均热板的制作方法

本实用新型涉及一种均热板，该均热板由于未安装用于工作流体的注入、脱气的喷嘴，从而即使是相同的设置空间，也能够进一步扩张封入工作流体的区域。

背景技术：

电气和电子设备上搭载的半导体元件等电子部件由于伴随多功能化的高密度搭载等而发热量增大，近年来，其冷却变得尤为重要。作为电子部件的冷却方法，有时使用均热板。

在均热板的容器中设置有被脱气并封入有工作流体的空腔部。工作流体一边在空腔部内发生相变一边扩散并回流，由此，从均热板的受热部向散热部面状地输送热量。为了对空腔部进行脱气，并向空腔部注入工作流体，在容器上安装有与该空腔部连通的喷嘴。喷嘴在注入工作流体之后，沿径向被压扁而被密封，所以，喷嘴以从容器的外周突出规定的突出量的状态被残留在均热板上。因此，为了设置均热板，在容器的外侧需要与喷嘴的突出量相对应的空间。但是，在狭小空间中，难以设置上述空间，因此，有时无法设置均热板。

因此，提出了一种按照喷嘴的突出量，以使喷嘴位于规定的轮廓线的内侧的方式收纳的均热板(专利文献1)。但是，在专利文献1中，由于喷嘴从容器的外周突出，因此，也需要使喷嘴周边的空腔部后退，存在利用工作流体的传热面积缩小了空腔部的后退部分，即、散热效率降低的问题。

此外，在专利文献1中，由于需要与容器分体的部件、即喷嘴，因此，存在零件数量增加的问题，此外，在生产均热板时，需要喷嘴的安装工序，因此，生产效率存在问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-258079号公报

技术实现要素：

实用新型要解决的课题

鉴于上述情况，本实用新型的目的在于提供一种均热板，该均热板在零件数量的减少和生产效率方面优异，此外，能够在减小封入有工作流体的空腔部的外周空间的同时，防止空腔部的面积缩小。

用于解决课题的手段

本实用新型的实施方式是一种均热板，其具有：容器，其通过层叠的板状部件形成空腔部；工作流体，其被封入所述空腔部；以及吸液芯结构体，其被收纳于所述空腔部，构成所述容器的最外层的一个板状部件具有至少一个具有孔部的一侧突出部，构成所述容器的最外层的另一个板状部件具有至少一个另一侧突出部，所述另一侧突出部被层叠于所述一侧突出部，具有将所述孔部与所述空腔部连通的流路，所述空腔部的外周被密封。

在上述实施方式中，层叠至少2块板状部件，从而形成具有空腔部的容器。此外，一侧突出部和另一侧突出部是从容器的外周突出的部位。

本实用新型的实施方式是一种均热板，其中，层叠的所述板状部件至少为3块，被层叠在构成最外层的所述一个板状部件与构成最外层的所述另一个板状部件之间的中间层的板状部件具有：至少一个中间层的突出部，其与所述一侧突出部和所述另一侧突出部层叠、且具有与所述孔部和所述流路连通的其它孔部；以及框部，其形成所述空腔部的内侧面。

在上述实施方式中，层叠至少3块板状部件，从而形成具有空腔部的容器。其中，中间层的板状部件的框部作为形成空腔部的间隔发挥作用。此外，中间层的突出部是从容器的外周突出的部位。

本实用新型的实施方式是一种均热板，其中，在比所述孔部靠所述空腔部侧具有所述流路的密封部。

本实用新型的实施方式是一种均热板，其中，在比所述密封部靠外侧形成有层叠的所述一侧突出部和所述另一侧突出部的切断部。

在上述实施方式中，在比流路的密封部靠突出部的前端侧，层叠的一侧突出部和另一侧突出部被切断。

本实用新型的实施方式是一种均热板，其中，所述切断部不从容器的外周突出。在上述实施方式中，将一侧突出部和另一侧突出部从其基部切掉。

本实用新型的实施方式是一种均热板，其中，所述流路通过钣金加工形成。

本实用新型的实施方式是一种均热板，其中，所述孔部和所述其它孔部俯视呈圆形，具有0.1～5mm的直径。本说明书中，“俯视(观察)”的意思是指，从垂直于均热板的平面部的方向目视确认。

