收纳部的结构）

第1收纳部S1如图5以及图6所示，在俯视形状为U字型的主体部14的上面部具备上述的三个定位销11。主体部14以悬臂状态安装在支柱框T上。

并且，第1收纳部S1构成为以使三个定位销11（参照图5）卡合在晶片收纳容器W的卡合槽（未图示）中的定位状态载置支撑晶片收纳容器W。

（第2收纳部的结构）

第2收纳部S2如图7以及图8所示，在俯视形状为矩形的主体部15的左右两侧缘部具备向上方突出的直立姿势的承接体15A。主体部15以悬臂状态安装在支柱框T上。

在主体部15上，以向下方凹入的状态形成有载置支撑标线片收纳容器R的载置部分15a。

并且，第2收纳部S2构成为以载置部分15a载置支撑标线片收纳容器R，并且以从载置部分15a的前后端部连续的倾斜部分15b以及左右的承接体15A对标线片收纳容器R进行定位。

（升降式运送装置）

升降式运送装置2如图9～图12所示，如上所述，在升降台2A上装备有容器移载装置2B。容器移载装置2B具备把持部16，该把持部16把持晶片收纳容器W的顶部凸缘10，将晶片收纳容器W支撑在悬吊状态，并且把持标线片收纳容器R的凸缘部13C，将标线片收纳容器R支撑在悬吊状态。

并且，升降式运送装置2构成为在将晶片收纳容器W支撑在悬吊的状态下在第1入出库部F1和第1收纳部S1之间运送晶片收纳容器W，并且在将标线片收纳容器R支撑在悬吊的状态下在第2入出库部F2和第2收纳部S2之间运送标线片收纳容器R。以下对各部加以说明。

即，用于引导升降台2A以及配重17升降自如的导轨18以遍及下部结构体1D、中间结构体1M、以及上部结构体1U的状态设在保管架1内部的背部侧部位（参照图3以及图4）。

升降台2A配置在导轨18的前方侧部位。升降台2A在背部侧部位具备绕沿着保管架1的横宽方向的轴心旋转的限制前后位置用的多个第1轮体19，以及绕沿着保管架1的前后宽度方向的轴心旋转的限制横向位置用的多个第2轮体20。

并且，升降台2A构成为通过多个第1轮体19以及多个第2轮体20被导轨18引导而沿着导轨18升降。

配重17配置在导轨18的内侧。配重17具备多个第1辊21以及多个第2辊22，多个第1辊21绕随着朝向保管架1的横宽方向上的内侧而朝向保管架1的前后宽度方向的后方一侧的倾斜轴心旋转，多个第2辊22绕随着朝向保管架1的横宽方向的内侧而朝向保管架1的前后横宽方向的前方一侧的倾斜轴心旋转。

并且，配重17构成为通过多个第1辊21以及多个第2辊22被导轨18引导而沿着导轨18升降。

如图9所示，在上部结构体1U的上部侧部位装备有被驱动而正反向（正方向以及反方向）旋转的链轮状的驱动旋转体23，在下部结构体1D的下部侧部位装备有前后一对的空转旋转体24。

并且，卷绕在驱动旋转体23上、成为两端向下方延伸的姿势的第1升降用皮带25的一端部与升降台2A的上端部相连，第1升降用皮带25的另一端部与配重17的上端部相连。

而且，卷绕在一对空转旋转体24上、成为两端向上方延伸的姿势的第2升降用皮带26的一端部与升降台24A的下端部相连，第2升降用皮带26的另一端部与配重17的下端部相连。

因此，通过驱动旋转体23被驱动而正反向旋转，升降台2A沿着导轨18升降。

（容器移载装置的结构）

容器移载装置2B如图9以及图12所示，具备绕上述的转向轴心Z转向操作自如地装备在升降台2A上的转向台27，由转向台27支撑而屈伸动作的屈伸联杆28，以及相对于屈伸联杆28以直立姿势支撑的纵框体29，将上述把持部16装备在纵框体29的上端部。

