一种靶材塑封用抽真空装置的制作方法

[0001]
本实用新型涉及靶材生产的技术领域，特别是涉及一种靶材塑封用抽真空装置。


背景技术：

[0002]
众所周知，一种靶材塑封用抽真空装置是一种用于成品靶材进行塑封过程中抽真空的辅助装置，其在靶材生产的领域中得到了广泛的使用；镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。所以其成品对于表面保护要求较高，需要进行塑封保护处理。


技术实现要素：

[0003]
为解决上述技术问题，本实用新型提供一种使靶材在有真空塑封的条件下保持良好的状态，便于后续运输等操作，提高可靠性的一种靶材塑封用抽真空装置。
[0004]
本实用新型的一种靶材塑封用抽真空装置，包括真空机框架、真空工作槽、盖板合页、盖板、盖板把手架、压块、分隔块、间隙块、热塑块、抽气头、抽气管、抽气气泵、排气泵和排气栅，真空机框架顶端设置有真空工作槽，真空工作槽底端中后侧与热塑块底端相连接，真空机框架顶端的真空工作槽后侧与盖板合页一端相连接，盖板合页另一端与盖板下侧端中部相连接，盖板外端上部中侧与盖板把手架内端相连接，盖板把手架上设置有盖板把手套，盖板内端下部中侧与压块内端相连接，压块外端与间隙块内端可滑动相连接，盖板内端的压块两侧分别与一组分隔块内端相连接，真空工作槽底端中后部与热塑块底端相连接，真空工作槽底端后部与抽气头顶端相接，抽气头底端与抽气管顶端相连通，抽气气泵底端与真空机框架内部底端后侧相连接，抽气管输出端与抽气气泵输入端相连接，抽气气泵输出端与排气泵输入端相连接，真空机框架后端下部与排气栅内端相连接，排气泵输出端与排气栅相连通。
[0005]
本实用新型的一种靶材塑封用抽真空装置，还包括盖板玻璃，盖板外端下部与盖板玻璃内端相连接。
[0006]
本实用新型的一种靶材塑封用抽真空装置，还包括照明灯，真空工作槽内部左右侧前端分别与一组照明灯内端相连接。
[0007]
本实用新型的一种靶材塑封用抽真空装置，还包括门板合页、门板、门把杆和把球，真空机框架右端下部设置有开口，开口前端与门板合页一端相连接，门板合页另一端与门板左侧端中部相连接，门板前端中上部与门把杆内端相连接，门把杆外端与把球内端相连接。
[0008]
本实用新型的一种靶材塑封用抽真空装置，还包括锁孔环、锁轴和锁片，锁孔环内端与门板前端中下部可转动相连接，锁轴前端与门板后端中下部可转动相连接，锁轴后端与锁片前端左侧相连接。
[0009]
本实用新型的一种靶材塑封用抽真空装置，还包括转轴、轮盒和滚轮，真空机框架底端四个角侧分别与一组转轴顶端相连接，每组转轴底端分别与一组轮盒顶端中部可转动相连接，每组轮盒内端分别与一组滚轮两端可转动相连接。
[0010]
本实用新型的一种靶材塑封用抽真空装置，还包括刹车片和踩片，后侧两组刹车片顶端分别与一组轮盒内端上部活动相连接，刹车片后端与踩片前端中部相连接。
[0011]
本实用新型的一种靶材塑封用抽真空装置，还包括把手架和把手杆，真空机框架后端上部左右侧分别与一组把手架前端相连接，两组把手架后端分别与把手杆前端左右侧相连接。
[0012]
与现有技术相比本实用新型的有益效果为：首先将靶材放置在塑料包装袋里，之后将其放置在真空工作槽内端的前腔内，并使封口置在热塑块顶端，然后使间隙块处于伸出状态，然后握持盖板把手架将盖板在盖板合页的约束下下压，使间隙块接触到热塑块顶端，跟塑封口留出部分间隙，并使分隔块咬合热塑块两端，将前后腔完全分开，之后启动抽气气泵，将靶材包装袋内的空气由抽气管到抽气气泵的顺序，最后由排气栅排出，使内部形成真空后，间隙块缩回，热塑块加热将袋口塑封，使靶材在有真空塑封的条件下保持良好的状态，便于后续运输等操作，提高可靠性。
附图说明
[0013]
图1是本实用新型的结构示意图轴视图；
[0014]
图2是本实用新型的结构示意图前视图；
[0015]
图3是本实用新型的结构示意图右视图；
[0016]
图4是本实用新型的结构示意图右剖视图；
[0017]
附图中标记：1、真空机框架；2、真空工作槽；3、盖板合页；4、盖板；5、盖板把手架；6、盖板把手套；7、压块；8、分隔块；9、间隙块；10、热塑块；11、抽气头；12、抽气管；13、抽气气泵；14、排气管；15、排气栅；16、盖板玻璃；17、照明灯；18、门板合页；19、门板；20、门把杆；21、把球；22、锁孔环；23、锁轴；24、锁片；25、转轴；26、轮盒；27、滚轮；28、刹车片；29、踩片；30、把手架；31、把手杆。
具体实施方式
[0018]
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
[0019]
