导热片的制造方法

导热片的制造方法
【专利摘要】一种包含进行了结合的多片薄膜的导热片的制造方法，其包含：至少准备具有基材以及设于该基材上的含有导热性粒子和热固性树脂的薄膜的、第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜，使前述第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜各自的前述薄膜相接触，配置于相对配置而成对的第一辊和第二辊的辊间，使前述成对的第一辊和第二辊旋转，从而在前述薄膜的膜厚方向上施加压力，并使第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜重合地进行输送。
【专利说明】导热片的制造方法

【技术领域】
[0001] 本发明涉及导热片的制造方法。

【背景技术】
[0002]在电力控制设备、信息通信设备等电子设备中，大容量化、高性能化和小型化不断 推进，前述电子设备中搭载的电子部件安装的高密度化显著。随着电子部件的大容量化和 安装的高密度化，来自电子部件的发热量增加，从确保电子设备的工作稳定性和降低对环 境的负荷的观点出发，确保前述电子部件的散热性变得越来越重要。
[0003]作为确保前述电子部件的散热性的手段，主要使用散热器、散热片等。这些散热 器、散热片等中，多数情况下使用导热性良好的铜、铝等，因此，对于将前述电子部件与散热 器、散热片等接合的导热片，要求绝缘性和导热性这两种性能。作为前述导热片，以往主要 使用氧化铝、氧化锆等的陶瓷片。另一方面，最近，在热固性树脂那样的有机材料中填充有 导热率高的导热性粒子的复合系材料导热片由于具有高的导热性和绝缘性并且兼有粘接 性而受到关注。
[0004] 在有机材料中填充有导热率高的导热性粒子的复合系材料导热片中，导热片的导 热性根据导热性粒子在有机材料中的分散状态而改变。此外，片内部的气泡残留或片表面 的平滑性也对导热片的绝缘性产生影响。除了有机材料的流动性、有机材料与导热性热粒 子的密合性等材料特性对导热性粒子的分散状态、片内部的气泡残留和片表面的平滑性产 生影响以外，导热片的制造方法也是重要的影响因素。导热片的制造方法中，被认为特别重 要的工序是在导热片的膜厚方向上施加压力的工序。
[0005] 作为在薄膜的膜厚方向上施加压力的方法，例如，有对将含有无机填料和热固性 树脂的绝缘组合物成型为片状而获得的绝缘片进行热压的制造方法（例如，参照日本特开 2009-130251号公报）。此外，还有将环氧树脂、固化剂和具有无机填料的树脂组合物夹持 于2片支撑膜之间并使其通过辊压机的上下辊间从而成型为片状的制造方法（例如，参照 日本特开2011-90868号公报）。


【发明内容】

[0006] 发明所要解决的课题
[0007] 然而，在如日本特开2〇〇9-130251号公报所示的制造方法那样使用间歇式平板压 机作为热压机的情况下，有时难以在加压面内均匀地赋予压力，有时会产生大的压力不均。 如果产生压力不均，则难以使填充在有机材料中的粒子高精度地分散，此外，片内部容易残 留气泡。进而，难以确保片表面的平滑性。通过这样的方法获得的片就导热性或绝缘性的 观点而言不能说是充分的。
[0008] 另一方面，在日本特开2011-90868号公报所示的制造方法的情况下，将树脂组合 物夹持于上面的支撑膜与下面的支撑膜之间，因此，容易在支撑膜间卷入气泡，在通过后续 工序的辊压机成型为片时，前述卷入的气泡容易残留在片内。进而，容易在片的膜厚方向上 产生贯穿针孔。与上述同样地，通过这样的方法获得的片就导热性或绝缘性的观点而言不 能说是充分的。
[0009] 鉴于前述那样的现有技术的问题点，本发明的目的在于，提供一种兼具高的导热 性和绝缘性的导热片的制造方法。
[0010] 用于解决课题的方法
[0011] 本发明如下所述。
[0012] [1] 一种包含进行了结合的多片薄膜的导热片的制造方法，其包含：至少准备具 有基材以及设于该基材上的含有导热性粒子和热固性树脂的薄膜的、第一带有基材的薄膜 和第二带有基材的薄膜；使前述第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜各自的前述薄 膜相接触，配置于相对配置而成对的第一辊和第二辊的辊间；使前述成对的第一辊和第二 辊旋转，从而在前述薄膜的膜厚方向上施加压力，并使第一带有基材的薄膜和第二带有基 材的薄膜重合地进行输送。
[0013] [2]根据[1]记载的导热片的制造方法，在与前述第一辊和前述第二辊的旋转轴 垂直的平面上将前述第一辊和前述第二辊以及前述第一带有基材的薄膜和第二带有基材 的薄膜切断而成的截面中，将连接前述第一带有基材的薄膜与前述第一辊接触的区域中的 前述第一辊的旋转方向的最上游侧的点与前述第一辊的中心点的直线设为直线A、将连接 前述第二带有基材的薄膜与前述第二辊接触的区域中的前述第二辊的旋转方向的最上游 侧的点与前述第二辊的中心点的直线设为直线B、将连接前述第一辊的中心点与第二辊的 中心点的直线设为直线C时，直线A与直线C所成的角度和直线B与直线C所成的角度中 的至少一方为大于或等于30°且小于或等于135。。
[0014] [3]根据[1]或[2]记载的导热片的制造方法，在将薄膜的每单位面积的质量相对 于膜厚等于膜厚设计值的导热片的每单位面积的质量的倍率设为薄膜的质量倍数时，前述 薄膜的每单位面积的质量满足以下的式α)。
[0015] [数 1]
[0016] 0.6 1.2 ^~<薄膜的质量倍数< γ… _7](式中，η表示薄膜的片数，表示大于或等于2的整数。）
[0018] [4]根据⑴?[3]中任一项记载的导热片的制造方法，配置于前述第一辊与前述 第二辊间之前的前述薄膜的残留挥发成分为该薄膜的总质量的大于或等于〇. 3质量％且 小于或等于1.2质量％。
[0019] [5]根据[1]?[4]中任一项记载的导热片的制造方法，前述第一辊和第二辊的表 面温度均为大于或等于60°C且小于或等于ii(TC。