把持部16如图13所示，具备绕方向为沿着屈伸联杆28的屈伸方向的旋转轴心Y正反向旋转的一对把持爪部16A，通过一对把持爪部16A的开闭切换成把持状态或把持解除状态。

因此，容器移载装置2B一边通过绕转向轴心Z的转向来选择移载对象，一边通过屈伸联杆28的伸缩动作、把持部16的开闭动作、以及升降台2A的升降动作将移载对象的容器、即晶片收纳容器W以及标线片收纳容器R支撑在悬吊状态进行移载。

针对容器移载装置2B的移载动作，对将晶片收纳容器W从第1收纳部S1向第1入出库部F1出库的情况加以说明。

首先，通过绕转向轴心Z的转向，使把持部16为与移载对象的第1收纳部S1对向的状态。然后，通过屈伸联杆28的伸长动作，使把持部16位于晶片收纳容器W的上方。

之后，通过升降台2A的下降，使张开状态的把持部16下降，并下降到适合把持晶片收纳容器W的顶部凸缘10的姿势，接着，将把持部16切换成闭合状态，以把持部16把持晶片收纳容器W的顶部凸缘10（参照图6）。

然后，通过升降台2A的上升，将晶片收纳容器W支撑在悬吊状态，接着，通过屈伸联杆28的缩短动作，使晶片收纳容器W后退到升降台2A的上方部位。

之后，通过升降台2A的升降，使晶片收纳容器W升降到与移载对象的第1入出库部F1相对应的高度，并且通过转向轴心Z的转向，使把持部16为与移载对象的第1入出库部F1对向的状态。

然后，在通过屈伸联杆28的伸长动作使把持部16位于第1入出库部F1的上方后，通过升降台2A的下降，将晶片收纳容器W向第1入出库部F1供给。

在将晶片收纳容器W供给到第1入出库部F1后，将把持部16切换成张开状态，之后通过升降台2A的上升使把持部16上升，接着，通过屈伸联杆28的缩短动作，使把持部16后退。

由于通过上述移载动作的说明，即将晶片收纳容器W从第1收纳部S1向第1入出库部F1出库的情况下的移载动作的说明，能够理解将晶片收纳容器W从第1入出库部F1向第1收纳部S1入库的情况，将标线片收纳容器R从第2收纳部S2向第2入出库部F2出库的情况，以及将标线片收纳容器R从第2入出库部F2向第2收纳部S2入库的情况下的移载动作，所以省略了这些情况下的移载动作的说明。

另外，在本实施方式中，无论在把持晶片收纳容器W的情况以及把持标线片收纳容器R的情况中的任一种情况下，均通过升降台2A的升降将把持部16的高度设定成使以张开状态位于容器的上方的把持部16下降到适合把持的位置的下降量相同。

（容器判别传感器）

如图10以及图11所示，在升降式运送装置2中装备有容器判别传感器30，用于判别是由把持部16把持着晶片收纳容器W，还是由把持部16把持着标线片收纳容器R。

即，在本实施方式中，容器判别传感器30使用激光测距传感器等距离传感器构成，并安装在纵框体29上。

并且，容器判别传感器30检测至由把持部16把持的容器的距离。

即，在把持部16把持着晶片收纳容器W的情况下，容器判别传感器30检测与晶片收纳容器W相对应的第1距离U1，在把持部16把持着标线片收纳容器R的情况下，容器判别传感器30检测与标线片收纳容器R相对应的第2距离U2。

标线片收纳容器R由于其外形比晶片收纳容器W小，所以第2距离U2为比第1距离U1大的值，根据容器判别传感器30的检测距离，能够判别是把持部16把持着晶片收纳容器W，还是把持部16把持着标线片收纳容器R。

另外，虽然未图示，但容器判别传感器30的检测信息向设备管理用控制部输出，设备管理用控制部基于容器判别传感器30的检测信息，判别是把持部16把持着晶片收纳容器W，还是把持部16把持着标线片收纳容器R。

