一种晶圆包装盒的制作方法

本实用新型涉及半导体存储技术领域，尤其涉及一种晶圆包装盒。

背景技术：

晶圆包装盒主要用于储存晶圆，防止晶圆在运输的过程中发生破裂。晶圆包装盒包括盒体和盒盖，现有技术中的晶圆包装盒结构设计简单，强度低，当晶圆包装盒在运输的过程中受到外界的撞击和震动时，容易导致内部的晶圆出现破裂的现象。另外，由于晶圆容易受到外界粉尘和空气的污染，需要进行密封处理。现有技术一般是在盒体和盒盖的结合处，通过胶带密封，该方法费事费力，效率低；此外，由于现有工艺的缺陷，盒体和盒盖上容易产生披锋，导致胶带容易被披锋割开，密封效果差。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种强度高、气密性高的晶圆包装盒。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案为：

一种晶圆包装盒，包括盒体和盒盖，所述盒体包括第一侧壁以及设置在第一侧壁外围的第二侧壁，所述盒盖包括第三侧壁以及设置在第三侧壁外围的第四侧壁，所述第一侧壁内开设有用于容纳晶圆的容纳腔，所述第一侧壁和第三侧壁密封配合。

其中，所述第一侧壁和第三侧壁为环形侧壁，所述第一侧壁的开口从盒体的底部向上逐渐增大，所述第三侧壁的开口从盒盖的顶部向下逐渐增大，所述第一侧壁被盖紧在第三侧壁内。

其中，所述第一侧壁和第二侧壁之间设有第一加强筋，所述第三侧壁和第四侧壁之间设有第二加强筋。

其中，所述盒体底部的外表面上设有第三加强筋。

其中，所述盒盖顶部的外表面上设有第四加强筋。

其中，所述盒盖上开设有通孔，所述通孔上设有密封塞，所述通孔和容纳腔连通。

其中，所述第一侧壁和第二侧壁之间设有卡扣，所述第三侧壁和第四侧壁之间设有适配卡扣的卡槽，所述盒体和盒盖通过卡扣和卡槽卡接。

其中，所述盒盖顶部的外表面上设有指示标记。

其中，所述第一侧壁上开设有缺口。

其中，所述盒盖上设有凹槽。

本实用新型的有益效果为：本实用新型采用双层结构，通过双层侧壁之间的空隙，能够在晶圆包装盒受到外界的撞击时起到缓冲作用，从而保护内部的晶圆不发生破裂。由于第一侧壁和第三侧壁密封配合，能够将空气完全隔绝在容纳腔的外部，使得外界的空气不易进入容纳腔内，从而有效的保证了容纳腔内的晶圆不受外界空气的污染；此外，由于第一侧壁和第三侧壁的外部设有第二侧壁和第四侧壁，使得第一侧壁和第三侧壁不会与外界发生接触，因此，密封效果更好。

附图说明

参照附图，本实用新型的公开内容将更加显然。应当了解，这些附图仅仅用于说明的目的，而并非意在对本实用新型的保护范围构成限制。图中：

图1是根据本实用新型的一个实施方式的盒体的示意性立体图。

图2是图1中盒体的另一面示意性立体图。

图3是根据本实用新型的一个实施方式的盒盖的示意性立体图。

图4是图3中盒盖的另一面示意性立体图。

1、盒体；11、第一侧壁；12、第二侧壁；13、容纳腔；14、第一加强筋；15、第三加强筋；111、缺口；16、卡扣；2、盒盖；21、第三侧壁；22、第四侧壁；23、第二加强筋；24、四加强筋；25、通孔；26、凹槽；27、卡槽；28、指示标记。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

图1是根据本实用新型的一个实施方式的盒体的示意性立体图；图2是图1中盒体的另一面示意性立体图。

从图可以看出，该晶圆包装盒包括盒体1和盒盖2，盒体1包括第一侧壁11以及设置在第一侧壁11外围的第二侧壁12，在本实施方式中，第一侧壁11为环形侧壁，可以了解，在可选的实施方式中，第一侧壁11也可以为其他的形状，只需确保第一侧壁11的形状和晶圆的形状一致即可。在本实施方式中，第二侧壁12为环形侧壁，在可选的实施方式中，根据例如空间等具体要求，也可以将第二侧壁12设计为其他的形状，例如正方形、棱形等。可以了解，该晶圆包装盒可以由适当的材料例如塑料制成，根据具体的情况具有适当的厚度、强度，以满足存储的要求。通过双层侧壁之间的空隙，能够在晶圆包装盒受到外界的撞击时起到缓冲作用，从而保护内部的晶圆不发生破裂。

