电子部件输送装置、电子部件检查装置及吸附部件的制作方法

本发明涉及电子部件输送装置、电子部件检查装置及吸附部件。

背景技术：

以往，已知有能够对ic器件进行电试验的ic处理器(handler)(例如，参见专利文件1)。专利文件1记载的ic处理器作为输送ic器件的输送部，具有金属垫适配器和安装于金属垫适配器的橡胶垫。而且，能够用橡胶垫吸附ic器件而直接输送。另外，对应于ic器件的大小、种类，更换大小等不同的橡胶垫。

现有技术文件

专利文件

专利文件1：日本特开平08-267383号公报

例如，金属垫适配器和橡胶垫通过螺纹结合而安装于这种构成的ic处理器。在这种情况下，当进行橡胶垫的更换作业时，必须将橡胶垫旋转紧扣在金属垫适配器，或者必须进行转矩管理等等，其更换作业复杂。

技术实现要素：

本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，能够通过以下方式实现。

本发明提供一种电子部件输送装置，具备输送电子部件的输送部，所述输送部具有：吸附部件，吸附所述电子部件；以及安装部，被安装所述吸附部件，在所述吸附部件设置有第一卡合部，在所述安装部设置有第二卡合部，所述第二卡合部位移到卡合于所述第一卡合部的第一位置和与所述第一卡合部不卡合的第二位置。

由此，通过拽拉安装在安装部的安装状态下的吸附部件，能够容易且迅速地从安装部脱离吸附部件。另外，对于尚未安装吸附部件的状态的安装部，通过压入吸附部件，能够容易且迅速地将吸附部件安装于安装部。如上，吸附部件相对于安装部的装卸变得迅速且容易。由此，能够根据电子部件的种类，容易地进行更换吸附部件的作业。

优选地，在本发明的电子部件输送装置中，所述吸附部件具有插入到所述安装部的管状部，所述第一卡合部由设置在所述管状部的外周部的凹部构成，所述第二卡合部由位移到所述第一位置时卡合于所述凹部的凸部构成。

由此，能够容易地进行吸附部件相对于安装部的装卸操作，其结果，基于电子部件种类的吸附部件的更换作业变得容易。

优选地，在本发明的电子部件输送装置中，所述凹部由沿着所述管状部的外周部的圆周方向设置的槽构成，所述凸部由位移到所述第一位置时沿着所述槽配置多个并卡合于所述槽的球体构成。

由此，能够容易地进行吸附部件相对于安装部的装卸操作，其结果，基于电子部件种类的吸附部件的更换作业变得容易。

优选地，在本发明的电子部件输送装置中，所述安装部具有操作部，所述操作部用于进行将所述第二卡合部限制在所述第一位置的操作。

由此，在操作操作部时，能够脱离安装在安装部的吸附部件，或者与其相反，在尚未安装吸附部件的安装部安装吸附部件。

优选地，在本发明的电子部件输送装置中，所述安装部具有施力部，所述施力部对所述操作部施力而将所述第二卡合部限制在所述第一位置。

由此，能够防止安装状态下的吸附部件从安装部非本意地脱离。

优选地，在本发明的电子部件输送装置中，所述电子部件输送装置具有形状和大小中至少一者根据所述电子部件的种类而不同的多个所述吸附部件，选择所述多个吸附部件中的一个，安装于所述安装部。

由此，能够将适用于各种电子部件的吸附部件安装于安装部，因此通过该吸附部件，能够稳定地吸附电子部件。

优选地，在本发明的电子部件输送装置中，所述吸附部件具有：第一部件，具有插入到所述安装部的管状部；以及第二部件，具有吸附所述电子部件的吸附垫，并与所述第一部件连接。

由此，例如，将第一部件作为公共部件，准备形状、大小等不同的多个第二部件，就能够将适用于各种电子部件的吸附部件安装于安装部来使用。

优选地，在本发明的电子部件输送装置中，所述电子部件输送装置具有形状和大小中至少一者根据所述电子部件的种类而不同的多个所述第二部件，选择所述多个第二部件中的一个，与所述第一部件连接。

由此，能够将适用于各种电子部件的吸附部件安装于安装部来使用。

优选地，在本发明的电子部件输送装置中，所述第二部件连接于所述第一部件的连接操作和解除所述第一部件与所述第二部件的连接的连接解除操作在将所述吸附部件从所述安装部脱离的状态下进行。

由此，例如在进行连接、脱离作业时，相比于设为安装状态的情况，能够容易地进行其作业。

优选地，在本发明的电子部件输送装置中，在所述第一部件设置有内螺纹，在所述第二部件设置有通过与所述内螺纹螺纹结合来与所述第一部件连接的外螺纹。

由此，例如作为第二部件，能够将现有的旋拧式吸附部件连接于第一部件来使用。

优选地，在本发明的电子部件输送装置中，所述安装部具有限制部，所述限制部限制被所述吸附部件吸附的所述电子部件绕铅垂轴线旋转。

由此，例如当电子部件在俯视下呈四边形状时，能够防止相邻的电子部件彼此干扰。

本发明提供一种电子部件检查装置，具备：输送部，输送电子部件；以及检查部，检查所述电子部件，所述输送部具有：吸附部件，吸附所述电子部件；以及安装部，被安装所述吸附部件，在所述吸附部件设置有第一卡合部，在所述安装部设置有第二卡合部，所述第二卡合部能够位移到卡合于所述第一卡合部的第一位置和与所述第一卡合部不卡合的第二位置。

由此，通过拽拉安装在安装部的安装状态下的吸附部件，能够容易且迅速地从安装部脱离吸附部件。另外，对于尚未安装吸附部件的状态的安装部，通过压入吸附部件，能够容易且迅速地将吸附部件安装于安装部。如上，吸附部件相对于安装部的装卸变得迅速且容易。由此，能够根据电子部件的种类，容易地进行更换吸附部件的作业。