本实用新型的实施方式是一种均热板，其中，所述流路具有0.1～5mm的宽度、0.1～5mm的高度、5～150mm的长度。

本实用新型的实施方式是一种均热板，其中，所述容器的材质是选自由不锈钢、铜、铜合金、铝、铝合金、锡、锡合金、钛、钛合金、镍以及镍合金组成的组中的至少一种金属。

本实用新型的实施方式是一种均热板，其具有：容器，其利用一个板状部件和层叠于该一个板状部件的另一个板状部件来形成空腔部；工作流体，其被封入所述空腔部；以及吸液芯结构体，其被收纳于所述空腔部，所述一个板状部件具有至少一个具有孔部的一侧突出部，所述另一个板状部件具有至少一个另一侧突出部，该另一侧突出部被层叠于所述一侧突出部，具有将所述孔部与所述空腔部连通的流路，在所述另一个板状部件的与所述一个板状部件对置的表面上形成凹部，该凹部形成所述空腔部的至少一部分，所述流路是形成在所述另一侧突出部的与所述一侧突出部对置的表面上的凹槽，在所述另一侧突出部的不与所述一侧突出部对置的面上，沿所述流路形成所述一侧突出部方向的台阶即台阶部，所述空腔部的外周被密封。

在上述实施方式中，一侧突出部和另一侧突出部是从容器的外周突出的部位。此外，在另一侧突出部且在与一侧突出部对置的表面上形成凹槽，在与形成有凹槽的表面相反的表面上形成凹槽方向的台阶、即台阶部。

本实用新型的实施方式是一种均热板，其中，所述台阶部形成在所述另一侧突出部的两边缘部。

在上述实施方式中，沿凹槽设置的台阶部夹着凹槽形成在另一侧突出部的两侧边缘部。

本实用新型的实施方式是一种均热板，其中，在比所述孔部靠所述空腔部侧具有所述流路的密封部。

本实用新型的实施方式是一种均热板，其中，在比所述密封部靠外侧，形成有层叠的所述一侧突出部和所述另一侧突出部的切断部。

在上述实施方式中，在比流路的密封部靠突出部的前端侧，层叠的一侧突出部和另一侧突出部被切断。

本实用新型的实施方式是一种均热板，其中，所述切断部不从容器的外周突出。在上述方式中，一侧突出部和另一侧突出部从其基部被切掉。

本实用新型的实施方式是一种均热板，其中，所述流路通过蚀刻或切削加工形成。

本实用新型的实施方式是一种均热板，其中，所述台阶部通过蚀刻或切削加工形成。在上述方式中，台阶部的表面具有蚀刻的痕迹或切削加工的痕迹。

本实用新型的实施方式是一种均热板，其中，所述孔部俯视为圆形，具有0.1～5mm的直径。

本实用新型的实施方式是一种均热板，其中，所述流路具有0.1～5mm的宽度、0.1～5mm的深度、5～150mm的长度。

本实用新型的实施方式是一种均热板，其中，所述容器的材质是选自由不锈钢、铜、铜合金、铝、铝合金、锡、锡合金、钛、钛合金、镍以及镍合金组成的组中的至少一种金属。

实用新型效果

根据本实用新型的实施方式，只要在一侧突出部上具有设置孔部的空间即可，此外，只要另一侧突出部具有与一侧突出部相同的空间即可，即、能够减小一侧突出部和另一侧突出部的突出量，因此，能够在减小空腔部外周的空间的同时，防止空腔部的面积缩小。因此，即使均热板的设置空间狭小，也能够确保空腔部的面积，能够获得优异的散热效率。

根据本实用新型的实施方式，为了将空腔部脱气，并向空腔部注入工作流体，无需准备喷嘴等与容器分体的部件，因此，能够减少零件数量。此外，根据本实用新型的实施方式，在均热板的制造时，无需将喷嘴等与容器分体的部件安装到容器上的工序，因此，生产效率方面优异。