另外，容器判别传感器30构成为在把持部16未把持着晶片收纳容器W或标线片收纳容器R的情况下，输出大于第2距离U2的距离信息，上述设备管理用控制部基于容器判别传感器30的检测信息也能够判别出处于把持部16未把持着容器的状态。

即，设备管理用控制部构成为在产生了停电等时再次开始之后的运行之际，基于容器判别传感器30的检测信息，判别是把持部16把持着晶片收纳容器W，还是把持部16把持着标线片收纳容器R，或者把持部处于未把持状态，确定升降式运送装置2的适当的动作状态。

（物品运送设备的整体结构）

在建筑物的三层装备有处理设备，一边使用第1天花板运送车B1以及第2天花板运送车B2运送晶片收纳容器W以及标线片收纳容器R，一边进行相对于半导体晶片Wh的处理，在建筑物的一层装备有处理设备，一边使用第1天花板运送车B1运送晶片收纳容器W，一边进行相对于半导体晶片Wh的处理。

以下，对装备在建筑物的三层的物品运送设备进行说明。

即，如图14所示，针对第1天花板运送车B1以及第2天花板运送车B2的行驶路径L是以将一部分作为第1天花板运送车B1以及第2天花板运送车B2分别行驶的共用行驶路径部分La（参照图19）的形态设定的。

并且，如图15以及图16所示，行驶轨道41沿着行驶路径L设在三层的天花板一侧，第1天花板运送车B1以及第2天花板运送车B2沿着行驶轨道41行驶。

另外，第1天花板运送车B1如上所述是运送晶片收纳容器W的运送车，第2天花板运送车B2如上所述是运送标线片收纳容器R的运送车。

并且，在以下的记载中，在无需区别第1天花板运送车B1和第2天花板运送车B2时，则简单地记载为容器运送车42。

如图14所示，行驶路径L以形成经由晶片处理装置P的多个环状的副行驶路径43，以及两个环状的主行驶路径44的状态设置。

两个环状的主行驶路径44以在路径横宽方向上排列、并且成为双重的环状的状态设置，容器运送车42设成在这些主行驶路径44上朝向相同的方向行驶。另外，在图14中，以箭头表示了容器运送车42的行驶方向。

即，两个环状的主行驶路径44分别形成为俯视呈使长方形的四个角部为圆弧状的长四边形。

在以下的说明中，是将成为双重的环状的一对主行驶路径44中内侧的主行驶路径44作为第一主行驶路径44A，将外侧的主行驶路径44作为第二主行驶路径44B继续说明，但在无需区别两者时，则简单地记载为主行驶路径44。

在成为双重的环状的一对主行驶路径44之间设有容器运送车42从第一主行驶路径44A向第二主行驶路径44B分支行驶的第1分支路径45A，以及容器运送车42从第二主行驶路径44B向第一主行驶路径44A分支行驶的第2分支路径45B。

第1分支行驶路径45A以及第2分支行驶路径45B设成以俯视相对于主行驶路径44倾斜的倾斜姿势连接第一主行驶路径44A和第二主行驶路径44B。

而且，在第一主行驶路径44A上左右一对的长边相当部分之间，沿着第一主行驶路径44A的长度方向设有多个使容器运送车42从这些长边相当部分的一方朝向另一方短路行驶的短路路径46。

多个环状的副行驶路径43形成为由圆弧状部分将平行的一对直线相当部分的两端彼此连接的长圆状，以使其长度方向与主行驶路径44的长度方向正交的姿势（朝向）、沿着主行驶路径44的长度方向隔开间隔地排列的状态，设在俯视为两个环状的主行驶路径44的两旁侧。

并且，设有使容器运送车42从一对主行驶路径44中的第二主行驶路径44B朝向副行驶路径43分支行驶的分支连接路径47A，以及使容器运送车42从副行驶路径43朝向第二主行驶路径44B合流行驶的合流连接路径47B。