本发明提供一种吸附部件，其特征在于，安装于安装部并吸附电子部件，所述安装部设置在输送所述电子部件的输送部，在所述吸附部件设置有第一卡合部，在所述安装部设置有第二卡合部，所述第二卡合部能够位移到卡合于所述第一卡合部的第一位置和与所述第一卡合部不卡合的第二位置，所述吸附部件具有插入到所述安装部的管状部，所述第一卡合部由沿着所述管状部的外周部的圆周方向设置的槽构成，所述第二卡合部由位移到所述第一位置时沿着所述槽配置多个并卡合于所述槽的球体构成。

由此，能够将电子部件输送到检查部，因此能够通过检查部对该电子部件进行检查。另外，能够从检查部输送检查后的电子部件。

附图说明

图1是从正面侧观察本发明的电子部件检查装置的第一实施方式的概要立体图。

图2是示出图1所示的电子部件检查装置的工作状态的概要俯视图。

图3是示出图1所示的电子部件检查装置的器件供应区域内的器件输送座的分解立体图。

图4是依次示出从图1示出的电子部件检查装置的器件供应区域内的器件输送座的安装部分离吸附部件的过程的垂直剖面图。

图5是依次示出从图1示出的电子部件检查装置的器件供应区域内的器件输送座的安装部分离吸附部件的过程的垂直剖面图。

图6是依次示出从图1示出的电子部件检查装置的器件供应区域内的器件输送座的安装部分离吸附部件的过程的垂直剖面图。

图7是依次示出从图1示出的电子部件检查装置的器件供应区域内的器件输送座的安装部分离吸附部件的过程的垂直剖面图。

图8是依次示出从图1示出的电子部件检查装置的器件供应区域内的器件输送座的安装部分离吸附部件的过程的垂直剖面图。

图9是依次示出本发明的电子部件检查装置(第二实施方式)的器件供应区域内的器件输送座的工作状态的主视图。

图10是依次示出本发明的电子部件检查装置(第二实施方式)的器件供应区域内的器件输送座的工作状态的主视图。

图11是示出本发明的电子部件检查装置(第三实施方式)的器件供应区域内的器件输送座的吸附部件的分解垂直剖面图。

图12是示出本发明的电子部件检查装置(第四实施方式)的器件供应区域内的器件输送座的吸附部件的分解垂直剖面图。

图13是示出本发明的电子部件检查装置(第五实施方式)的器件供应区域内的器件输送座的吸附部件的垂直剖面图。

附图标记说明

1…电子部件检查装置；10…电子部件输送装置；11a…托盘输送机构；11b…托盘输送机构；12…温度调节部；13…器件输送座；131…泵；132…基部；14…器件供应部；14a…器件供应部；14b…器件供应部；141…凹部；142…侧壁；15…托盘输送机构；16…检查部；17…器件输送座；17a…器件输送座；17b…器件输送座；18…器件回收部；18a…器件回收部；18b…器件回收部；19…回收用托盘；20…器件输送座；21…托盘输送机构；22a…托盘输送机构；22b…托盘输送机构；231…第一隔壁；232…第二隔壁；233…第三隔壁；234…第四隔壁；235…第五隔壁；241…前盖；242…侧盖；243…侧盖；244…后盖；245…顶盖；25…输送部；3…吸附部件；3a…吸附部件；3b…吸附部件；30a…第一部件；30b…第二部件；30b1…第二部件；30b2…第二部件；31…吸附垫；311…下端面；312…开口部；313…扩径部；32…支承部(吸附垫支承部)；321…凸缘部；322…缺口部；33…管状部；331…第一卡合部；331a…倾斜面；332…外周部；34…支承部(管状部支承部)；35…内部空间；36…外螺纹；37…内螺纹；38…密封部件(衬垫)；4…安装部；41…内侧筒状部；411…内部空间；412…内周部；413…槽；414…突出部；42…第二卡合部；421…球体；43…操作部；431…按压部；44…施力部；441…螺旋弹簧；442…上端；443…下端；45…限制部；451…棒状部；46…密封部件(衬垫)；90…ic器件；901…阶梯部；200…托盘；300…监视器；301…显示画面；400…信号灯；500…扬声器；600…鼠标架；700…操作面板；800…控制部；a1…托盘供应区域；a2…器件供应区域；a3…检查区域；a4…器件回收区域；a5…托盘除去区域；o3…中心轴；o141…中心轴；α11a…箭头；α11b…箭头；α13x…箭头；α13y…箭头；α14…箭头；α15…箭头；α17y…箭头；α18…箭头；α20x…箭头；α20y…箭头；α21…箭头；α22a…箭头；α22b…箭头；α90…箭头。

具体实施方式

下面，基于附图所示的优选实施方式详细说明本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置。

第一实施方式

下面，参照图1～图8，说明本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第一实施方式。此外，在下文中，为了方便说明，如图1所示，将彼此正交的三轴作为x轴、y轴及z轴。另外，包含x轴和y轴的xy平面呈水平，z轴铅垂。另外，将平行于x轴的方向称为“x方向(第一方向)”，将平行于y轴的方向称为“y方向(第二方向)”，将平行于z轴的方向称为“z方向(第三方向)”。另外，将各方向的箭头指向的方向称为“正”，将其相反方向称为“负”。另外，本申请说明书中所说的“水平”并不限定于完全水平，只要不妨碍电子部件的输送，还包含相对于水平稍微(例如小于±5°左右)倾斜的状态。另外，有时将图1、图3～图8中(图9～图13也相同)的上侧即z轴方向正侧称为“上”或者“上方”，将下侧即z轴方向负侧称为“下”或者“下方”。