根据本实用新型的实施方式，层叠的板状部件至少为3块，中间层的板状部件具有形成空腔部的内侧面的框部，从而能够使容器的俯视观察下的形状复杂化，因此，提高均热板的设计自由度。

根据本实用新型的实施方式，通过在比密封部靠外侧，形成层叠的突出部的切断部，从而能够进一步减小突出部的突出量，因此，能够在进一步减小空腔部外周的空间且充分地确保空腔部的面积。

根据本实用新型的实施方式，通过在另一侧突出部的不与一侧突出部对置的表面上，沿流路形成作为朝向一侧突出部方向的台阶、即台阶部，从而，容易压扁流路，其结果为，能够使流路的密封简化。

附图说明

图1是本实用新型第一实施方式例所涉及的均热板的密封前的分解立体图。

图2中，图(a)是本实用新型第一实施方式例所涉及的均热板的密封前的俯视图，图(b)是沿图(a)中的(a)-(a)剖面的说明图，图(c)是沿图(a)中的(b)-(b)剖面的说明图，图(d)是沿图(a)中的(c)-(c)剖面的说明图。

图3中，图(a)是本实用新型第二实施方式例所涉及的均热板的完全密封后的俯视图，图(b)是沿图(a)中的(d)-(d)剖面的说明图。

图4中，图(a)是本实用新型第三实施方式例所涉及的均热板的密封前的立体图，图(b)是沿图(a)中的(e)-(e)剖面的说明图。

图5是本实用新型第四实施方式例所涉及的均热板的密封前的俯视图。

图6是本实用新型第五实施方式例所涉及的均热板的密封前的分解立体图。

图7中，图(a)是本实用新型第五实施方式例所涉及的均热板的密封前的俯视图，图(b)是沿图(a)中的(b)-(b)剖面的说明图，图(c)是沿图(a)中的(c)-(c)剖面的说明图，图(d)是沿图(a)中的(d)-(d)剖面的说明图。

图8中，图(a)是本实用新型第六实施方式例所涉及的均热板的完全密封后的俯视图，图(b)是沿图(a)中的(e)-(e)剖面的说明图。

图9是本实用新型第七实施方式例所涉及的均热板的密封前的俯视图。

图10中，图(a)是本实用新型第八实施方式例所涉及的均热板的密封前的分解立体图，图(b)是本实用新型第八实施方式例所涉及的均热板的空腔部的说明图。

具体实施方式

以下，一边使用附图一边对本实用新型的第一实施方式例所涉及的均热板进行说明。如图1所示，第一实施方式例所涉及的均热板1具有：具有空腔部14的平面型的容器10和被封入空腔部14内的工作流体(未图示)。此外，在空腔部14内收纳有具有毛细管力的吸液芯结构体15。

容器10成为由下述部件层叠而成的结构，即：一个板状部件11，其构成最外层；另一个板状部件12，其与一个板状部件11对置，同样构成最外层；以及中间层的板状部件13，其配置在一个板状部件11与另一个板状部件12之间。因此，均热板1的容器10成为3层结构。在俯视观察下，一个板状部件11和另一个板状部件12以及中间层的板状部件13彼此在重叠的位置处被层叠。

一个板状部件11和另一个板状部件12分别是平板状的部件。中间层的板状部件13是框状的部件，框部16的外表面形成容器10的外侧面。此外，框部16的内表面形成空腔部14的侧面。因此，由中间层的板状部件13的框部16的内表面、一个板状部件11的内表面和另一个板状部件12的内表面形成的容器10的中空部成为空腔部14。空腔部14在俯视时的形状能够根据均热板1的使用条件等适当地选择，在均热板1中成为矩形。

