一种半导体恒温箱的制作方法

文档序号:11039127阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开一种半导体恒温箱,涉及半导体设备领域,包括箱体,所述箱体一侧设有箱门框,所述箱门框下铰接有箱门,所述箱门上设置有观察窗,所述箱体内壁的两侧设置有对称的空腔,所述空腔内均铰接有气缸,所述箱门上设置有对称的固定槽,所述气缸的活塞杆通过铰接柱分别铰接在所述固定槽内,所述箱体上方固定有RB—003型鼓风机,所述RB—003型鼓风机通过导气管连接到箱体内,所述箱体上设置有防爆口。本实用新型利用气压辅助调节箱内温度、安全可靠。

技术研发人员:杨洪民
受保护的技术使用者:济南格利特科技有限公司
文档号码:201621208683
技术研发日:2016.11.09
技术公布日:2017.05.24

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