技术总结
本实用新型涉及一种晶圆包装盒，包括盒体和盒盖，第一侧壁内开设有用于容纳晶圆的容纳腔，第一侧壁和第三侧壁密封配合。本实用新型采用双层结构，通过双层侧壁之间的空隙，能够在晶圆包装盒受到外界的撞击时起到缓冲作用，从而保护内部的晶圆不发生破裂。由于第一侧壁和第三侧壁密封配合，能够将空气完全隔绝在容纳腔的外部，使得外界的空气不易进入容纳腔内，从而有效的保证了容纳腔内的晶圆不受外界空气的污染；此外，由于第一侧壁和第三侧壁的外部设有第二侧壁和第四侧壁，使得第一侧壁和第三侧壁不会与外界发生接触，因此，密封效果更好。
技术研发人员：袁黔云
受保护的技术使用者：深圳市迈捷微科技有限公司
技术研发日：2018.10.11
技术公布日：2019.06.28