如图1所示，在一个板状部件11上设置有向容器10的平面方向延伸的平板状并且是长方形的突出区域(一侧突出部21)。在均热板1中，设置有一个一侧突出部21。一侧突出部21在与一个板状部件11相同的平面上延伸。因此，一侧突出部21在俯视观察下位于空腔部14的外侧。此外，在另一个板状部件12上设置有向容器10的平面方向延伸的平板状并且是长方形的突出区域(另一侧突出部22)。在均热板1中，设置有一个另一侧突出部22。另一侧突出部22在与另一个板状部件12相同的平面上延伸。因此，另一侧突出部22在俯视观察下位于空腔部14的外侧。此外，另一侧突出部22在俯视观察下设置在与一侧突出部21重叠的位置上。在中间层的板状部件13上设置有向容器10的平面方向延伸的平板状并且是长方形的突出区域(中间层的突出部23)。在均热板1中，设置有一个中间层的突出部23。中间层的突出部23在与中间层的板状部件13相同的平面上延伸。因此，中间层的突出部23在俯视观察下位于空腔部14的外侧。此外，中间层的突出部23在俯视观察下设置在与一侧突出部21和另一侧突出部22重叠的位置上。因此，在俯视观察下，一个板状部件11、另一个板状部件12以及中间层的板状部件13彼此在重叠的位置处被层叠，与此相对应地，在俯视观察下，一侧突出部21、另一侧突出部22以及中间层的突出部23彼此在重叠的位置处被层叠。

在一侧突出部21上设置有作为贯通孔的第一孔部24。此外，中间层的突出部23在俯视观察下与第一孔部24重叠的位置处，也设置有作为贯通孔的第二孔部25。因此，第一孔部24与第二孔部25彼此连通。第一孔部24和第二孔部25在俯视时的形状没有特别限定，在均热板1中，分别是俯视呈圆形。此外，第一孔部24和第二孔部25的尺寸没有特别限定，例如，分别具有0.1～5mm的直径。

在另一侧突出部22上设置有从空腔部14观察时凹陷为凹状的流路26。因此，流路26成为相对于另一侧突出部22表面呈凸状突起(隆起)的形态。

如图2中的(a)、(b)所示，流路26设置在俯视观察下与第一孔部24和第二孔部25重叠的位置上。因此，流路26与第一孔部24和第二孔部25连通。此外，如图2中的(a)、(d)所示，流路26在俯视观察下从与第一孔部24和第二孔部25重叠的位置一直延伸到与空腔部14重叠的位置。因此，流路26与空腔部14连通。即，经由流路26，第一孔部24和第二孔部25与空腔部14连通。在均热板1中，流路26的一个端部与第一孔部24和第二孔部25连通，流路26的另一个端部与空腔部14连通。

另外，如图2中的(c)所示，流路26中的、在俯视观察下与第一孔部24和第二孔部25重叠的部位(即，一个端部)和俯视观察下与空腔部14重叠的部位(即，另一个端部)之间的部位、即中央部位于中间层的突出部23面上。

流路26的制作方法没有特别限定，例如，能够举出使用拉深加工等的冲压装置的钣金加工。此外，流路26的尺寸没有特别限定，在均热板1中，例如，具有0.1～5mm的宽度、0.1～5mm的高度、5～150mm的长度。此外，流路26的俯视观察的形状没有特别限定，在均热板1中，成为直线状。

作为容器10的材料，例如，能够举出不锈钢、铜、铜合金、铝、铝合金、锡、锡合金、钛、钛合金、镍、镍合金等。

除了流路26的部位以外的均热板1的厚度没有特别限定，例如，能够举出0.2～10mm。此外，空腔部14的厚度没有特别限定，例如，能够举出0.1～9.9mm。此外，一个板状部件11和另一个板状部件12的板厚没有特别限定，例如，分别能够举出0.05～3mm。

作为封入空腔部14的工作流体，能够根据与容器10的材料的适应性来适当地选择，例如，能够举出水、碳氟化合物类、环戊烷、乙二醇、以及它们的混合物等。作为吸液芯结构体15，没有特别限定，例如，能够举出铜粉等金属粉的烧结体、由金属线构成的金属网、沟槽、无纺布等。另外，在均热板1中，使用俯视观察下形成为梯子状的金属网。