[0020] [6]根据[1]?[5]中任一项记载的导热片的制造方法，前述第一带有基材的薄膜 和第二带有基材的薄膜的输送速度为大于或等于〇· 01m/分钟且小于或等于2m/分钟。
[0021] [7]根据[l·]?[6]中任一项记载的导热片的制造方法，由前述第一辊和第二辊施 加在前述薄膜的膜厚方向上的线压为大于或等于10kN/m且小于或等于350kN/m。
[0022] [8]根据[1]?[7]中任一项记载的导热片的制造方法，前述导热片的下述式（2) 所不的膜厚减少率为大于或等于50%且小于或等于95%。
[0023] [数 2]
[0024] 导熟片的膜厚 膜厚雜率(％ )膜的合计縦X 100…⑵。
[0025] [9]根据[1]?[8]中任一项记载的导热片的制造方法，将第一带有基材的薄膜和 第二带有基材的薄膜的通过了前述成对的第一辊和前述第二辊的辊间的部分配置于构成 与前述第一辊和前述第二辊的辊间不同的辊间的一对辊的辊间，并在前述薄膜的膜厚方向 上对该部分施加压力。
[0026] [10]根据[1]?[9]中任一项记载的导热片的制造方法，前述热固性树脂为液态 环氧树脂。
[0027] [11]根据[1]?[10]中任一项记载的导热片的制造方法，前述导热性粒子含有至 少3种体积平均粒径不同的填料。
[0028] [12] -种导热片，其通过[1]?[11]中任一项记载的导热片的制造方法来制造。
[0029] [13] -种带有金属箔的导热片，在[12]记载的导热片上设有金属箱。
[0030] [14] -种半导体装置，其包含[I3]记载的带有金属箔的导热片。
[0031] 发明的效果
[0032]根据本发明的导热片的制造方法，能够获得兼具高的导热性和绝缘性的导热片。

【专利附图】

【附图说明】
[0033] 图1A为表示本发明涉及的带有基材的薄膜的一例的概略截面图。
[0034] 图1B为表示本发明涉及的带有基材的薄膜层叠体的一例的概略截面图。
[0035] 图2为对在成对辊的辊间配置2片带有基材的薄膜并加压的方法进行说明的概略 概念图。
[0036]图3A为对将2片带有基材的薄膜配置于2根辊间并使之重合从而获得带有基材 的薄膜层叠体的状态进行说明的概略立体图。
[0037] 图3B为将图3A中2片带有基材的薄膜和2根辊在与辊的旋转轴垂直的平面上切 断时的截面图。
[0038] 图4为能够适用于本发明涉及的制造方法的具备2根辊的制造装置的概略图。 [0039] 图5为能够适用于本发明涉及的制造方法的具备3根辊的制造装置的部分概略 图。
[0040] 图6为能够适用于本发明涉及的制造方法的具备4根辊的制造装置的部分概略 图。
[0041] 图7为能够适用于本发明涉及的制造方法的具备4根辊的另一制造装置的概略 图。

【具体实施方式】
[0042] 本发明涉及的导热片的制造方法为包含进行了结合的多片薄膜的导热片的制造 方法，其包含：至少准备具有基材以及设于该基材上的含有导热性粒子和热固性树脂的薄 膜的、第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜；使前述第一带有基材的薄膜和第二带 有基材的薄膜各自的前述薄膜相接触，配置于相对配置而成对的第一辊和第二辊的辊间； 使前述成对的第一辊和第二辊旋转，从而在前述薄膜的膜厚方向上施加压力，并使第一带 有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜重合地进行输送。
[0043] 前述导热片的制造方法中，通过采用上述构成，能够抑制使前述第一带有基材的 薄膜和第二带有基材的薄膜重合时片表面的压力分布的扩大。其结果是，能够抑制包含进 行了结合的多片前述薄膜的导热片的导热性、绝缘性等特性在片内的参差不齐。
[0044] 此外，本发明中，对于第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜，使各自的前述 薄膜相接触地配置于前述成对的第一辊和第二辊间后，使前述成对的第一辊和第二辊旋 转，从而在前述薄膜的膜厚方向上施加压力。这样，在施加各自的前述薄膜的膜厚方向的力 的同时，在与膜厚方向垂直的方向（面内方向）上也施加剪切力。其结果是，构成前述薄膜 的树脂产生朝向前述薄膜的面内方向的流动性。由于该树脂的朝向前述薄膜的面内方向的 流动性而发挥树脂内部残留的气泡向成为辊的旋转方向上游侧的前述薄膜的外部排除的 作用，因此，能够减少树脂内部残留的气泡量。
[0045] 进而，对于导热片，使至少2片带有基材的薄膜的前述薄膜彼此接触并重合，因而 能够抑制在前述薄膜的膜厚方向上施加压力后产生贯穿片的膜厚方向的针孔。
[0046]因此，通过本发明的制造方法获得的导热片能够兼具高的导热性和绝缘性。
[0047] 此外，本发明的导热片的制造方法可以优选为下述包含进行了结合的多片薄膜的 导热片的制造方法，所述制造方法包含：至少准备具有基材以及设于该基材上的含有导热 性粒子和热固性树脂的薄膜的、第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜，将前述第一 带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜以分开的状态配置于第一辊和第二辊相对的一对 辊的旋转方向上游侧，使前述第一带有基材的薄膜的基材侧面接触并沿着前述第一辊的外 周面，使前述第二带有基材的薄膜的基材侧面接触并沿着前述第二辊的外周面，在连接至 少前述第一辊与前述第二辊的中心轴的线上，使前述第一带有基材的薄膜和前述第二带有 基材的薄膜中各自的前述薄膜接触地配置于前述一对辊之间，使前述一对辊旋转，从而在 前述薄膜的膜厚方向上施加压力，并使第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜重合地 进行输送。
[0048] 这样，能够更确实地获得兼具高的导热性和绝缘性的导热片。