在本实施方式中，如图14所示，在相当于第一主行驶路径44A内侧的部位，以在第一主行驶路径44A的长度方向上排列的状态设有保管晶片收纳容器W以及标线片收纳容器R的上述保管架1，以及暂时保管晶片收纳容器W的多个晶片专用保管架1A。

而且，作为多个晶片处理装置P，存在相对于半导体基板进行不同的处理的多种，其中有曝光处理装置PR。

另外，在图14中，例示了保管架1装备一座，并且曝光处理装置PR装备一台的情况，但保管架1及曝光处理装置PR的设置数量可有各种变更。

在保管晶片收纳容器W以及标线片收纳容器R的保管架1上，如上所述，装备有相对于晶片收纳容器W的第1入出库部F1，以及相对于标线片收纳容器R的第2入出库部F2。

在保管晶片收纳容器W的多个晶片专用保管架1A上，装备有相对于晶片收纳容器W的第1入出库部F1。

在曝光处理装置PR中，装备有相对于晶片收纳容器W的晶片用运入运出部G1，以及相对于标线片收纳容器R的标线片用运入运出部G2，在其它的晶片处理装置P中，装备有相对于晶片收纳容器W的晶片用运入运出部G1。

因此，作为容器运送车42的第1天花板运送车B1进行如下的作业：将从保管架1或晶片专用保管架1A的第1入出库部F1接收到的晶片收纳容器W向晶片处理装置P或曝光处理装置PR的晶片用运入运出部G1运送的作业，将从晶片处理装置P或曝光处理装置PR的晶片用运入运出部G1接收到的晶片收纳容器W向进行其它的处理的晶片处理装置P的晶片用运入运出部G1运送的作业，以及将从晶片处理装置P或曝光处理装置PR的晶片用运入运出部G1接收到的晶片收纳容器W向保管架1或晶片专用保管架1A的第1入出库部F1运送的作业。

而且，作为容器运送车42的第2天花板运送车B2进行如下的作业：将从保管架1的第2入出库部F2接收到的标线片收纳容器R向曝光处理装置PR的标线片用运入运出部G2运送的作业，以及将从曝光处理装置PR的标线片用运入运出部G2接收到的标线片收纳容器R向保管架1的第2入出库部F2运送的作业。

第2天花板运送车B2为了运送标线片收纳容器R而主要行驶的主运送路径例如图19所示，若以保管架1的第2入出库部F2为起点，则是经过第一主行驶路径44A、短路路径46、第1分支路径45A、第二主行驶路径44B、分支连接路径47A、以及副行驶路径43至曝光处理装置PR的标线片用运入运出部G2的路径。

而且，主运送路径例如图19所示，若以标线片用运入运出部G2为起点，则是经过副行驶路径43、合流连接路径47B、第二主行驶路径44B、第2分支路径45B、短路路径46、以及第一主行驶路径44A至保管架1的第2入出库部F2的路径。

并且，上述第2天花板运送车B2的主运送路径由于是第1天花板运送车B1为了运送晶片收纳容器W而行驶的路径部分，所以相当于行驶路径L中第1天花板运送车B1以及第2天花板运送车B2分别行驶的共用行驶路径部分La。

另外，在本实施方式中，例示了第2天花板运送车B2通过仅在共用行驶路径部分La上行驶来运送标线片收纳容器R的情况，但也能够以包含行驶路径L中仅第2天花板运送车B2行驶的路径的方式实施。

例如，在图14以及图19中，例示了经由曝光处理装置PR的标线片用运入运出部G2的副行驶路径43经由晶片处理装置P的晶片用运入运出部G1的情况，但若省略该晶片处理装置P，则经由曝光处理装置PR的标线片用运入运出部G2的副行驶路径43仅有第2天花板运送车B2行驶，脱离共用行驶路径部分La。