本发明的电子部件输送装置10具有图1所示的外观。该电子部件输送装置10具备输送作为电子部件的ic器件90的输送部25。输送部25具有能够吸附ic器件90(电子部件)的吸附部件3、以及用于能够装卸地安装吸附部件3的安装部4。在吸附部件3设置第一卡合部331。在安装部4设置第二卡合部42，第二卡合部42能够位移到与第一卡合部331卡合而成为被安装吸附部件3的安装状态的第一位置和解除安装状态的第二位置。

此外，在本实施方式中，作为吸附输送ic器件90的部件，器件输送座13、器件输送座17和器件输送座20包含于输送部25。在下文中，说明将本发明应用于器件输送座13的例子，但应用位置并不限定于器件输送座13，还能够应用在器件输送座17、器件输送座20。

根据这样的本发明，如后文所述，通过拉拽安装在安装部4的安装状态下的吸附部件3，能够容易且迅速地使吸附部件3从安装部4分离。另外，对于尚且没有安装吸附部件3的状态的安装部4，通过按压吸附部件3，能够容易且迅速地将吸附部件3安装于安装部4。如以上，吸附部件3相对于安装部4的装卸变得迅速且容易。由此，对应于ic器件90的种类，能够容易地进行更换吸附部件3的作业。

另外，如图2所示，本发明的电子部件检查装置1是具有电子部件输送装置10并且还具备检查电子部件的检查部16的测试系统(testsystem)。即，电子部件检查装置1是具备输送作为电子部件的ic器件90的输送部25和检查ic器件90(电子部件)的检查部16的测试系统。输送部25具有能够吸附ic器件90(电子部件)的吸附部件3以及用于能够装卸地安装吸附部件3的安装部4。在吸附部件3设置第一卡合部331。在安装部4设置第二卡合部42，第二卡合部42能够在成为与第一卡合部331卡合而安装吸附部件3的安装状态的第一位置与解除安装状态的第二位置之间位移。

由此，得到具有上述电子部件输送装置10的优点的电子部件检查装置1。另外，能够将ic器件90(电子部件)输送到检查部16，因此，能够通过检查部16对该ic器件90进行检查。另外，能够从检查部16输送检查后的ic器件90。

下面，详细地说明各部分结构。

如图1、图2所示，具有电子部件输送装置10的电子部件检查装置1是输送例如bga(ballgridarray：球栅阵列)封装即ic器件等电子部件并在其输送过程中检查并试验(以下简称为“检查”)电子部件的电特性的装置。此外，在下文中，为了说明方便，以将ic器件用作所述电子部件的情况为代表进行说明，将其作为“ic器件90”。ic器件90在本实施方式中呈平板状(参照图4)。

此外，作为ic器件，除上述的之外，可举出例如“lsi(largescaleintegration：大规模集成电路)”、“cmos(complementarymos：互补mos)”、“ccd(chargecoupleddevice：电荷耦合器件)”、将ic器件模块化为多个模块的“模块ic”、“水晶器件”、“压力传感器”、“惯性传感器(加速度传感器)”、“陀螺传感器”、“指纹传感器”等等。

电子部件检查装置1(电子部件输送装置10)具备托盘供应区域a1、器件供应区域a2、检查区域a3、器件回收区域a4、托盘除去区域a5，这些区域通过后述的各壁部划分。而且，ic器件90沿箭头α90方向依次从托盘供应区域a1到托盘除去区域a5经由所述各区域，在途中的检查区域a3进行检查。这样，电子部件检查装置1具备：电子部件输送装置10，具有以经由各区域的方式输送ic器件90的输送部25；检查部16，在检查区域a3内进行检查；以及控制部800。另外，除此之外，电子部件检查装置1具备监视器300、信号灯400、操作面板700。

此外，电子部件检查装置1将配置托盘供应区域a1、托盘除去区域a5的一侧、即图2中下侧作为正面侧并将配置检查区域a3的一侧、即图2中上侧作为背面侧来使用。

另外，电子部件检查装置1预先搭载按照每个ic器件90种类更换的称作“更换套件”而使用。该更换套件中存在载置ic器件90(电子部件)的载置部(电子部件载置部)。在本实施方式的电子部件检查装置1中，在多个位置设置该载置部，例如存在后述的温度调节部12、器件供应部14和器件回收部18。另外，在载置ic器件90(电子部件)的载置部(电子部件载置部)中，独立于上述那种更换套件，还存在用户准备的托盘200、回收用托盘19，另外还存在检查部16。

托盘供应区域a1是被供应排列有未检查状态的多个ic器件90的托盘200的供件部。托盘供应区域a1也可以称为能够堆叠搭载多个托盘200的搭载区域。此外，在本实施方式中，在各托盘200呈矩阵状配置有多个凹部(袋)。在各凹部能够容纳载置各一个ic器件90。

器件供应区域a2是将从托盘供应区域a1输送过来的托盘200上的多个ic器件90分别输送供应到检查区域a3的区域。此外，以跨托盘供应区域a1和器件供应区域a2的方式设置有在水平方向逐个输送托盘200的托盘输送机构11a、11b。托盘输送机构11a是输送部25的一部分，能够使托盘200与载置于该托盘200上的ic器件90一起向y方向的正侧、即图2中的箭头α11a方向移动。由此，能够将ic器件90稳定地送入器件供应区域a2。另外，托盘输送机构11b是能够使空托盘200向y方向的负侧、即图2中的箭头α11b方向移动的移动部。由此，能够使空托盘200从器件供应区域a2向托盘供应区域a1移动。

在器件供应区域a2设置有温度调节部(例如，均温板(soakplate))12、器件输送座13和托盘输送机构15。另外，还设置有以跨器件供应区域a2和检查区域a3的方式移动的器件供应部14。

温度调节部12是载置多个ic器件90的载置部，称为能够将被载置的该ic器件90一起加热或冷却的“均温板”。通过该均温板，能够将通过检查部16检查前的ic器件90预先加热或冷却而调节至适于该检查(高温检查)的温度。