[0049]另外，对于本发明中的前述第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜，使各自 的前述薄膜接触地配置于第一辊和第二辊的辊间时，第一带有基材的薄膜和第二带有基材 的薄膜可以在不损害发明效果的范围内具有不接触第一辊或第二辊的周面的部分。作为不 接触前述第一辊或第二辊的周面的部分，可以列举例如第一带有基材的薄膜、第二带有基 材的薄膜或它们两者的宽度方向的端部。此外，对于本发明中的前述第一带有基材的薄膜 和第二带有基材的薄膜，使各自的前述薄膜相接触地配置于第一辊和第二辊的辊间时，第 一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜优选以宽度方向的整个区域与第一辊或第二辊 的周面相对的方式被夹持于第一辊和第二辊之间。
[0050] 本发明中的"薄膜"一词的意思是在向基材上赋予能够形成薄膜的材料而获得的 复合构件之中，由能够形成薄膜的材料形成的部分。
[0051] 本发明中的导热片的制造方法的另一方式也可以为多片薄膜层叠而成的导热片 的制造方法，所述制造方法包含：至少准备具有基材以及设于该基材上的含有导热性粒子 和热固性树脂的薄膜的、第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜，使前述第一带有基 材的薄膜和第二带有基材的薄膜各自的前述薄膜相接触，夹持于第一辊和第二辊相对的一 对棍之间，使前述一对棍旋转，从而在前述薄膜的膜厚方向上施加压力，并使第一带有基材 的薄膜和第二带有基材的薄膜重合地进行输送。
[0052] 本发明中"工序"一词不仅包含独立的工序，即使在无法明确地与其他工序相区别 的情况下，只要可实现本工序所期望的目的，就包含在本用语中。
[0053] 此外，本发明中用"?"表示的数值范围表示包含"?"前后记载的数值分别作为 最小值和最大值的范围。
[0054] 此外，本发明中，关于组合物中各成分的量，在组合物中存在多种对应于各成分的 物质的情况下，只要没有特别指明，则是指组合物中存在的该多种物质的合计量。
[0055] 以下对本发明进行说明。
[0056] <导热片的制造方法>
[0057] 本发明的导热片的制造方法包含下述工序：至少准备具有基材以及设于该基材上 的含有导热性粒子和热固性树脂的薄膜的、第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜， 使前述第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜各自的前述薄膜相接触，配置于相对配 置而成对的第一棍和第二規之间，使前述成对的第一棍和第二辅旋转，从而在前述薄膜的 膜厚方向上施加压力，并使第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜重合地进行输送， 根据需要，还可以包含其他工序。
[0058]本发明中，导热片包含进行了结合的多片薄膜。"进行了结合的"意思是多片薄膜 在该薄膜的膜厚方向上结合并密合从而构成了导热片，除了存在薄膜彼此的界面的情况以 夕卜，还包含界面消失而一体化的情况。
[0059] 构成导热片的多片薄膜的数量没有特别限制，可以是使3片以上薄膜重合而成的 导热片。在使用3片以上薄膜制造导热片的情况下，使2片带有基材的薄膜重合后，将任一 方的基材剥离，对于基材被剥离而露出了表面的薄膜，以使薄膜重合的方式使带有基材的 薄膜重合，通过重复上述工序，能够获得包含3片以上薄膜的导热片。以下，只要没有特殊 指明，则以包含2片薄膜的导热片为例进行说明。
[0060]根据使用方式、操作等，导热片可以包含前述薄膜以外的构成要素。作为其他构成 要素，可以列举基材、保护膜、金属箔等，这些构成要素可以配置在导热片的一面或另一面 的一部分或整个面上。
[0061 ]另外，本说明书中"薄膜层叠体"是指存在于使多片带有基材的薄膜或带有基材和 保护膜的薄膜重合而获得的层叠体中的多片薄膜的结合体。图1B中，显示包含薄膜层叠体 4的带有基材的薄膜层叠体5的概略截面图。不过，虽然称为薄膜"层叠体"，但除了薄膜层 叠体中存在薄膜彼此的界面的情况以外，还包含界面消失而一体化的情况。
[0062](准备带有基材的薄膜）
[0063]首先，准备至少2片带有基材的薄膜。带有基材的薄膜具有基材和设于该基材上 的薄膜。前述薄膜含有导热性粒子和热固性树脂。带有基材的薄膜可以作为市售品购入， 也可以在基材上设置前述薄膜进行制作而获得。
[0064]图1A中显示表示第一带有基材的薄膜3A的一例的概略截面图。第一带有基材的 薄膜3A由基材1A和薄膜2A构成。第二带有基材的薄膜3B (未图示）也由基材1B和薄膜 2A构成。
[0065] 在制作带有基材的薄膜而进行准备的情况下，只要能够制造含有导热性粒子和热 固性树脂的薄膜，对其制造方法就没有特别限定，可以应用一般的制造方法。例如可以列举 包含下述操作的带有基材的薄膜的制作方法：在基材上赋予含有导热性粒子和热固性树脂 的树脂组合物而形成前述薄膜。其他带有基材的薄膜的制作方法例如包含下述操作：在含 有导热性粒子和热固性树脂的树脂组合物中添加溶剂而调制清漆，将获得的清漆涂布在基 材上，通过加热从基材上的清漆中除去溶剂。这样，能够制作基材上配置有薄膜的状态的带 有基材的薄膜。关于前述树脂组合物等的用于制造导热片的各成分，在下文中描述。此外， 关于使用前述树脂组合物制作用于形成导热片的薄膜2A的方法，也在下文中描述。
[0066] 前述薄膜3A、3B优选为构成薄膜的热固性树脂的反应率小于40%的薄膜。前述反 应率例如可以由用DSC (差示扫描量热仪）测定的热量算出。