如图1至图4所示，本实用新型的一种靶材塑封用抽真空装置，包括真空机框架1、真空工作槽2、盖板合页3、盖板4、盖板把手架5、压块7、分隔块8、间隙块9、热塑块10、抽气头11、抽气管12、抽气气泵13、排气泵14和排气栅15，真空机框架1顶端设置有真空工作槽2，真空工作槽2底端中后侧与热塑块10底端相连接，真空机框架1顶端的真空工作槽2后侧与盖板合页3一端相连接，盖板合页3另一端与盖板4下侧端中部相连接，盖板4外端上部中侧与盖板把手架5内端相连接，盖板把手架5上设置有盖板把手套6，盖板4内端下部中侧与压块7内端相连接，压块7外端与间隙块9内端可滑动相连接，盖板4内端的压块7两侧分别与一组分隔块8内端相连接，真空工作槽2底端中后部与热塑块10底端相连接，真空工作槽2底端后部与抽气头11顶端相接，抽气头11底端与抽气管12顶端相连通，抽气气泵13底端与真空机
框架1内部底端后侧相连接，抽气管12输出端与抽气气泵13输入端相连接，抽气气泵13输出端与排气泵14输入端相连接，真空机框架1后端下部与排气栅15内端相连接，排气泵14输出端与排气栅15相连通；首先将靶材放置在塑料包装袋里，之后将其放置在真空工作槽2内端的前腔内，并使封口置在热塑块10顶端，然后使间隙块9处于伸出状态，然后握持盖板把手架5将盖板4在盖板合页3的约束下下压，使间隙块9接触到热塑块10顶端，跟塑封口留出部分间隙，并使分隔块8咬合热塑块10两端，将前后腔完全分开，之后启动抽气气泵13，将靶材包装袋内的空气由抽气管12到抽气气泵13的顺序，最后由排气栅15排出，使内部形成真空后，间隙块9缩回，热塑块10加热将袋口塑封，使靶材在有真空塑封的条件下保持良好的状态，便于后续运输等操作，提高可靠性。
[0020]
本实用新型的一种靶材塑封用抽真空装置，还包括盖板玻璃16，盖板4外端下部与盖板玻璃16内端相连接；通过盖板玻璃16方便观察内部情况，判断塑封质量，提高便利性。
[0021]
本实用新型的一种靶材塑封用抽真空装置，还包括照明灯17，真空工作槽2内部左右侧前端分别与一组照明灯17内端相连接；通过照明灯17可以对内部进行照明，便于观察，提高便利性。
[0022]
本实用新型的一种靶材塑封用抽真空装置，还包括门板合页18、门板19、门把杆20和把球21，真空机框架1右端下部设置有开口，开口前端与门板合页18一端相连接，门板合页18另一端与门板19左侧端中部相连接，门板19前端中上部与门把杆20内端相连接，门把杆20外端与把球21内端相连接；通过开口方便对真空机框架1内部进行维修保养，且由门板19关闭对内部进行保护，通过握持把球21方便在门板合页18的约束下对门板19进行开闭，提高便利性。
[0023]
本实用新型的一种靶材塑封用抽真空装置，还包括锁孔环22、锁轴23和锁片24，锁孔环22内端与门板19前端中下部可转动相连接，锁轴23前端与门板19后端中下部可转动相连接，锁轴23后端与锁片24前端左侧相连接；锁孔环22在插入钥匙获得权限后可以拧动锁轴23转动，使锁片24对门板19进行锁定，提高可靠性。
[0024]
本实用新型的一种靶材塑封用抽真空装置，还包括转轴25、轮盒26和滚轮27，真空机框架1底端四个角侧分别与一组转轴25顶端相连接，每组转轴25底端分别与一组轮盒26顶端中部可转动相连接，每组轮盒26内端分别与一组滚轮27两端可转动相连接；通过转轴25、轮盒26和滚轮27实现设备的支撑功能，另外在转轴25的转向以及滚轮27的转动下，实现设备移动功能，提高实用性。
[0025]
本实用新型的一种靶材塑封用抽真空装置，还包括刹车片28和踩片29，后侧两组刹车片28顶端分别与一组轮盒26内端上部活动相连接，刹车片28后端与踩片29前端中部相连接；踩压踩片29可以使刹车片28对滚轮27进行刹止，以保持其固定，提高可靠性。
[0026]
本实用新型的一种靶材塑封用抽真空装置，还包括把手架30和把手杆31，真空机框架1后端上部左右侧分别与一组把手架30前端相连接，两组把手架30后端分别与把手杆31前端左右侧相连接；通过握持把手杆31方便人对设备的推动，提高便利性。
[0027]
本实用新型的一种靶材塑封用抽真空装置，其在工作时，首先将靶材放置在塑料包装袋里，之后将其放置在真空工作槽2内端的前腔内，并使封口置在热塑块10顶端，然后使间隙块9处于伸出状态，然后握持盖板把手架5将盖板4在盖板合页3的约束下下压，使间隙块9接触到热塑块10顶端，跟塑封口留出部分间隙，并使分隔块8咬合热塑块10两端，将前
后腔完全分开，之后启动抽气气泵13，将靶材包装袋内的空气由抽气管12到抽气气泵13的顺序，最后由排气栅15排出，使内部形成真空后，间隙块9缩回，热塑块10加热将袋口塑封。
[0028]
本实用新型的一种靶材塑封用抽真空装置，其安装方式、连接方式或设置方式均为常见机械方式，只要能够达成其有益效果的均可进行实施；本实用新型的一种靶材塑封用抽真空装置的抽气气泵13为市面上采购，本行业内技术人员只需按照其附带的使用说明书进行安装和操作即可。
[0029]
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。