作为这种载置部的温度调节部12被固定。由此，能够对该温度调节部12上的ic器件90稳定地进行温度调节。

另外，温度调节部12接地(grounded)。

在图2所示的构成中，在y方向配置固定有两个温度调节部12。而且，被托盘输送机构11a从托盘供应区域a1输送进来的托盘200上的ic器件90输送到任一温度调节部12。

器件输送座13是把持输送ic器件90的把持部，在器件供应区域a2内被支持为能够移动。该器件输送座13也是输送部25的一部分，能够承担ic器件90在从托盘供应区域a1输送进来的托盘200和温度调节部12之间的输送以及ic器件90在温度调节部12和后述的器件供应部14之间的输送。此外，在图2中，通过箭头α13x示出器件输送座13在x方向的移动，通过箭头α13y示出器件输送座13在y方向的移动。

器件供应部14是载置调节温度后的ic器件90的载置部，称为能够将该ic器件90输送到检查部16附近的“供应用穿梭板”或简称为“供应梭”。该器件供应部14也可成为输送部25的一部分。在该器件供应部14呈矩阵状配置多个凹部(袋)。能够在各凹部中容纳载置各一个ic器件90。

另外，作为载置部的器件供应部14被支承为能够在器件供应区域a2与检查部16的检查区域a3之间沿x方向即箭头α14方向往复移动(能够移动)。由此，器件供应部14能够将ic器件90从器件供应区域a2稳定地输送到检查区域a3的检查部16附近，另外，在检查区域a3被器件输送座17取走ic器件90后，能够再次返回器件供应区域a2。

在图2所示的构成中，在y方向上配置两个器件供应部14，有时将y方向负侧的器件供应部14称为“器件供应部14a”，将y方向正侧的器件供应部14称为“器件供应部14b”。而且，温度调节部12上的ic器件90在器件供应区域a2内输送到器件供应部14a或者器件供应部14b。另外，与温度调节部12同样，器件供应部14构成为能够加热或者冷却载置在该器件供应部14的ic器件90。由此，对于在温度调节部12进行温度调节的ic器件90，能够在维持其温度调节状态的情况下输送到检查区域a3的检查部16附近。另外，与温度调节部12同样，器件供应部14也接地。

托盘输送机构15是在器件供应区域a2内将除去所有ic器件90的状态的空托盘200向x方向的正侧即箭头α15方向输送的机构。而且，其输送之后，空托盘200通过托盘输送机构11b从器件供应区域a2回到托盘供应区域a1。

检查区域a3是检查ic器件90的区域。在该检查区域a3设置有对ic器件90进行检查的检查部16以及器件输送座17。

器件输送座17是输送部25的一部分，与温度调节部12同样，构成为能够加热或冷却所把持的ic器件90。由此，能够把持维持所述温度调节状态的ic器件90，在检查区域a3内以维持所述温度调节状态输送ic器件90。

这样的器件输送座17在检查区域a3内被支持为能够在y方向以及z方向往复移动，成为称作“分度臂”的机构的一部分。由此，器件输送座17能够从由器件供应区域a2输送过来的器件供应部14抬起ic器件90，输送载置在检查部16上。

此外，在图2中，通过箭头α17y示出器件输送座17在y方向上的往复移动。另外，器件输送座17被支持为能够在y方向上往复移动，但并不限定于此，也可以被支持为也能够在x方向上往复移动。另外，在图2所示的构成中，器件输送座17在y方向上配置两个，有时将y方向负侧的器件输送座17称为“器件输送座17a”，将y方向正侧的器件输送座17称为“器件输送座17b”。器件输送座17a能够在检查区域a3内承担从器件供应部14a向检查部16输送ic器件90，器件输送座17b能够在检查区域a3内承担从器件供应部14b向检查部16输送ic器件90。

检查部16(插口)是载置作为电子部件的ic器件90而检查该ic器件90的电气特性的载置部(电子部件载置部)。该检查部16具有容纳载置ic器件90的凹部，在该凹部的底部设置多个探针。而且，通过使ic器件90的端子和探针能够导电地连接即接触，能够进行ic器件90的检查。根据在与检查部16连接的检验器所具备的检查控制部中存储的程序来进行ic器件90的检查。与温度调节部12同样，这样的检查部16也能够加热或冷却ic器件90，将该ic器件90调节至适于检查的温度。

器件回收区域a4是回收在检查区域a3检查并结束该检查后的多个ic器件90的区域。在该器件回收区域a4设置有回收用托盘19、器件输送座20和托盘输送机构21。另外，还设置有以跨检查区域a3和器件回收区域a4的方式移动的器件回收部18。另外，在器件回收区域a4还准备有空托盘200。

器件回收部18是载置在检查部16完成检查的ic器件90并能够将该ic器件90输送到器件回收区域a4的载置部，称为“回收用穿梭板”或简称为“回收梭”。该器件回收部18也可成为输送部25的一部分。

另外，器件回收部18被支承为能够在检查区域a3和器件回收区域a4之间沿x方向即箭头α18方向往复移动。另外，在图2所示的构成中，与器件供应部14同样，在y方向配置两个器件回收部18，有时将y方向负侧的器件回收部18称为“器件回收部18a”，将y方向正侧的器件回收部18称为“器件回收部18b”。而且，检查部16上的ic器件90被输送并载置至器件回收部18a或器件回收部18b。此外，由器件输送座17a承担将ic器件90从检查部16向器件回收部18a输送，由器件输送座17b承担将ic器件90从检查部16向器件回收部18b输送。另外，与温度调节部12、器件供应部14同样，器件回收部18也接地。

回收用托盘19是载置在检查部16检查后的ic器件90的载置部，其在器件回收区域a4内固定为不移动。由此，即便是相对较多地配置器件输送座20等各种可动部的器件回收区域a4，也在回收用托盘19上稳定地载置检查完毕的ic器件90。此外，在图2所示的构成中，沿x方向配置三个回收用托盘19。