[0067] 本发明中，准备的2片带有基材的薄膜3A、3B可以为彼此相同的材质，也可以为 彼此不同的材质。作为材质不同的2片带有基材的薄膜3A、3B组合的例子，可以列举：基 材ΙΑ、1B的种类各不相同的例子，基材1A、1B的与薄膜相对的面的润湿性不同的例子，薄膜 2A、2B所含的成分或组成比不同的例子，基材1A、1B的膜厚不同的例子，薄膜2A、2B的膜厚 不同的例子等。从获得的导热片的膜厚方向上的导热性等的观点出发，优选2片带有基材 的薄膜3A、3B具有彼此相同材质的薄膜2A、2B，更优选为相同材质且相同膜厚的薄膜2A、 2B。此外，如果考虑在后续工序中由一对辊施加压力，则优选2片带有基材的薄膜3A、3B中 分别具有相同材质的基材1A、1B，更优选具有相同材质和相同膜厚的基材1A、1B。
[0068] 优选像以下那样确定2片带有基材的薄膜3A、3B中各自的薄膜2A、2B的膜厚。
[0069] 本发明中，导热片的导热性和绝缘性根据导热片的膜厚不同而变化，因而优选以 导热片表现期望的导热性和绝缘性的方式确定导热片的膜厚。将这样确定的导热片的膜厚 定义为"膜厚设计值"。进而，将膜厚等于膜厚设计值的导热片的每单位面积（100cm 2)的质 量定义为"质量设计值"。将薄膜的每单位面积（l〇〇cm2)的质量相对于该质量设计值所具 有的倍率定义为薄膜的质量倍数。
[0070] 构成前述导热片的多片薄膜的、各薄膜的质量倍数优选满足以下的式（1)。式（1) 中，η表示为了制作前述导热片而准备的薄膜的片数，表示大于或等于2的整数。另外，关于 薄膜的质量倍数，为了制作1片导热片而准备的多片薄膜彼此可以相同也可以不同。为了 使获得的导热片容易表现期望的导热性、绝缘性等，优选多片薄膜彼此质量倍数相同。另一 方面，为了使作为导热片的导热性等相对于膜厚方向发生变化，优选多片薄膜彼此质量倍 数不同。此外，使用多片薄膜获得的导热片的膜厚可以设为膜厚设计值的0. 8倍?1. 2倍， 就能够高准确度地表现导热性的观点而言，优选为〇· 8倍?1倍。使用多片薄膜获得的导 热片的每单位面积（100cm2)的质量可以设为质量设计值的0.8倍?1.2倍，就能够高准确 度地表现导热性的观点而言，优选为〇. 8倍?1倍。
[0071] [数 3]
[0072] 0.6 1.2 γ <薄膜的质量倍数< Y…f U JTl· f I
[0073] 前述薄膜的质量倍数在大于或等于上述式（1)的下限值的情况下，存在使导热片 的绝缘性为期望值的倾向，另一方面，前述薄膜的质量倍数为小于或等于上述式（1)的上 限值的情况下，存在使导热片的导热率为期望值的倾向，因此分别优选。
[0074] 具体而言，在前述导热片由2片薄膜2A、2B形成的情况下，为了使前述导热片表现 期望的导热性和绝缘性，优选薄膜的质量倍数为大于或等于〇· 3倍且小于或等于0. 6倍，更 优选为大于或等于〇· 4δ倍且小于或等于0· 55倍。如果为大于或等于0· 3倍，则存在导热 片的绝缘性成为期望值的倾向，另一方面，如果为小于或等于0.6倍，则存在导热片的导热 率成为期望值的倾向，故而优选。此外，在前述导热片由3片前述薄膜构成的情况下，优选 薄膜的质量倍数为大于或等于〇. 2倍且小于或等于0· 4倍，更优选为大于或等于0. 3倍且 小于或等于0.35倍。
[0075] 进而，为了使前述导热片更稳定地表现期望的导热性和绝缘性，优选实际的导热 片的膜厚相对于前述膜厚设计值为大于或等于〇. 9倍且小于或等于1. 1倍，更优选为大于 或等于0· 95倍且小于或等于1. 05倍。与之对应，在前述导热片由2片薄膜2A、2B形成的 情况下，优选薄膜的质量倍数为大于或等于0. 3倍且小于或等于0· 6倍。此外，在前述导热 片由3片以上前述薄膜形成的情况下，薄膜的质量倍数可以设为前述式（1)所示范围的数 值。
[0076] 作为基材的平均膜厚，在获得使带有基材的薄膜3A、3B重合而获得的带有基材的 薄膜层叠体5时，从容易对带有基材的薄膜层叠体5内部的薄膜层叠体4施加膜厚方向上 的压力等观点出发，优选为大于或等于5μηι且小于或等于500 μηι，更优选为大于或等于 10 μ m且小于或等于300 μ m。如果为大于或等5 μ m或小于或等于500 μ m，则容易避免刚性 过小而难以输送的倾向，如果为小于或等于500 μ m，则容易避免刚性过大而难以输送的倾 向。
[0077] 其中，前述薄膜的平均膜厚和基材的平均膜厚设为使用千分尺对薄膜和基材的表 面进行数点（例如10点）测定所得到的值的算术平均。
[0078] 配置于前述第一辊和前述第二辊的辊间之前的前述薄膜2A、2B的残留挥发成分 优选为大于或等于〇. 3质量％且小于或等于1. 2质量％，更优选为大于或等于0. 5质量％ 且小于或等于1. 〇质量％。如果前述残留挥发成分为大于或等于〇· 3质量％，则存在如下 倾向：对使带有基材的薄膜3A、3B重合而获得的带有基材的薄膜层叠体5在其膜厚方向上 施加压力后，容易确保带有基材的薄膜层叠体5中的薄膜层叠体4能够不发生破裂地卷绕 在卷芯上的弯曲性。另一方面，如果前述残留挥发成分为小于或等于1.2质量％，则存在如 下倾向：即使对在由带有基材的薄膜层叠体5制作的导热片上设有金属箔的带有金属箔的 导热片或包含该带有金属箔的导热片的半导体装置进行加热，也难以发生界面膨胀。其中， 薄膜的残留挥发成分是作为在常压下进行了 180°C 1小时的干燥处理时每单位面积（例如， 在将前述薄膜设为5cmX5cm时的面积25cm2)的质量减少率求出的值。
[0079] 另外，关于所准备的带有基材的薄膜3A、3B，根据需要，在薄膜3A、3B的未配置基 材1A、1B的表面上还可以具有用于防止附着的保护膜。在准备了这样的带保护膜的带有基 材的薄膜时，可以在即将使用之前将保护膜剥离而使用。作为保护膜没有特别限制，可以使 用与基材1A、1B同样的保护膜。
[0080] (由一对辊进行的加压）
[0081] 使上述所准备的前述带有基材的薄膜3A和带有基材的薄膜3B各自的薄膜2A、2B 相接触，配置于相对配置而成对的第一辊和第二辊的辊间。然后，使前述成对的辊旋转，从 而在前述薄膜的膜厚方向上施加压力，并使带有基材的薄膜3A和带有基材的薄膜3B重合 地进行输送。另外，如后所述，从薄膜2A、2B的表面的平滑性和减少薄膜2A、2B内的气泡的 观点出发，优选上述第一辊和第二辊的表面被加热。其中，有时将相对配置而成对的第一辊 和第二辊总称为"一对辊"。