以下，对各部的结构加以说明。

（行驶轨道的结构）

沿着行驶路径L设置的行驶轨道41配设成沿着主行驶路径44及副行驶路径43延伸，如图16所示，以被行驶轨道用支撑体48悬吊在天花板部的状态设置，而且，以在轨道横宽方向上隔开间隔的状态具备左右一对的轨道部41a。

（第1天花板运送车的结构）

容器运送车42中的第1天花板运送车B1如图15以及图16所示，由位于行驶轨道41的下方的车体主体部49A和沿着行驶轨道41行驶的行驶部50构成，在车体主体部49A上具备将物品B把持在悬吊状态的把持部51。

行驶部50由前后排列的前方行驶部50F和后方行驶部50R构成，分别从前方行驶部50F以及后方行驶部50R的下方伸出并沿着上下方向的连结轴52以穿过左右一对的轨道部41a之间向下方延伸的状态设置。

并且，车体主体部49A通过连结轴52以绕连结轴52的轴心相对旋转自如的状态悬吊支撑在前方行驶部50F以及后方行驶部50R上。

在前方行驶部50F以及后方行驶部50R的每一行驶部上，分别以在由左右一对的轨道部41a各自的上表面形成的行驶面上行驶的状态装备有由电动式的驱动马达53驱动旋转的左右的行驶轮54，而且，以与由左右一对的轨道部41a的内侧的侧面形成的引导面抵接的状态装备有绕上下轴心自由旋转的左右的引导轮55。

因此，第1天花板运送车B1构成为一边通过前方行驶部50F以及后方行驶部50R的引导轮55被一对轨道部41a引导而限制车体横宽方向上的位置，一边通过前方行驶部50F以及后方行驶部50R的行驶轮54被驱动旋转而沿着行驶轨道41行驶。

而且，第1天花板运送车B1通过前方行驶部50F以及后方行驶部50R相对于车体主体部49A绕连结轴52的轴心屈伸而能够良好地在主行驶路径44的圆弧状部分及副行驶路径43的圆弧状部分等圆弧状路径部分上行驶。

车体主体部49A如图15所示，形成为从上壁部上的车体前后方向的前端侧部分和后端侧部分向下方一侧延伸的车体横宽方向观察为倒U字型，下方一侧及左右两侧敞开，在向下方一侧延伸的前端侧部分与后端侧部分之间配设有把持部51。

并且，在车体主体部49A上具备用于使把持部51升降的电动式的升降用马达56，和用于使把持部51绕上下轴心转向的电动式的转向用马达57。

即，升降用马达56构成为通过驱动卷绕有作为索状体的皮带58的旋转卷筒59正反向旋转，卷取或者送出皮带58，使把持部51在上升位置和下降位置之间升降。

另外，上升位置如图15以及图16所示，是将把持部51收纳在车体主体部49A的内侧上部部位的位置，下降位置省略了图示，是使把持部51下降到晶片处理装置P以及曝光处理装置PR的晶片用运入运出部G1、保管架1以及晶片专用保管架1A的第1入出库部F1的附近的位置。

把持部51通过从车体主体部49A的上壁部向下方延伸的转向轴60（参照图15）而绕上下轴心旋转自如地相对于车体主体部49A连结。并且，转向用马达57构成为通过经由旋转驱动力传递部61驱动转向轴60绕上下轴心旋转而使把持部51绕上下轴心转向。

把持部51如图16所示，具备用于把持晶片收纳容器W的顶部凸缘10的一对把持件62，该把持件62处于绕沿着车体主体部49A的前后方向的轴心摆动而开闭自如的状态。并且，构成为通过电动式的把持用马达63切换成使一对把持件62为闭合姿势，从而把持顶部凸缘10的把持状态，或者使一对把持件62为张开姿势，从而解除把持的把持解除姿势。在图16中，表示了将一对把持件62切换成把持状态的状态。