另外，沿x方向还配置三个空托盘200。该空托盘200也成为载置在检查部16检查后的ic器件90的载置部。而且，移动至器件回收区域a4的器件回收部18上的ic器件90输送并载置到回收用托盘19及空托盘200中的任一个。由此，按照检查结果分类回收ic器件90。

器件输送座20在器件回收区域a4内被支承为能够在x方向及y方向移动，并且具有还能够在z方向移动的部分。该器件输送座20是输送部25的一部分，能够将ic器件90从器件回收部18输送到回收用托盘19、空托盘200。此外，在图2中，通过箭头α20x示出器件输送座20在x方向的移动，通过箭头α20y示出器件输送座20在y方向的移动。

托盘输送机构21是在器件回收区域a4内将从托盘除去区域a5输送过来的空托盘200向x方向即箭头a21方向输送的机构。而且，在其输送之后，空托盘200配置在回收ic器件90的位置，即可成为所述三个空托盘200中的任一个。

托盘除去区域a5是回收除去排列有检查完毕状态的多个ic器件90的托盘200的除件部。能够在托盘除去区域a5堆叠多个托盘200。

另外，以跨器件回收区域a4和托盘除去区域a5的方式设置有在y方向逐个输送托盘200的托盘输送机构22a、托盘输送机构22b。托盘输送机构22a是输送部25的一部分，是能够使托盘200在y方向即箭头α22a方向往复移动的移动部。由此，能够将检查完毕的ic器件90从器件回收区域a4输送到托盘除去区域a5。另外，托盘输送机构22b能够将用于回收ic器件90的空托盘200向y方向的正侧即箭头α22b方向移动。由此，能够使空托盘200从托盘除去区域a5向器件回收区域a4移动。

控制部800具有至少一个处理器，该处理器进行各种判断、各种命令等。控制部800能够控制例如托盘输送机构11a、托盘输送机构11b、温度调节部12、器件输送座13、器件供应部14、托盘输送机构15、检查部16、器件输送座17、器件回收部18、器件输送座20、托盘输送机构21、托盘输送机构22a、托盘输送机构22b等的工作。

此外，在本实施方式中，控制部800内置于电子部件检查装置1，但并不限定于此。例如，控制部800也可以设置在外部计算机等外部设备。另外，该外部设备例如存在与电子部件检查装置1经由电缆等通信的情况、无线通信的情况、与电子部件检查装置1经由网络(例如互联网)连接的情况等。

操作者能够借助监视器300设定或确认电子部件检查装置1的动作条件等。该监视器300具有例如由液晶画面构成的显示画面301，配置在电子部件检查装置1正面侧的上部。如图1所示，在托盘除去区域a5的图中右侧设置有载置鼠标的鼠标架600。在操作显示于监视器300的画面时使用该鼠标。

另外，在图1中相对于监视器300右下方，配置有操作面板700。与监视器300不同，操作面板700对电子部件检查装置1发出希望工作的指令。

另外，信号灯400通过发光颜色的组合能够通知电子部件检查装置1的工作状态等。信号灯400配置在电子部件检查装置1的上部。此外，在电子部件检查装置1中内置有扬声器500，通过该扬声器500能够通知电子部件检查装置1的工作状态等。

电子部件检查装置1通过第一隔壁231划分托盘供应区域a1和器件供应区域a2之间，通过第二隔壁232划分器件供应区域a2和检查区域a3之间，通过第三隔壁233划分检查区域a3和器件回收区域a4之间，通过第四隔壁234划分器件回收区域a4和托盘除去区域a5之间。另外，还通过第五隔壁235划分器件供应区域a2和器件回收区域a4之间。

电子部件检查装置1通过盖罩覆盖最外部，该盖罩例如有前盖241、侧盖242、侧盖243、后盖244、顶盖245。

如前所述，电子部件检查装置1预先搭载按照ic器件90的种类更换的称作“更换套件”来使用。

在器件输送座13也存在能够吸附ic器件90(电子部件)的吸附部件3，作为更换套件。根据ic器件90(电子部件)的种类，预先准备形状及大小中至少一个(在本实施方式中吸附垫31的大小)不同的多个吸附部件3(参照图3)。在图3中，作为一个例子，示出吸附部件3a以及吸附部件3b。而且，选择这些多个吸附部件3(吸附部件3a以及吸附部件3b)中的一个，安装在安装部4。由此，能够将适用于各种ic器件90的吸附部件3安装于安装部4，因此能够通过该吸附部件3稳定地吸附ic器件90。在本实施方式中，根据ic器件90的大小，选择吸附部件3a和吸附部件3b的某一个。在ic器件90为“小”时，选择吸附部件3a，在ic器件90为“大”时，选择吸附部件3b。在下文中，将吸附部件3安装在安装部4的状态简称为“安装状态”。

此外，在本实施方式中，准备了两个吸附部件3，但其数量没有特别限定，例如可以为三个以上。

另外，多个吸附部件3在本实施方式中局部大小不同，但并不限定于此，例如也可以整体大小不同，也可以局部形状不同，也可以整体形状不同，也可以形状(局部和整体均可)以及大小(局部和整体均可)双方均不同。

另外，多个吸附部件3在本实施方式中大小不同，但并不限定于此，例如除大小不同之外，还可以形状(局部和整体均可)不同，也可以仅形状(局部和整体均可)不同。

如图3所示，关于吸附部件3a和吸附部件3b，由于除吸附垫31的大小不同之外构成相同，下面代表性地说明吸附部件3a。

如图4所示，吸附部件3a具有能够吸附ic器件90的吸附垫31、支承吸附垫31的支承部(吸附垫支承部)32、在安装状态下插入到安装部4的管状部33、支承管状部33的支承部(管状部支承部)34。