[0082]以下，以通过一对辊制造2片带有基材的薄膜3A、3B的情况为例，参照附图对本发 明的制造方法进行说明，但本发明不限定于此。
[0083]图2为对在一对辊之间配置2片带有基材的薄膜M、3B并加压的方法进行说明的 概略概念图。图2中显示的是与辊的旋转轴垂直的平面、且将辊和2片带有基材的薄膜3A、 3B切断而成的截面。
[0084] 如图2所示，2片带有基材的薄膜：3A、3B之中，带有基材的薄膜3A优选一边使基材 1A侧接触第一辊12A的外周面一边被导向辊间，带有基材的薄膜油优选一边使基材1B侧 接触第二辊12B的外周面一边被导向辊间。这样，带有基材的薄膜3A的薄膜2A和带有基 材的薄膜3B的薄膜2B被配置在不与第一辊12A和第二辊12B接触的一侧。此外，还可以 将带有基材的薄膜3A和带有基材的薄膜3B以由第一辊12A和第二辊12B的直径确定的距 离分开配置，并且利用第一辊12A和第二辊12B的旋转以稳定的速度导向辊间。
[0085] 如果第一辊12A和第二辊12B各自在旋转方向（箭头R、R'）上旋转，则在连接第 一辊1放与第二辊1?的中心轴的直线X-X'上，带有基材的薄膜3A和带有基材的薄膜3B 被配置在第一辊12A和第二辊12B之间。在此，使带有基材的薄膜3A的薄膜2A和带有基 材的薄膜3B的薄膜 2B重合并且对各薄膜2A、2B在膜厚方向上施加压力。
[0086] 通过对该薄膜2A、2B施加膜厚方向上的压力，从而在薄膜的面内方向上施加剪切 力，薄膜2A、2B内部的树脂产生流动性。这样，薄膜2A、2B内部的气泡在第一辊12A和第二 辊12B各自的旋转方向上游侧被挤出。在薄膜2A、2B在第一辊12A和第二辊12B的旋转方 向上游侧分开的情况下，薄膜2A、 2B内部的气泡容易在第一辊12A和第二辊12B各自的旋 转方向上游侧被挤出。
[0087] 在带有基材的薄膜3A、3B被配置于第一辊12A和第二辊12B之间的状态下，如果 第一辊12A和第二辊12B旋转，则伴随于此，带有基材的薄膜3A、3B被输送并在直线X-X， 上通过。这样，能够在薄膜2A、2B的膜厚方向上依次施加大体相同的压力。通过对薄膜2A 和薄膜2B施加膜厚方向的压力，带有基材的薄膜3A、3B密合而形成带有基材的薄膜层叠体 5〇
[0088]由于这样使用第一辊1放和第二辊12B对带有基材的薄膜层叠体5中的薄膜2A、 2B在膜厚方向上施加压力，因此与使用平板压机的方法相比，能够提高压力分布的均匀性。 在如平板压机那样通过面接触施加压力的情况下，存在面的边缘部的压力比面的中央部更 高的倾向，难以确保面内的压力分布的均匀性。而在使用第一辊12A、第二辊12B的方法中， 通过第一辊1 2A与第二辊的线接触，能够使压力以线状集中，因而只要考虑压力分布为 线状即可，与平板压机相比压力分布的均匀性提高。其结果是，与平板压机相比，导热片的 面内的导热性、绝缘性等特性的参差减小。
[0089] 此外，由于对薄膜2A、2B在膜厚方向上施加压力并使其重合，因而能够抑制在带 有基材的薄膜层叠体5内的薄膜层叠体4中，作为导热片的绝缘性降低原因之一的贯穿针 孔的产生。这里，贯穿针孔是指在导热片两面贯穿的小直径的孔。
[0090] 进而，由于使薄膜2A、2B重合并在膜厚方向上施加压力，因而能够减少薄膜2A、2B 内部残留的气泡量。前述膜厚方向上的压力通过旋转的第一辊12A和第二辊12B来施加， 因此，对于带有基材的薄膜层叠体5中的薄膜层叠体4,在施加膜厚方向的力的同时，在与 膜厚方向垂直的方向上也施加剪切力。因此，发挥如下作用：构成薄膜层叠体4的薄膜2A、 2B中的热固性树脂的流动性提高，前述树脂内部残留的气泡随着前述树脂的流动而移动， 并被排除到薄膜层叠体4的外部。其结果是，能够减少薄膜层叠体4内部残留的气泡量，在 由减少了气泡量的薄膜层叠体4获得的导热片中，施加电压时的耐电压性即绝缘性提高。
[0091] 此外，通过对带有基材的薄膜层叠体5中的薄膜层叠体4施加膜厚方向的压力，能 够实现导热片表面的平滑化。如果在薄膜层叠体4的膜厚方向上施加压力，则在薄膜层叠 体4中的2片薄膜2A、2B与各自的基材ΙΑ、1B接触的面上，热固性树脂流动而产生追随基 材1表面的运动，因此薄膜2A、2B与各自的基材1A、1B密合的面（导热片表面）平滑化。
[0092] 在导热性粒子间存在大量导热性比导热性粒子更低的树脂的情况下，如果导热性 粒子间的间隔宽，则有时导热片的导热率会降低。本实施方式中，由于在重合之后不久的薄 膜层叠体4的膜厚方向上用辊施加压力，因而能够使存在于导热性粒子间的树脂流动，使 粒子的间隔变窄，从而提高导热片的导热率。
[0093] 由于使用第一辊12A、第二辊12B在带有基材的薄膜层叠体5的膜厚方向上施加压 力，因此能够简化用于获得带有保护膜的薄膜层叠体的准备所需的工序。即，如果将带有基 材和保护膜的薄膜7A、7B的卷一次装填于薄膜抽出用辊14A、14B上，则能够在从薄膜抽出 用辊14A、14B抽出到连续卷在卷绕用辊24上之间依次进行加压（参照图4)。另外，在对与 其相同面积的带有基材和保护膜的薄膜以平板压机那样的单片方式施加压力的情况下，需 要分别进行多次根据热盘大小切出带有基材和保护膜的薄膜的工序和将切出的薄膜配置 于热盘上的工序，因而变得繁杂。
[0094] 作为第一辊12A、第二辊12B的种类，可以列举例如金属材料的热轧加工和冷乳加 工中使用的辊。此外，为了进一步提高导热片的表面平滑性，也可以使用压延辊、压花辊、凹 版棍、清筛親、网纹棍（anilox roll)等棍。
[0095] 此外，关于第一辊12A、第二辊12B，只要是将表面制成曲面的圆筒或圆柱的形状， 轴方向的长度就没有特别限制，可以根据期望的前述薄膜的大小适当选择。
[0096] 第一辊12A、第二辊12B的直径根据期望的前述薄膜的大小适当选择。例如，就 辊与前述薄膜的接触时间的适当化的观点而言，优选设为大于或等于150cm且小于或等于 500cm，进一步优选设为大于或等于200cm且小于或等于450cm。如果接触时间适当，则例如 能够获得由第一辊12A、第二辊12B的表面温度带来的期望的预热效果。
