反应，以清洁废气流。例如，SiH4和NH3可以被提供在所述废气流之内，它们在所述燃烧室之内与02反应以产生3102、队、!120、1^(。同样地，N2、CH4、C2F6可以被提供在所述废气流中，它们在所述燃烧室之内与O2反应以产生CO 2、HF、H2O0
[0050]带有挡板的集气室布置
现在转到图1A中所述辐射燃烧器8A的所述集气室22A的布置，上部挡板100A和下部挡板100C被提供。提供入口 120B，该入口提供燃料气体混合物到在所述集气室22A之内的区域110B。提供空气入口 120A，该空气入口供给空气到由所述上部挡板100A围成的区域130A。提供入口 120C，该入口供给燃料到由所述下部挡板100C围成的区域130C中。
[0051 ] 所述上部挡板100A带有多个通气孔140A，通过所述多个通气孔140A，来自于所述区域130A的空气能在所述集气室22A之内的区域IlOA中与来自于所述区域IlOB的所述燃料空气混合物混合，以便建立包含贫混合物的所述区域130A。
[0052]同样地，所述下部挡板100C带有多个通气孔140C，通过所述多个通气孔140C，在所述区域130C之内的所述燃料能与来自于所述区域IlOB的所述燃料空气混合物混合，以便在所述区域IlOC中使所述燃料空气混合物为富混合物。
[0053]因此，所述下部和上部挡板100A ;100C的提供使得所述燃料空气混合物的化学计量能沿所述集气室22k的所述长度被改变。这使得沿所述带小孔的燃烧器20的所述长度所产生的所述热量可以被调节，以便补偿不然会发生的朝向所述喷嘴12的温度升高，所述温度升高能导致热损伤，并且补偿不然会发生的朝向所述排气口 15的温度降低，所述温度降低将导致所述废气流的不完全处理。
[0054]尽管两个不同的挡板100A、100C和三个入口 120A-C被示出，但是应理解的是，正如上面所提及的那样，可替换的布置可以被利用以改变所述燃烧材料的所述化学计量。
[0055]多重集气室布置
图1B说明了根据一个实施例的具有由三个毗邻的部分200A、200B、200C形成的集气室22B的辐射燃烧器8B。在这个布置中，入口 220A用燃料空气混合物供给所述集气室部分200A，所述燃料空气混合物是贫的并且已经利用化学计量过量氧化剂被增强。因此，与提供给区域200B或200C的燃料/空气比相比，区域200A具有更低的燃料/空气比。入口 220B给具有名义燃料/空气比的所述集气室部分200B提供燃料空气混合物，所述燃料空气混合物与提供给所述区域200A的相比具有更高比例的燃料。入口 220C给所述区域200C提供具有化学计量过量燃料的燃料空气混合物。因此，区域200C具有比提供给区域200A或200B的更高的燃料/空气比。
[0056]和上面所述描述的布置一样，这使得燃料空气混合物能沿所述带小孔的燃烧器20的长度以可变的化学计量被提供给所述带小孔的燃烧器20，以便沿所述带小孔的燃烧器的所述长度改变热量生成，进而以便补偿朝向所述入口被产生的过量热量和朝向所述排气口15被产生的热量不足。
[0057]尽管本发明的说明性实施例已经在本文中参照附图详细地被公开，但是应理解的是本发明不受限于所述确切的实施例并且在不离开本发明的范围的情况下，本领域的技术人员能在其中实现不同的改变和修改。所述本发明的范围由所附权利要求及他们的等同物限定。
【主权项】
1.一种用于处理来自制造加工工具的废气流的辐射燃烧器，所述辐射燃烧器包括: 燃烧室，其具有多孔套筒，燃烧材料穿过所述多孔套筒以紧挨着所述多孔套筒的燃烧表面燃烧；以及 集气室，其围绕所述多孔套筒并供给所述燃烧材料给所述多孔套筒，所述集气室被配置为沿所述多孔套筒的长度以变化的化学计量提供所述燃烧材料。2.根据权利要求1所述的辐射燃烧器，其中，所述燃烧室从废气流入口轴向地延伸到排气口，所述废气被从所述废气流入口提供给所述燃烧室；已经处理过的废气被从所述排气口排出，以及所述集气室被配置为沿所述多孔套筒的轴向长度以变化的化学计量提供所述燃烧材料。3.