（第2天花板运送车的结构）

容器运送车42中的第2天花板运送车B2如图17以及图18所示，具备结构与上述第1天花板运送车B1的行驶部50相同的行驶部50，并且，具备结构与第1天花板运送车B1的车体主体部49A不同的车体主体部49B，但由于基本上是与第1天花板运送车B1类似的结构，所以对于与第1天花板运送车B1所具备的部件相同的部件赋予相同的附图标记，省略详细的说明。

即，车体主体部49B通过连结轴52悬吊支撑在行驶部50的前方行驶部50F以及后方行驶部50R上。

在车体主体部49B的内部装备有结构与第1天花板运送车B1所装备的把持部51相同的把持部51。

该把持部51构成为通过电动式的把持用马达63将用于把持标线片收纳容器R的凸缘部13C的一对把持件62切换成把持凸缘部13C的把持状态，或者解除把持的把持解除姿势。在图18中，表示了将一对把持件62切换成了把持状态的状态。

而且，把持件62在通过升降用马达56升降、通过转向用马达57转向这一点上与第1天花板运送车B1相同。

第2天花板运送车B2的车体主体部49B与第1天花板运送车B1的车体主体部49A同样，形成为从上壁部上的车体前后方向的前端侧部分和后端侧部分向下方一侧延伸的车体横宽方向观察为倒U字型，下方一侧及左右两侧敞开，但在该第2天花板运送车B2上，装备有关闭车体主体部49B的左右两侧的开口的一对板状体74，以及关闭车体主体部49B的下方一侧的开口的一对板状盖体75。

一对板状体74如图18所示，以关闭车体主体部49B的左右两侧的开口的状态固定安装在车体主体部49B上。

一对板状盖体75构成为通过上下方向的摆动而在关闭车体主体部49B的下方一侧的开口的关闭位置和打开车体主体部49B的下方一侧的开口的打开位置之间切换自如，并且被开闭驱动装置（未图示）操作而开闭。

因此，当使把持部51升降时，通过将一对板状盖体75操作到打开位置，打开车体主体部49B下方一侧的开口，在把持部51位于车体主体部49B的内部时，将一对板状盖体75操作到关闭位置，抑制尘埃等从外部穿过车体主体部49B下方一侧的开口而进入。

而且，在车体主体部49B的前壁部及后壁部装备有将清洁的空气向车体主体部49B的内部送入的净化空气送风装置76，并且在上述的一对板状体74上装备有自如地调整排出量的排气装置77。

因此，通过一边由净化空气送风装置76将清洁的空气向车体主体部49B的内部送入，一边由排气装置77将车体主体部49B内部的空气向外部排出，能够使车体主体部49B的内部成为被清洁的空气充满的状态，将标线片收纳容器R及其内部的标线片Rt维持在清洁的状态。

另外，在第1天花板运送车B1以及第2天花板运送车B2上、即多个容器运送车42上具备台车侧控制部（未图示），控制前方行驶部50F和后方行驶部50R的行驶动作、把持部51的升降动作、以及一对把持件62的开闭动作等，对第1天花板运送车B1以及第2天花板运送车B2的运行进行控制。

并且，台车侧控制部构成为若通过无线通信等从对多个容器运送车42的运行进行管理的设备管理用控制部接收指定运送起始地以及运送目的地的指令，则进行将晶片收纳容器W或标线片收纳容器R从该运送指令所指定的运送起始地向运送目的地运送的运送处理。

即，在容器运送车42上，具备用于检测与运送起始地及运送目的地相对应的目标停止位置的传感器，及用于检测容器运送车42自基准点的行驶距离的距离传感器等各种传感器。

并且，台车侧控制部构成为，为了基于这些各种传感器的检测信息向被指定的运送起始地行驶、从运送起始地向被指定的运送目的地行驶，而对前方行驶部50F以及后方行驶部50R的行驶动作进行控制，而且，在运送起始地，为了从运送起始地接收晶片收纳容器W或标线片收纳容器R，而对把持部51的升降动作及一对把持件62的开闭动作进行控制，并且，在运送目的地，为了将晶片收纳容器W或标线片收纳容器R卸在运送目的地，而对把持部51的升降动作及一对把持件62的开闭动作进行控制。