[0097] 第一辊1放和第二辊12B的表面温度优选为大于或等于60°C且小于或等于 110°C，更优选为大于或等于70°C且小于或等于100°c。通过使第一辊12A和第二辊12B的 表面温度在前述范围内，存在下述倾向：在使薄膜 2A、2B的热固性树脂软化而使其具有流 动性时，表面变得容易平滑化，容易将薄膜2A、2B内部残留的气泡向外部除去，或容易使气 泡分散得细小。此外，如果第一辊12A和第二辊12B的表面温度为大于或等于6(TC，则存 在下述倾向：容易将薄膜2的热固性树脂的流动性确保为对于使薄膜平滑化而言充分的大 小。此外，如果第一辊12A和第二辊12B的表面温度为小于或等于 11(rC，贝丨j抑制前述热固 性树脂的固化进行，作为结果，存在下述倾向：容易将前述热固性树脂的流动性确保为对于 使薄膜平滑化而言充分的大小。
[0098]在将带有基材的薄膜3A、3B导向第一辊12A和第二辊12B的辊间时，优选使带有 基材的薄膜3A接触并沿着第一辊12A的外周面、带有基材的薄膜3B接触并沿着第二辊12B 的外周面。这样，能够在连接第一辊12A与第二辊12B的中心轴的直线X-X，上在薄膜2A、 2B的膜厚方向上施加了压力时，使薄膜2A、2B内的气泡容易向外部排出。此外，在第一辊 1放和第二辊12B的表面温度比带有基材的薄膜3A、3B的表面温度更高的情况下，可以利用 第一棍12A和第二棍12B的表面温度对带有基材的薄膜3A、3B进行加热。
[0099]关于带有基材的薄膜3A与第一辊12A的接触状态和带有基材的薄膜3B与第二辊 12B的接触状态，参照图3A、图3B进行说明。
[0100]如图3A和图3B所示，在通过与第一辊12A和第二辊12B的旋转轴13A、13B垂直 的平面26将第一辊12A和第二辊12B以及带有基材的薄膜M、3B切断的情况下形成的截 面（图邪）中，将连接带有基材的薄膜Μ与第一辊12A接触的区域中的第一辊12A的旋转 方向的最上游侧的点P与第一辊12A的旋转轴13A的直线设为直线A，将连接带有基材的 薄膜3B与第二辊12B接触的区域中的第二辊12B的旋转方向的最上游侧的点P'与第二辊 的旋转轴13B的直线设为直线B。将连接第一辊12A的旋转轴13A与第二辊12B的旋 转轴13B的直线设为直线C。将直线A与直线C所成的角度定义为夹角Θ，将直线B与直 线C所成的角度定义为夹角Θ'。
[0101] 关于夹角θ、Θ'，从薄膜2A、2B的前述树脂组合物的物性调节的观点出发，优选 夹角θ、θ'中的至少一方为大于或等于30°且小于或等于135°，更优选为大于或等于 45°且小于或等于90°。
[0102] 通过将夹角θ、Θ '设为大于或等于30°的角度，存在气泡容易从薄膜2Α、2Β向外 部排出的倾向。此外，在以同一输送速度进行比较的情况下，从第一辊12Α、第二辊12Β的表 面接受预热的时间不会过短。此外，在薄膜2Α、2Β的膜厚方向上施加了压力时，在压力集中 的部分附近，薄膜2Α、2Β中的树脂容易流动变形。另一方面，通过将夹角θ、Θ '设为小于 或等于135°，在以同一输送速度进行比较的情况下，薄膜2Α、2Β隔着基材1从第一辊12Α、 第二辊12Β的表面接受预热的时间不会过长。这样，利用第一辊12Α、第二辊12Β的表面温 度，存在能够抑制在薄膜2Α、2Β的膜厚方向上施加了压力时过度流动变形的倾向，此外，还 存在能够抑制薄膜2Α、2Β从基材1的两侧端部露出的倾向。
[0103] 另外，夹角θ、Θ，可以相同也可以不同。通过将夹角θ、Θ '设为相同，有如下 优点：在准备的2片带有基材的薄膜3Α、3Β为彼此相同材质的情况下，能够分别均匀地接受 预热。另一方面，通过设为不同的夹角θ、Θ '，有如下优点：在准备的2片带有基材的薄膜 3Α、3Β的材质不同的情况下，能够进行调节以接受适合各自材质的预热。
[0104] 第一辊12Α和第二辊12Β上的薄膜2Α、2Β的输送速度优选为大于或等于〇· 01m/ 分钟且小于或等于2m/分钟，更优选为小于或等于lm/分钟。如果前述薄膜的输送速度包 含在前述范围内，则有以下的优点。即，在第一辊12A和第二辊12B的表面温度比带有基材 的薄膜3A、3B的表面温度更高的情况下，在利用第一辊12A、第二辊12B在层叠之后不久的 带有基材的薄膜层叠体5的膜厚方向上施加压力时，热从第一辊 12A、第二辊12B的表面充 分传递至带有基材的薄膜层叠体5中的薄膜层叠体4 (参照图2)。其结果是，存在能够确保 导热片的平滑化所需的热固性树脂的流动性的倾向。另一方面，从导热片的特性的观点出 发，前述薄膜的输送速度的范围的下限没有必要特别限定，优选为能够在24小时内制作全 长100m的导热片的输送速度即大于或等于〇. 07m/min。
[0105]由第一辊12A和第二辊12B施加在薄膜层叠体4A、4B中的薄膜2A、2B的膜厚方向 上的线压优选为大于或等于10kN/m且小于或等于350kN/m，更优选为大于或等于20kN/m且 小于或等于l〇〇kN/m。如果前述线压为大于或等于 10kN/m，则能够确保将导热片的导热率 设为期望值所需的导热性粒子间的间隔。由此，存在能够抑制导热片的导热率降低的倾向。 此外，如果前述线压为小于或等于 35〇kN/m，则获得的薄膜层叠体4的膜厚不会变薄，从而 导热片的膜厚也不会变薄。其结果是，能够充分确保作为良导体的导热性粒子间的间隔，能 够避免导热片的绝缘性降低。
[0106]本发明的制造方法只要是如下的制造方法，则对适用本制造方法的制造装置的构 成没有特别限制，所述制造方法为：将至少2片带有基材的薄膜使各自的前述薄膜相接触 地配置于相对配置的第一辊和第二辊的辊间，使前述一对辊旋转，从而在前述薄膜的膜厚 方向上施加压力并使第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜重合地进行输送。