吸附垫31是具有在下端面311开口的开口部312的呈圆筒状(圆管状)的部分。该吸附垫31能够使下端面311抵接ic器件90的上表面，通过在开口部312产生的抽吸力吸附ic器件90。而且，在该吸附状态下，器件输送座13能够在器件供应区域a2内输送ic器件90。

此外，通过经由安装部4连接的泵131的工作，能够在开口部312产生抽吸力

另外，吸附垫31的外观形状在本实施方式中为圆筒状，但并不限定于此，例如可以是棱筒状。如图3所示，在本实施方式中，吸附部件3a的吸附垫31和吸附部件3b的吸附垫31外径不同，即下端面311的大小不同。

另外，可以在吸附垫31的外周侧设置罩盖。由此，能够增大与吸附垫31的接触面积，因此能够稳定地吸附ic器件90。关于该罩盖的外观形状，并没有特别的限定，例如能够设为俯视下圆形或者棱形。

支承部32是支承吸附垫31的上端部并外径比吸附垫31的外径大的部分。由此，能够牢固地支承吸附垫31。另外，在支承部32的外周部形成有呈板状突出的凸缘部321。当将吸附部件3a安装到安装部4时，用指尖捏持凸缘部321就能够容易地进行该安装作业。

在与吸附垫31相反一侧设置呈圆管状的管状部33。该管状部33是在安装状态下插入到安装部4的部分。在管状部33的外周部332设置有在安装状态下供安装部4的第二卡合部42卡合的第一卡合部331。通过该卡合，维持安装状态，因此防止吸附部件3a从安装部4非本意地脱离。

此外，在本实施方式中，第一卡合部331由沿着管状部33的外周部332的圆周方向形成的环状的槽(凹部)构成，但并不限定于此，例如根据第二卡合部42的结构(形状)，能够例如由在管状部33的外周部332的多个位置凹陷形成的凹部、沿着管状部33的外周部332的圆周方向突出形成的凸条、在管状部33的外周部332的多个位置突出形成的多个凸部等构成。

支承部34是支承管状部33的下端部并外径比管状部33的外径大的部分。由此，能够牢固地支承管状部33。另外，能够限制管状部33插入到安装部4的上限(参照图4)。

如上构成的吸附部件3a从上部的管状部33到下部的吸附垫31在内部连通。

此外，吸附部件3a既可以与吸附垫31、支承部32、管状部33、支承部34一体形成，也可以其中至少一部分单独构成而其单体接合。

作为吸附部件3a的构成材料，没有特别的限定，例如能够使用硬质的各种金属材料、各种树脂材料等。另外，吸附部件3a也可以用弹性材料构成吸附垫31。

如上构成的吸附部件3a装卸自如地安装在安装部4。如图3所示，安装部4设置在器件输送座13的基部132的下端部。另外，安装部4的配置数量没有特别的限定，例如既可以是一个，也可以是多个。在配置有多个安装部4时，针对沿着x方向的配置数量和沿着y方向的配置数量也没有特别的限定，例如既可以相同，也可以不同。

如图4～图8所示，安装部4具有内侧筒状部41、将内侧筒状部41支承为能够位移的第二卡合部42、进行使第二卡合部42能够位移的操作的操作部43、对操作部43施力的施力部44。另外，如图3所示，安装部4还具有限制部45，限制部45限制安装状态下的吸附部件3a(吸附部件3b也相同)绕z轴旋转。

内侧筒状部41是从基部132朝下方呈圆管状突出形成的部分。在安装状态下，吸附部件3a的管状部33插入在该内侧筒状部41的内部空间411中。由此，内侧筒状部41的内部空间411和吸附部件3a的内部空间35连通。而且，在该连通状态下泵131工作，由此从基部132的连接泵131的部分到吸附部件3a的内部空间35被减压。由此，在吸附部件3a的吸附垫31的开口部312产生抽吸力，能够吸附ic器件90。

如图4(图5～图8也相同)所示，在内侧筒状部41的内周部412设置有沿着其圆周方向的呈环状的密封部件(衬垫)46。密封部件46由弹性材料构成，在安装状态下，在内侧筒状部41的内周部412和吸附部件3a的管状部33的外周部332之间被压缩而弹性变形。由此，内侧筒状部41的内周部412和吸附部件3a的管状部33的外周部332之间气密性密封。而且，能够防止当泵131工作时从内侧筒状部41的内周部412和吸附部件3a的管状部33的外周部332之间漏出空气，在吸附垫31的开口部312产生的抽吸力降低。由此，能够持续稳定地吸附ic器件90。

另外，内侧筒状部41在比密封部件46靠下侧的部分具有从内部空间411呈放射状形成的槽413。在各槽413中逐一容纳构成第二卡合部42的球体421。该球体421能够沿着容纳有该球体421的槽413所形成的方向在下述第一位置和第二位置之间移动。

第一位置是第二卡合部42(球体421)卡合于吸附部件3(吸附部件3a或者吸附部件3b)的第一卡合部331而成为安装吸附部件3的安装状态的位置(参照图4)。第二位置是解除安装状态的位置(参照图6)。

如前所述，吸附部件3具有在安装状态下插入到安装部4的管状部33。另外，第一卡合部331(凹部)由形成在管状部33的外周部332的圆周方向上的槽(凹部)构成。而且，第二卡合部42由在第一位置卡合于第一卡合部331(凹部)的凸部构成。该凸部由在第一位置沿着第一卡合部331(槽)配置多个的球体421构成(参照图4)。这样，第二卡合部42由球体421(凸部)构成，由此如后文所述，能够容易地进行吸附部件3相对于安装部4的装卸操作，其结果，基于ic器件90的种类来更换吸附部件3的更换作业、即吸附部件3a和吸附部件3b的更换作业变得容易。