如上所述，根据本实施方式，在将晶片收纳容器W与标线片收纳容器R保管在保管架1上时，由于使作为入出库用运送装置的升降式运送装置2具备把持晶片收纳容器W的顶部凸缘10以及标线片收纳容器R的凸缘部13C的把持部16，由升降式运送装置2一边将晶片收纳容器W或标线片收纳容器R支撑在悬吊状态，一边进行入出库，所以能够提高入出库作业的效率，而且能够谋求升降式运送装置2的结构简单化。

而且，由于以遍及建筑物的一层至三层的状态设置保管晶片收纳容器W和标线片收纳容器R的保管架1，将建筑物的一层部分及三层部分用作设置物品运送设备的空间，所以能够以减小俯视的设置空间的状态设置物品运送设备。

进而，由于将运送晶片收纳容器W的第1天花板运送车B1以及运送标线片收纳容器R的第2天花板运送车B2的行驶路L径设定成使少一部分为第1天花板运送车B1以及第2天花板运送车B2分别行驶的共用行驶路径部分La的方式，使第1天花板运送车B1以及第2天花板运送车B2分别在沿着行驶路径L设置在天花板一侧的行驶轨道41上行驶，所以能够减少为了使第1天花板运送车B1以及第2天花板运送车B2行驶而设置的行驶轨道41的整体设置长度，谋求设备整体的设置成本的降低。

[其它实施方式]

以下，列数其它实施方式

（1）在上述实施方式中，例示了以遍及建筑物的三层的状态设有保管晶片收纳容器W和标线片收纳容器R的保管架1，由一层部分和三层部分保管晶片收纳容器W和标线片收纳容器R的保管架1，但保管架1的具体结构能够进行各种变更。

例如，也能够以如下的状态构成保管架1，以纵横（上下方向以及左右方向）排列的状态具备收纳晶片收纳容器W的第1收纳部S1，并且以纵横排列的状态具备收纳标线片收纳容器R的第2收纳部S2。

在这种情况下，作为入出库用运送装置，能够以设置具备在架横宽方向上行驶的行驶台车，以及安装在立设于该行驶台车上的升降柱上并升降自如的升降台的所谓塔式起重机，在该塔式起重机的升降台上装备有进退自如的把持部的方式构成。

（2）在上述实施方式中，例示了通过相同地构成第1天花板运送车B1的行驶部50和第2天花板运送车B2的行驶部50，第1天花板运送车B1以及第2天花板运送车B2在共用的行驶轨道41上行驶的情况，但只要是第1天花板运送车B1以及第2天花板运送车B2能够在共用的行驶轨道41上行驶，则第1天花板运送车B1及第2天花板运送车B2的具体结构也可以是不同的结构。

（3）在上述实施方式中，例示了第1天花板运送车B1与第2天花板运送车B2具备相同结构的把持部51的情况，但也能够以使第1天花板运送车B1的把持部51与第2天花板运送车B2的把持部51为不同的结构的方式实施。

（4）在上述实施方式中，例示了作为行驶路径L，两个环状的主行驶路径44以在路径横宽方向上排列的状态、并且成为双重的环状的状态设置，多个环状的副行驶路径43形成为在主行驶路径44的两旁排列的状态的情况，但行驶路径L的具体结构能够进行各种变更，例如多个环状的副行驶路径43形成为在主行驶路径44的单侧排列的状态等。

（5）在上述实施方式中，例示了第1入出库部F1以及第2入出库部F2使用入出库兼用的辊式输送机构成的情况，但也能够以分别设置入库用的辊式输送机和出库用的辊式输送机的方式实施。

（6）在上述实施方式中，例示了第1入出库部F1以及第2入出库部F2使用辊式输送机构成的情况，但第1入出库部F1以及第2入出库部F2的具体结构能够进行各种变更，例如将容器载置台设成能够在保管架1的内外方向上移动自如等。