述供给步骤包括减少朝向所述排气口的所述燃烧材料的氧化剂的所述化学计量。
[0027]在一个实施例中，所述供给步骤包括与朝向所述排气口的所述燃烧材料的氧化剂的所述化学计量相比，增加朝向所述废气流入口的所述燃烧材料的氧化剂的所述化学计量。
[0028]在一个实施例中，所述供给步骤包括与朝向所述废气流入口的所述燃烧材料的氧化剂的所述化学计量相比，减少朝向所述排气口的所述燃烧材料的氧化剂的所述化学计量。
[0029]在一个实施例中，所述燃烧材料包括燃料和氧化剂的混合物并且所述供给步骤包括降低朝向所述废气流入口的燃料/氧化剂比。
[0030]在一个实施例中，所述燃烧材料包括燃料和氧化剂的混合物并且所述供给步骤包括提高朝向所述排气口的燃料/氧化剂比。
[0031 ] 在一个实施例中，所述燃烧材料包括燃料和氧化剂的混合物并且所述供给步骤包括与朝向所述排气口的燃料/氧化剂比相比，降低朝向所述废气流入口的燃料/氧化剂比。
[0032]在一个实施例中，所述燃烧材料包括燃料和氧化剂的混合物并且所述供给步骤包括与朝向所述废气流入口的燃料/氧化剂比相比，提高朝向所述排气口的燃料/氧化剂比。
[0033]在一个实施例中，所述供给步骤包括使用燃烧材料入口给所述集气室提供所述燃烧材料，并且使用氧化剂入口在所述废气流入口附近给所述集气室提供氧化剂以增加朝向所述废气流入口的所述燃烧材料的所述氧化剂的所述化学计量。
[0034]在一个实施例中，所述供给步骤包括在所述氧化剂入口附近使用氧化剂入口挡板建立朝向所述废气流入口的所述燃烧材料的所述氧化剂的化学计量被增加的区域。
[0035]在一个实施例中，所述供给步骤包括使用燃烧材料入口给所述集气室提供所述燃烧材料，并且使用在所述排气口附近的燃料入口给所述集气室提供燃料以减少朝向所述排气口的所述燃烧材料的氧化剂的所述化学计量。
[0036]在一个实施例中，所述供给步骤包括在所述燃料入口附近使用燃料入口挡板建立朝向所述排气口的所述燃烧材料的氧化剂的化学计量被减少的区域。
[0037]在一个实施例中，所述供给步骤包括减少在燃烧材料入口附近的区域与在所述燃料入口附近的和所述氧化剂入口附近的各区域之间的流体连通，以在这些区域中改变氧化剂的所述化学计量。
[0038]在一个实施例中，所述供给步骤包括给多个毗邻的集气室以不同的化学计量提供燃烧材料。
[0039]其它特定的以及优选的方面被陈述在所附独立的和从属的权利要求中。视情况而定，所述独立权利要求的特征可以以权利要求中记载之外的其它组合结合所述从属权利要求的特征。
[0040]其中，装置特征被描述为可操作的以提供功能，应当被理解的是这包括提供该功能或被改变以适合或被配置为提供该功能的装置特征。
【附图说明】
[0041]参照附图，本发明的实施例现在将被进一步描述，其中:
图1A和IB说明了根据实施例的辐射燃烧器。
【具体实施方式】
[0042]概沭
在更加具体地讨论所述实施例之前，首先提供概述。实施例提供了在废气流的处理中使用的辐射燃烧器布置。尤其，所述辐射燃烧器被布置为沿所述燃烧器的所述多孔套筒的所述长度提供可变的化学计量的所述燃烧材料。也就是说，所述辐射燃烧器被布置为在所述燃烧器之内提供包括所述燃烧材料的材料的可变的化学计量比，从而减少在所述燃烧器内的温度变化。例如，如果所述燃烧器的中心的或中间的区域正在以名义表面燃烧速率运行并且正在使用具有期望名义化学计量(即，具有燃料/氧化剂的名义比)的燃烧材料，那么在贫侧(也就是与所述名义比相比减少了所述燃料/氧化剂比)操作所述燃烧器的上部部分(最接近接收所述废气流的所述入口的那些部分)是有利的，以减少表面温度并且最小化所述多孔套筒的热降解。同样地，在富侧(也就是与所述名义比相比，增加所述燃料/氧化剂比)操作所述燃烧器的下部区域(最接近所述排气口的那些部分)是有利的，以增加温度并且抵消由于向紧挨着所述排气口定位的任何冷却堰的任何冷表面上的辐射导致的热损失。