此外，作为球体421的构成材料，没有特别的限定，例如能够使用不锈钢等各种金属材料。

另外，第二卡合部42构成为在本实施方式中能够在与内侧筒状部41的中心轴线正交的方向移动，但并不限定于此，例如既可以构成为能够在内侧筒状部41的中心轴线方向移动，也可以构成为能够绕内侧筒状部41的中心轴线旋转。

安装部4具有操作部43，操作部43用于统一操作使各球体421(第二卡合部42)能够从第一位置向第二位置移动(位移)。操作部43由在内侧筒状部41的外周侧与内侧筒状部41同心配置的筒体构成。该操作部43能够在内侧筒状部41的中心轴线方向即沿着z方向向上位置(参照图5～图7)和下位置(参照图4、图8)移动。此外，操作部43在上位置限制再向上的移动上限，在下位置，限制向其以下的下方的移动边界。

另外，操作部43具有按压部431，当操作部43位于下位置时，按压部431能够统一按压各球体421。按压部431由沿着操作部43的内周部的圆周方向突出形成的环状的突出部构成。由此，限制各球体421从第一位置向第二位置移动，因此能够防止安装状态下的吸附部件3从安装部4脱离。

另外，当操作部43位于上位置时，按压部431从各球体421退避。由此，解除按压部431对各球体421的按压力，因此各球体421能够从第一位置向第二位置移动。而且，在该状态下，例如能够使安装在安装部4的吸附部件3脱离(参照图5～图7)，或者与其相反，在尚未安装吸附部件3的安装部4安装吸附部件3。

安装部4具有施力部44，施力部44对操作部43向下方施力，限制第二卡合部42位移。在本实施方式中，施力部44由在内侧筒状部41和操作部43之间与它们同心配置的螺旋弹簧441构成。螺旋弹簧441的上端442从下方抵接突出形成在内侧筒状部41的外周部的突出部414，下端443从上方抵接内侧筒状部41的按压部431。另外，螺旋弹簧441在突出部414和按压部431之间处于压缩状态。由此，对操作部43作用朝下方的偏置力。通过该偏置力，操作部43维持位于下位置的状态。由此，限制各球体421从第一位置向第二位置移动，因此能够防止安装状态下的吸附部件3从安装部4非本意地脱离。

如图3所示，安装部4具有限制部45，限制部45按照每个吸附部件3限制被吸附部件3吸附的ic器件90(电子部件)绕z轴(铅垂轴)旋转(“ic器件90吸附于吸附部件3的状态”参照图4)。限制部45设置于相对于安装部4y方向正侧，由从器件输送座13的基部132向z方向负侧(下方)呈棒状突出形成的棒状部451构成。该棒状部451在图3所示的构成中外径(粗细)沿着z方向(纵长方向)恒定，但并不限定于此，也可以是沿着z方向变化的部分。

另一方面，在吸附部件3的凸缘部321中，在y方向正侧部分形成有缺口部322。在安装状态下，棒状部451穿过该缺口部322，能够卡合。由此，ic器件90在被吸附部件3吸附的状态下，被限制按照每个吸附部件3绕安装部4(吸附部件3)的中心轴线即z轴旋转。通过这样旋转限制，例如当ic器件90俯视下呈四边形状时，能够防止彼此相邻的ic器件90彼此干扰。另外，由于维持ic器件90的姿势，该ic器件90顺畅地载置于其输送目的地(例如器件供应部14的容纳载置ic器件90的凹部)。

接着，参照图4～图8说明在安装部4将吸附部件3a更换为吸附部件3b的更换作业。

如图4所示，吸附部件3a处于安装在安装部4的安装状态。在该安装状态下，如前所述，吸附部件3a的内部空间35和安装部4的内部空间411连通。由此，成为通过泵131能够吸附ic器件90的状态。

另外，安装部4的操作部43位于下位置，被螺旋弹簧441(施力部44)施力。该操作部43的按压部431统一按压位于第一位置的各球体421(第二卡合部42)。由此，限制各球体421向第二位置移动，因此维持安装状态。

接着，如图5所示，克服螺旋弹簧441(施力部44)的偏置力，使操作部43移动到上位置。由此，各球体421被解除按压部431的按压力，因此成为能够移动到第二位置的状态。

接着，如图6所示，将吸附部件3a向下方拽拉。由此，各球体421越过吸附部件3a的第一卡合部331上侧的倾斜面331a，移动到第二位置。另外，若进一步将吸附部件3a向下方拽拉，则各球体421在吸附部件3a的管状部33的外周部332滑动。

而且，如图7所示，吸附部件3a从安装部4脱离。

接着，若解除使操作部43向上位置移动的力，则如图8所示，操作部43通过自重和螺旋弹簧441的偏置力，迅速地再次返回下位置。另外，此时，操作部43的按压部431统一按压位于第二位置的各球体421，能够送回第一位置。

这样，通过在仍保持将操作部43提升到上位置的状态下，将吸附部件3a向下方拽拉这样简单操作，能够容易且迅速地使吸附部件3a从安装部4脱离。

另外，在将吸附部件3b安装于安装部4时，通过进行所述的相反操作，能够进行其安装。即，通过在保持将操作部43提升到上位置的状态下，将吸附部件3b压入安装部4这样简单操作，能够容易且迅速地将吸附部件3b安装于安装部4。另外，在内侧筒状部41中，若在各球体421的密封部件46侧设置各球体421能够移动的槽，则不用将操作部43向上提升，就能够通过管状部33的外周部332压入各球体421。由此，通过不用将操作部43向上提升就将吸附部件3b压入安装部4这样更加简单的操作，能够更容易且迅速地将吸附部件3b安装于安装部4。