[0107]图4为表示可以适用本发明的制造方法的导热片的制造装置的一例的概略图。 [0108]图4所示的制造装置10上，配置有相对配置的第一辊12A和第二辊12B、以及层叠 片卷绕用辊24。在第一辊1以的旋转方向上游侧，配置有薄膜抽出用辊14A和保护膜卷绕 用辊16A。在第二辊12B的旋转方向上游侧，配置有薄膜抽出用辊 14B和保护膜卷绕用辊 1册。薄膜抽出用辊14A和薄膜抽出用辊14B分开配置，保护膜卷绕用辊16A和保护膜卷绕 用辊16B分开配置。
[0109] 在第一辊UA和第二辊12B与层叠片卷绕用辊24之间，从靠近第一辊12A、第二辊 12B的一侧开始配置有基材卷绕用辊I8和保护膜抽出用辊20,在保护膜抽出用辊20与层 叠片卷绕用辊24之间，卷绕侧压送辊22A、22B相对配置。
[0110]制造装置1〇上配置有未图示的驱动装置，该驱动装置能够控制薄膜抽出用辊 14A、14B与层叠片卷绕用辊24的旋转同步。
[0111] 制造装置10中，通过驱动装置进行驱动，各辊能够从薄膜抽出用辊14A、14B向卷 绕辊24方向旋转，能够输送薄膜2A和薄膜2B、以及对它们在膜厚方向上层叠和加压而获得 的薄膜层叠体4。
[0112] 制造导热片时，准备辊状的带有基材和保护膜的薄膜7A、7B，以成为各自的基材 1A、1B与第一辊12A或第二辊12B相接触的朝向的方式安装在薄膜抽出用辊14A、14B上。 带有基材和保护膜的薄膜？A、 7B随着保护膜卷绕用辊16A、16B的旋转，保护膜6被剥离，同 时作为带有基材的薄膜3A、 3B被抽出并输送，分别被导向第一辊12A和第二辊12B之间。
[0113] 带有基材的薄膜3A、3B中的薄膜2A、2B被导向辊间后，薄膜2A、2B彼此重合。如 果以重合的状态通过第一辊1ZA和第二辊1?的辊间，则在薄膜2A、2B的膜厚方向上被施 加压力，获得包含薄膜层叠体4(参照图 2)的带有基材的薄膜层叠体5。
[01 Μ]另外，如果薄膜2Α和薄膜2Β在被导向第一辊12Α和第二辊12Β之间时为相对的 朝向，则可以将对应的带有基材和保护膜的薄膜7的任一者安装于薄膜抽出用辊14Α、14Β 中的任一者上。
[0115]利用配置于第一辊1SA和第二辊12Β的输送方向下游侧的未图示的剥离装置，将 通过了第一辊12Α和第二辊1?之间的带有基材的薄膜层叠体5的一面的基材1Α剥离，然 后，导向输送方向下游侧。被剥离的基材1Α被卷绕在基材卷绕用辊18上。
[0116] 在保护膜抽出用辊20的旋转方向下游侧，将一面的基材Μ剥离之后的带有基材 的薄膜层叠体5被导向卷绕侧压送親22Α和卷绕用棍22Β之间。在将基材1Α剥离而露出 的薄膜层叠体5的表面上，层叠从保护膜抽出用辊20被抽出的保护膜6。层叠在薄膜层叠 体4上的保护膜6与带有基材和保护膜的薄膜7中的保护膜可以相同也可以不同。由此， 形成带有基材和保护膜的薄膜层叠体8。
[0117] 带有基材和保护膜的薄膜层叠体8以层叠有保护膜6的一侧作为内侧地被卷绕在 卷绕用辊24上。
[0118] 卷绕在卷绕用辊24上的带有基材和保护膜的薄膜层叠体8通过将保护膜6、基材 1Β去除而能够作为导热片使用。
[0119] 制造装置10中，将用于使带有基材的薄膜3Α、3Β重合并在膜厚方向上施加压力从 而获得带有基材的薄膜层叠体5的辊设为2根（第一辊12Α、第二辊12Β)，作为辊的根数， 只要为2根以上就没有特别限制。此外，对于将薄膜2Α、2Β配置于辊间并在膜厚方向上施 加压力的辊间的位置和次数也没有特别限制。
[0120] 将改变了辊的根数和辊间的位置的其他例子示于图5、图6和图7。其中，在图5? 图7中，对于与图1相同的构件给予相同的符号，并省略说明。
[0121] 图5表示使用了 3根辊的制造装置30。
[0122] 在制造装置30中，沿着带有基材的薄膜3Α、3Β和带有基材的薄膜层叠体5的输送 方向连续配置有第一辊32Α、第二辊32Β和第三辊32C。在制造装置30中合计有2处辊间， 除了由第一辊32Α与第二辊32Β形成的间隙以外，还有由第二辊32Β与第三辊32C形成的 间隙。由此，带有基材的薄膜层叠体5的配置于第一辊32Α与第二辊32Β之间的部分在通 过第一辊32Α与第二辊32Β之间后，被配置于第三辊32C与第四辊32D之间，并在膜厚方向 上被施加压力。其结果是，对薄膜层叠体4在膜厚方向上施加2次压力。
[0123] 图6表示使用了 4根辊的制造装置40。
[0124] 在制造装置40中，沿着带有基材的薄膜3Α、3Β和带有基材的薄膜层叠体5的输送 方向，连续配置有第一辊42Α、第二辊42Β、第三辊42C和第四辊42D。合计有3处辊间，除 了由第一辊42Α与第二辊42Β形成的间隙以外，还有由第二辊42Β与第三辊42C形成的间 隙和由第三辊42C与第四辊42D形成的间隙。由此，带有基材的薄膜层叠体5的配置于第 一辊42Α与第二辊42Β之间的部分在通过第一辊42Α与第二辊42Β之后，被配置于第二辊 42Β与第三辊42C之间，进而被配置于第三辊42C与第四辊42D之间，分别在膜厚方向上被 施加压力。其结果是，对薄膜层叠体4在膜厚方向上施加3次压力。
[0125] 图7进一步表示使用了 4根辊的另一制造装置5〇。
[0126] 在制造装置50中，沿着带有基材的薄膜3Α、3Β和带有基材的薄膜层叠体5的输送 方向合计有2处辊间，除了由第一辊52Α与第二辊52Β形成的间隙以外，还有由与前述第一 辊52A和第二辊52B保持距离配置的第三辊52C和第四辊52D形成的间隙。由此，带有基 材的薄膜层叠体5的配置于第一辊52A与第二辊52B之间的部分在通过第一辊52A与第二 辊52B后，被配置于第三辊52C与第四辊5?之间，并在膜厚方向上被施加压力。其结果是， 对薄膜层叠体4在膜厚方向上施加2次压力。
[0127]在这样能够适用本发明的导热片的制造方法的装置中，能够在薄膜层叠体4的膜 厚方向上加压的辊的根数没有特别限制，可以根据辊的根数增加薄膜层叠体4的膜厚方向 的加压次数。具有下述优点：可以通过增加薄膜层叠体4的膜厚方向的加压次数对膜厚、填 料取向、平坦性等进行调整。