[0043]一个实施例以正常燃料-空气预混合料供给主燃烧器集气室区域并且在所述燃烧器的下部区域处提供第二集气室区域，所述第二集气室区域被供给更富燃料的预混合料。另一个实施例以贫混合物供给给所述集气室的顶部并且以富混合物供给给所述集气室的所述底部并且在中间区域中允许中等的、正常的燃料-空气预混合料。另一个实施例以正常燃料-空气预混合料操作所述整个燃料燃烧器并且添加额外空气到所述上部部分和/或添加额外燃料到所述下部部分。
[0044]在一个实施例中，朝向接收所述废气的入口增加化学计量过量氧化剂。这导致这些区域在贫侧操作并且减少表面温度以最小化热降解。同样地，朝向所述排气口减少相对于燃料的化学计量过量氧化剂，以在富侧操作所述燃烧器的这个部分从而在这个区域中增加表面温度。这有助于沿所述燃烧器的所述长度提供更加均匀的温度。
[0045]所有这些布置都能实现沿所述多孔套筒的所述长度的所述燃烧材料的可变化学计量，以便改变沿所述多孔套筒的所述长度所产生的热量，进而减少在所述燃烧室之内的温度变化。例如，当在燃烧后氧浓度(即，在所述带小孔的燃烧器的出口表面上所述燃烧材料燃烧后的残留氧气)方面考虑所述化学计量时，可提供大约9%到9.5%的名义残留氧浓度以，同时可在朝向排气口的富燃料区域中提供大约7.5%到8.5%的残留氧浓度并且可在朝向所述入口的贫燃料区域中提供大约9.5%到10.5%的浓度(比如10%)的残留氧浓度。应理解的是这些值将随燃料的不同而改变；例如，使用丙烷或液化石油气(LPG)的燃烧器与使用甲烷或天然气的同样的燃烧器相比将在稍高的残留氧水平下被操作。
[0046]辐射燃烧器-大体配置和运行
图1A和IB说明了根据实施例的两个辐射燃烧器，大体上8A和8B。图1A和IB每一个都说明了辐射燃烧器的相应半部，所述相应半部是关于所述轴线A-A对称的。所述辐射燃烧器8A ;8B都处理通常通过真空栗送系统从制造加工工具比如半导体或平板显示器加工工具中栗出的废气流。所述废气流在入口 10处被接收。所述废气流从所述入口被运送到喷嘴12，喷嘴12将所述废气流注射到圆柱形燃烧室14内。在这些实施例中，所述辐射燃烧器8A ;8B各自包括周向地布置的4个入口 10，每一个入口都运送通过各自的真空栗送系统从各自的工具中栗出的废气流。替换地，来自于单个加工工具的所述废气流可以被分为多个流，其中的每一个流都被运送到各自的入口。每个喷嘴12定位于在陶瓷顶板18中形成的各自的镗孔16之内。所述陶瓷顶板18限定了所述燃烧室14的上部或入口表面。比如在EP0694735中所述描述的那样，所述燃烧室14具有由带小孔的燃烧器元件20的出口表面21所限定的侧壁。所述燃烧器元件20是圆柱形的并且被保持在圆柱形外部壳体24之内。
[0047]正如将在下面进行更加详细的描述那样，集气室容积22A、22B在所述燃烧器元件20的进口表面和所述圆柱形外部壳体24之间被限定。燃料气，比如天然气或碳氢化合物和空气的混合物通过入口喷嘴被引入到所述集气室容积22A、22B中。所述燃料气和空气的混合物从所述燃烧器元件的所述进口表面23流到所述燃烧器元件的所述出口表面21以在所述燃烧室14之内燃烧。
[0048]燃料气和空气的所述混合物的名义比被改变以改变在所述燃烧室14内的名义温度到适合于将被处理的废气流的温度。同样，燃料气和空气的所述混合物被引入到所述集气室容积22A、2B中的速率是可以被调节的，因此所述混合物将在所述燃烧器元件20的所述出口表面21处无可见火焰地燃烧。所述燃烧室40的所述排气口 15是开放的，以使得所述燃烧产物能从所述辐射燃烧器8A、8B中输出。
[0049]因此，可以看到通过所述入口 10接收的并且通过所述喷嘴12提供给所述燃烧室14的所述废气在所述燃烧室14之内燃烧，所述燃烧室14通过在所述燃烧器元件的所述出口表面21附近燃烧的燃料气和空气的混合物加热。这样的燃烧导致所述室14的加热并且提供燃烧产品，比如通常在7.5 %到10.5 %的名义范围内的氧气，这取决于提供给所述燃烧室14的所述燃料空气混合物(CHpC3HsX4Hw)13所述热量和燃烧产物在所述燃烧室14之内与所述废气流