如以上，在电子部件检查装置1(电子部件输送装置10)中，根据ic器件90的种类，能够容易地进行将吸附部件3a更换为吸附部件3b(或者将吸附部件3b更换为吸附部件3a)的作业。由此，在转移到不同种类的ic器件90的检查时，能够迅速且顺畅地进行其转移。

第二实施方式

下面，参照图9以及图10说明本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第二实施方式，但以与上述实施方式的不同点为重点说明，相同事项省略其说明。

本实施方式除安装部省略用于限制吸附部件所吸附的ic器件旋转的限制部之外与所述第一实施方式相同。

如图9所示，在吸附部件3吸附有ic器件90。在该图9所示的状态下，吸附部件3的中心轴线o3和器件供应部14的凹部141的中心轴线o141没有位于同一直线上，而是产生有错位。

另外，在本实施方式中，与在安装部4省略限制部45相应地，产生安装状态下的吸附部件3能够在x方向、y方向和z方向的任一方向上略微移动的“间隙”。由此，如图10所示，在将ic器件90载置于器件供应部14的凹部141时，ic器件90沿着凹部141的锥形状侧壁142，能够使中心轴线o3和中心轴线o141的错位相抵消与所述间隙相应地量。因此，能够在器件供应部14的凹部141顺滑地载置ic器件90。

第三实施方式

下面，参照图11说明本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第三实施方式，但以与上述实施方式的不同点为重点说明，相同事项省略其说明。

本实施方式除吸附部件的结构不同之外与上述第一实施方式相同。

如图11所示，在本实施方式中，吸附部件3是具备组装使用的两个部件的构成。即，吸附部件3具备：第一部件30a，具有在安装状态下插入到安装部4的管状部33和支承管状部33的支承部34；以及第二部件30b，具有连接于第一部件30a来使用并能够吸附ic器件90(电子部件)的吸附垫31和支承吸附垫31的支承部32。

另外，根据ic器件90(电子部件)的种类，准备形状和大小中至少一个(在本实施方式中吸附垫31的大小)不同的多个第二部件30b。在图11中，作为一个例子，示出第二部件30b1和吸附垫31的大小比第二部件30b1大的第二部件30b2。而且，选择这些多个第二部件30b(第二部件30b1以及第二部件30b2)中的一个，连接于第一部件30a。将第二部件30b1连接组装于第一部件30a的吸附部件3成为吸附部件3a。另外，将第二部件30b2连接组装于第一部件30a的吸附部件3成为吸附部件3b。这样，只要将第一部件30a作为公共部件，准备大小不同的多个第二部件30b，就能够将适用于各种ic器件90的吸附部件3(吸附部件3a或者吸附部件3b)安装于安装部4来使用。

此外，在本实施方式中，准备了两个第二部件30b，但其数量没有特别的限定，例如可以为三个以上。

另外，多个第二部件30b在本实施方式中局部性大小不同，但并不限定于此，例如既可以整体性大小不同，也可以局部性形状不同，也可以整体性形状不同，还可以形状(局部和整体均可)以及大小(局部和整体均可)这双方不同。

另外，多个第二部件30b在本实施方式中大小不同，但并不限定于此，例如除大小不同之外，还可以形状(局部和整体均可)不同，也可以只有形状(局部和整体均可)不同。

如图11所示，在本实施方式中，在第一部件30a中，在支承部34的下部突出形成外螺纹36。另一方面，在第二部件30b中，在支承部32形成有内螺纹37，内螺纹37在与第一部件30a连接时与外螺纹36螺纹结合。

另外，在外螺纹36的与支承部34的交界部设置有沿着外螺纹36的圆周方向的呈环状的密封部件(衬垫)38。密封部件38由弹性材料构成，在组装第一部件30a和第二部件30b的状态下，在支承部34和支承部32之间被压缩而弹性变形。由此，气密性密封支承部34和支承部32之间。而且，能够防止在泵131工作时空气从支承部34和支承部32之间漏出，在吸附垫31的开口部312产生的抽吸力降低。由此，能够稳定地持续吸附ic器件90。

另外，第二部件30b连接到第一部件30a的连接操作以及第一部件30a和第二部件30b的连接解除操作优选的是在将吸附部件3从安装部4脱离的状态下进行。由此，例如在进行连接、脱离作业时，相比于设为安装状态的情况，能够容易地进行其作业。

第四实施方式

下面，参照图12说明本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第四实施方式，以与上述实施方式的不同点为重点说明，相同事项省略其说明。

本实施方式除吸附部件所具备的第一部件以及第二部件的结构不同之外与上述第三实施方式相同。

如图12所示，在本实施方式中，在第一部件30a中，在支承部34形成有内螺纹37。另一方面，在第二部件30b中，在支承部32的上部形成有在与第一部件30a连接时与内螺纹37螺纹结合的外螺纹36。另外，第二部件30b省略凸缘部321。

根据这种结构，例如作为第二部件30b，能够将现有的旋入式吸附部件连接于第一部件30a来使用。

第五实施方式

下面，参照图13说明本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置的第五实施方式，以与上述实施方式的不同点为重点说明，相同事项省略其说明。

本实施方式除吸附部件的吸附垫的形状不同之外与上述第一实施方式相同。

如图13所示，在本实施方式中，吸附部件3的吸附垫31具有其内径扩大的扩径部313。由此，例如在ic器件90的上侧具有阶梯部901的情况下，当该ic器件90被吸附部件3吸附时，阶梯部901容纳在扩径部313内。由此，ic器件90成为稳定地被吸附部件3吸附的状态，因此能够防止在输送过程中从吸附部件3脱离。

以上，针对图示的实施方式说明了本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置，但本发明并不限定于此，构成电子部件输送装置以及电子部件检查装置的各部能够替换为可发挥相同功能的任意结构。另外，也可以附加任意结构物。

另外，本发明的电子部件输送装置以及电子部件检查装置也可以组合所述各实施方式中的任意两个以上结构(特征)。