[0128]另一方面，将能够在薄膜层叠体4的膜厚方向上加压的辊根数设为2根时，通过以 由2根辊形成的间隙在薄膜层叠体4的膜厚方向上施加压力，从而能够使对薄膜层叠体4 在膜厚方向上的加压和减压、以及根据情况的隔着基材1A、1B的加热和冷却均1次性完成。 其结果是，具有下述优点：能够将对前述薄膜层叠体的加压引起的负荷、由加热引起的热负 荷等抑制至最小限度。
[0129] 此外，在使用了制造装置30、40、50的导热片的制造方法中，关于薄膜的输送速 度、对薄膜的膜厚方向的线厚等，除了随着辊的根数进行变更以外，还可以直接采用与制造 装置10相同的条件以及优选的条件。
[0130] 此外，在使用了制造装置10、30、40、50的导热片的制造方法中，以将带有基材和 保护膜的薄膜7作为材料来获得带有基材和保护膜的薄膜层叠体 8的情况为例进行了说 明，但本发明的导热片只要是组合由含有热导电性粒子和热固性树脂的树脂组合物形成的 多片薄膜而制作的导热片就不限定于此。
[0131] (导热片）
[0132] 通过本发明的制造方法获得的导热片包含进行了结合的多片薄膜。
[0133] 从热阻性和绝缘性的观点出发，导热片的平均膜厚优选为大于或等于1〇〇μηι且 小于或等于250 μ m，从导热性和粘接性的观点出发，优选为大于或等于11〇 μ m且小于或等 于230 μ m，更优选为大于或等于120 μ m且小于或等于210 μ m。
[0134] 其中，导热片的平均膜厚设为使用千分尺对导热片的表面进行数点（例如10点） 测定得到的值的算术平均。
[0135] 此外，导热片的膜厚可以与所准备的多片薄膜的合计膜厚相比有所减少。优选下 述式（2)所示的膜厚减少率为大于或等于50%且小于或等于95%，就容易获得更好的导热 片的导热率和绝缘性的观点而言，更优选为大于或等于75%且小于或等于95%。
[0136] [数 4]
[0137]

【权利要求】
1. 一种包含进行了结合的多片薄膜的导热片的制造方法，其包含： 至少准备具有基材以及设于该基材上的含有导热性粒子和热固性树脂的薄膜的、第一 带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜， 使所述第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜各自的所述薄膜相接触，配置于相 对配置而成对的第一辊和第二辊的辊间， 使所述成对的第一辊和第二辊旋转，从而在所述薄膜的膜厚方向上施加压力，并使第 一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜重合地进行输送。
2. 根据权利要求1所述的导热片的制造方法， 在与所述第一辊和所述第二辊的旋转轴垂直的平面上将所述第一辊和所述第二辊以 及所述第一带有基材的薄膜和第二带有基材的薄膜切断而成的截面中，将连接所述第一带 有基材的薄膜与所述第一辊接触的区域中的所述第一辊的旋转方向的最上游侧的点与所 述第一辊的中心点的直线设为直线A、将连接所述第二带有基材的薄膜与所述第二辊接触 的区域中的所述第二辊的旋转方向的最上游侧的点与所述第二辊的中心点的直线设为直 线B、将连接所述第一辊的中心点与第二辊的中心点的直线设为直线C时，直线A与直线C 所成的角度和直线B与直线C所成的角度中的至少一方为大于或等于30°且小于或等于 135。。
3. 根据权利要求1或权利要求2所述的导热片的制造方法，在将薄膜的每单位面积的 质量相对于膜厚等于膜厚设计值的导热片的每单位面积的质量的倍率设为薄膜的质量倍 数时，所述薄膜的每单位面积的质量满足以下的式（1)， QJ L2 I <薄膜的质量倍数<7…(1) η 魏 式中，η表示薄膜的片数，表示大于或等于2的整数。
4. 根据权利要求1?权利要求3中任一项所述的导热片的制造方法，配置于所述第 一辊与所述第二辊间之前的所述薄膜的残留挥发成分为该薄膜的总质量的大于或等于0. 3 质量％且小于或等于1. 2质量％。
5. 根据权利要求1?权利要求4中任一项所述的导热片的制造方法，所述第一辊和第 二辊的表面温度均为大于或等于60°C且小于或等于1KTC。
6. 根据权利要求1?权利要求5中任一项所述的导热片的制造方法，所述第一带有基 材的薄膜和第二带有基材的薄膜的输送速度为大于或等于〇. oim/分钟且小于或等于2m/ 分钟。
7. 根据权利要求1?权利要求6中任一项所述的导热片的制造方法，由所述第一辊和 第二辊施加在所述薄膜的膜厚方向上的线压为大于或等于l〇kN/m且小于或等于350kN/m。
8. 根据权利要求1?权利要求7中任一项所述的导热片的制造方法，所述导热片的下 述式（2)所7K的膜厚减少率为大于或等于50%且小于或等于95%， 导热片的膜厚 月艇厚减少率（? )=翻的含计膜厚乂 10G ... (2 λ
9. 根据权利要求1?权利要求8中任一项所述的导热片的制造方法，将所述第一带有 基材的薄膜和第二带有基材的薄膜的通过了所述成对的第一辊和所述第二辊的辊间的部 分配置于构成与所述第一辊和所述第二辊的辊间不同的辊间的-对辊的辊间，并在所述薄 膜的膜厚方向上对该部分施加压力。
10. 根据权利要求1?权利要求9中任一项所述的导热片的制造方法，所述热固性树脂 为液态环氧树脂。
11. 根据权利要求1?权利要求10中任一项所述的导热片的制造方法，所述导热性粒 子含有至少3种体积平均粒径不同的填料。 I2· -种导热片，其通过权利要求1?权利要求11中任一项所述的制造方法来制造。 I3· -种带有金属箔的导热片，在权利要求U所述的导热片上设有金属箔。 -种半导体装置，其包含权利要求I3所述的带有金属箔的导热片。
【文档编号】B29C65/20GK104221143SQ201380017838
【公开日】2014年12月17日 申请日期:2013年3月29日 优先权日:2012年3月30日
【发明者】阿波野康彦, 西山智雄, 片木秀行, 白坂敏明, 福田和真, 桑野敦司, 五十幡贵弘 申请人:日立化成株式会社