根据权利要求1或2所述的辐射燃烧器，其中，所述集气室被配置为:增加朝向所述废气流入口的所述燃烧材料的氧化剂的所述化学计量；和/或减少朝向所述排气口的所述燃烧材料的氧化剂的所述化学计量。4.根据任一前述权利要求所述的辐射燃烧器，其中，所述集气室被配置为:与朝向所述排气口的所述燃烧材料的氧化剂的所述化学计量相比，增加朝向所述废气流入口的所述燃烧材料的氧化剂的所述化学计量；和/或与朝向所述废气流入口的所述燃烧材料的氧化剂的所述化学计量相比，减少朝向所述排气口的所述燃烧材料的氧化剂的所述化学计量。5.根据任一前述权利要求所述的辐射燃烧器，其中，所述燃烧材料包括燃料和氧化剂的混合物并且所述集气室被配置为降低朝向所述废气流入口的燃料/氧化剂比。6.根据任一前述权利要求所述的辐射燃烧器，其中，所述燃烧材料包括燃料和氧化剂的混合物并且所述集气室被配置为提高朝向所述排气口的燃料/氧化剂比。7.根据任一前述权利要求所述的辐射燃烧器，其中，所述燃烧材料包括燃料和氧化剂的混合物并且所述集气室被配置为与朝向所述排气口的燃料/氧化剂比相比，降低朝向所述废气流入口的燃料/氧化剂比。8.根据任一前述权利要求所述的辐射燃烧器，其中，所述燃烧材料包括燃料和氧化剂的混合物并且所述集气室被配置为与朝向所述废气流入口的燃料/氧化剂比相比，提高朝向所述排气口的燃料/氧化剂比。9.根据任一前述权利要求所述的辐射燃烧器，其中，所述集气室包括燃烧材料入口和氧化剂入口，所述燃烧材料入口给所述集气室提供所述燃烧材料，所述氧化剂入口在所述废气流入口附近提供氧化剂以增加朝向所述废气流入口的所述燃烧材料的所述氧化剂的所述化学计量。10.根据任一前述权利要求所述的辐射燃烧器，其中，所述集气室包括在所述氧化剂入口附近的氧化剂入口挡板，以建立朝向所述废气流入口的所述燃烧材料的所述氧化剂的化学计量被增加的区域。11.根据任一前述权利要求所述的辐射燃烧器，其中，所述集气室包括燃烧材料入口和燃料入口，所述燃烧材料入口给所述集气室提供所述燃烧材料，所述燃料入口在所述排气口的附近提供燃料以减少朝向所述排气口的所述燃烧材料的氧化剂的所述化学计量。12.根据任一前述权利要求所述的辐射燃烧器，其中，所述集气室包括在所述燃料入口附近的燃料入口挡板，以建立朝向所述排气口的所述燃烧材料的氧化剂的化学计量被减小的区域。13.根据任一前述权利要求所述的辐射燃烧器，其中，所述燃料入口挡板和所述排气入口挡板中的至少一个减少了在所述燃烧材料入口附近的区域与所述燃料入口附近的和所述氧化剂入口附近的各区域之间的流体连通，以改变在这些区域中的氧化剂的所述化学计量。14.根据任一前述权利要求所述的辐射燃烧器，其中，所述集气室包括多个毗邻的集气室，各自以不同的化学计量提供燃烧材料。15.一种处理来自于制造加工工具的废气流的方法，所述方法包括: 紧挨着燃烧用多孔套筒的燃烧表面燃烧燃烧材料； 从围绕所述多孔套筒的集气室沿所述多孔套筒的长度以变化的化学计量给所述多孔套筒提供所述燃烧材料。
【专利摘要】一种辐射燃烧器和方法被公开。所述辐射燃烧器是用来处理来自于制造加工工具的废气流的并且包括：具有多孔套筒的燃烧室和围绕所述多孔套筒的集气室；燃烧材料穿过所述多孔套筒以紧挨着所述多孔套筒的燃烧表面燃烧；所述集气室给所述多孔套筒提供所述燃烧材料，所述集气室被配置为沿所述多孔套筒的长度以变化的化学计量提供所述燃烧材料。改变所述燃烧材料的所述化学计量比的这个方法对应地改变了沿所述多孔套筒的所述长度由这些燃烧材料所产生的热量。通过改变所述燃烧材料的所述化学计量以补偿沿所述多孔套筒的所述长度在所述燃烧室之内产生的热量的变化，更加均匀的温度可以在所述燃烧室内沿所述多孔套筒的所述长度被达到。
【IPC分类】F23C99/00, F23G7/06, F23D14/16, F23D14/70
【公开号】CN105121957
【申请号】CN201480023109
【发明人】A.J.思利
【申请人】爱德华兹有限公司
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2014年3月14日
【公告号】WO2014174239A1