图中第一侧壁11内开设有容纳晶圆的容纳腔13，第一侧壁11和第二侧壁12之间周向均布设有多条第一加强筋14。第一加强筋14能够提高第一侧壁11和第二侧壁12之间的强度，使得盒体1在受到撞击时，能够很好的保护容纳腔13内的晶圆。

如图2中所示，盒体1底部的外表面上设有第三加强筋15，第三加强筋15能够提高盒体1底部的强度，使得盒体1受到震动时，能够很好的保护容纳腔13内的晶圆。在本实施方式中，第三加强筋15由多条向外扩散的圆形加强筋和多条相互交叉的直线加强筋组合构成，该结构使得盒体1底部的强度更高。

在本实施方式中，第一侧壁11上均匀开设有四个缺口111，该缺口111方便机台取出容纳腔13内的晶圆。可以了解，该缺口111的数量不局限于四个，只需确保该缺口111能够方便机台取出容纳腔13内的晶圆即可。

图3是根据本实用新型的一个实施方式的盒盖的示意性立体图；图4是图3中盒盖的另一面示意性立体图。

从图中可以看出，盒盖2包括第三侧壁21以及设置在第三侧壁21外围的第四侧壁22，在本实施方式中，第三侧壁21的形状和第一侧壁11的形状一致，第四侧壁22的形状和第二侧壁12的形状一致。第三侧壁21和第四侧壁22之间设有多条第二加强筋23，第二加强筋23能够提高第三侧壁21和第四侧壁22之间的强度，使得盒体1在受到撞击时，能够很好的保护容纳腔13内的晶圆。

如图4中所示，盒盖2顶部的外表面上设有第四加强筋24，第四加强筋24能够提高盒盖2顶部的强度，使得盒盖2受到上方的挤压时，能够很好的保护容纳腔13内的晶圆。在本实施方式中，第四加强筋24由多条向外扩散的圆形加强筋和多条相互交叉的直线加强筋组合构成，该结构使得盒盖2顶部的强度更高。

在现有技术中，由于晶圆的引脚容易被氧化，因此，晶圆无法长期储存在晶圆包装盒内。从图中可以看出，盒盖2上开设有通孔25，该通孔25和容纳腔13连通，通过该通孔25可以往容纳腔13内注入氮气，注满后通过密封塞(图未示出)塞紧通孔25即可。由于氮气的化学性质不活泼，常温下很难跟其他物质发生反应，使得容纳腔13内的晶圆不易发生反应，可以长期储存。

图中盒盖2上的凹槽26是为开模或者加工而增加的工艺凹槽，根据具体的加工需要可以采用适当的工艺凹槽形状，该工艺凹槽本身并不影响晶圆包装盒的使用。可以了解，在工艺水平允许的情况下，也可以省去该工艺凹槽。

在本实施方式中，第一侧壁11的开口从盒体1的底部向上逐渐增大，第三侧壁21的开口从盒盖2的顶部向下逐渐增大，第三侧壁21的开口略大于第一侧壁11的开口。合盖时，第一侧壁11位于第三侧壁21内，由于第三侧壁21的开口从下向上逐渐缩小，使得第一侧壁11被缩紧在第三侧壁21内，从而使第一侧壁11和第三侧壁21紧密贴合，达到良好的密封效果。

如图1中所示，第一侧壁11和第二侧壁12之间设有卡扣16，如图4中所示，第三侧壁21和第四侧壁22之间设有适配卡扣16的卡槽27，盒体1和盒盖2通过卡扣16和卡槽27卡接，该结构盖合方便。从图中可以看出，盒盖2顶部的外表面上设有指示标记28，指示标记28能够方便用户快速识别卡扣16和卡槽27的卡接位置，从而提高用户体验。在本实施方式中，指示标记28为箭头形状，可以了解，在其他实施方式中，指示标记28也可以为其他的形状，只需确保用户能够快速识别卡接的位置即可。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。