接下来，一边使用附图一边对向第一实施方式例所涉及的均热板1的空腔部14注入工作流体的方法进行说明。在向空腔部14中注入工作流体之前，预先将包括突出部的外周的容器10的外周焊接(例如，激光焊接、电阻焊等)从而密封。

如图2中的(a)～(d)所示，第一孔部24经由第二孔部25和流路26与空腔部14连通。因此，首先，在第一孔部24上安装脱气装置(未图示)，从第一孔部24经由第二孔部25和流路26将空腔部14内进行脱气处理，从而使空腔部14内成为减压状态。即，第一孔部24和第二孔部25作为空腔部14的脱气口发挥作用。此外，流路26作为使空腔部14的气体从空腔部14向作为脱气口的第一孔部24流通的气体的排出路发挥作用。在脱气处理后，从第一孔部24经由第二孔部25和流路26向空腔部14内注入液相的工作流体(未图示)。即，第一孔部24和第二孔部25也作为液相的工作流体的注入口发挥作用。此外，流路26也作为使液相的工作流体从作为注入口的第一孔部24和第二孔部25向空腔部14流通的液相的工作流体的供给路发挥作用。另外，此处，虽然使空腔部14内成为减压状态之后再注入液相的工作流体，但是，也可以取而代之，向空腔部14内注入液相的工作流体之后，再将空腔部14内进行脱气处理。

在向经过脱气处理后的空腔部14注入液相的工作流体之后，通过利用铆接夹具等将流路26的中央部(与第一孔部24和第二孔部25相对应的部位和与空腔部14相对应的部位之间的部位)压扁到中间层的突出部23面上，从而将流路26密封，由此在突出部上形成密封部(未图示)。通过在突出部上形成密封部，从而工作流体被封入减压后的空腔部14内。此外，通过将突出部的密封部焊接(例如，激光焊接、电阻焊等)，从而能够完全地将该密封部密封。因此，在被密封后的均热板1中，在与第一孔部24和第二孔部25相对应的部位和与空腔部14相对应的部位之间的部位被密封的流路26成为从第一孔部24和第二孔部25的位置(突出部的位置)一直残留到空腔部14的位置的形态。

在第一实施方式例所涉及的均热板1中，只要在一侧突出部21上具有设置第一孔部24的空间、在中间层的突出部23上具有设置第二孔部25的空间即可，此外，只要在另一侧突出部22上具有与一侧突出部21和中间层的突出部23相同的空间即可，因此，能够减小一侧突出部21、中间层的突出部23以及另一侧突出部22的突出量。由此，能够减小空腔部14外周的空间，并且防止工作流体发挥传热特性的空腔部14的面积缩小。由此，即使均热板1的设置空间狭小，也能够确保空腔部14的面积，能够发挥优异的散热效率。

在均热板1中，为了将空腔部14脱气，并向空腔部14注入工作流体，无需准备喷嘴等与容器10分体的部件，因此，能够减少零件数量。此外，在均热板1中，在制造时，无需将喷嘴等与容器10分体的部件安装到容器10上的工序，因此，生产效率方面优异。此外，在均热板1中，层叠的板状部件至少为3块，中间层的板状部件13具有形成空腔部14的内侧面的框部16，因此，能够使容器10的俯视观察下的形状复杂化，并提高均热板1的设计自由度。

此外，在均热板1中，流路26的剖面呈从另一侧突出部22表面呈凸状突起的形状，因此，压扁密封是容易的。

接下来，一边使用附图一边对本实用新型的第二实施方式例所涉及的均热板进行说明。另外，关于与第一实施方式例所涉及的均热板相同的结构要素，使用相同的标号来进行说明。

在第一实施方式例所涉及的均热板中，在流路的中央部形成密封部，通过将该密封部焊接从而来完全地进行密封，但是，如图3中的(a)、(b)所示，在第二实施方式例所涉及的均热板2中，在利用焊接将形成在流路26的中央部的密封部完全地密封后，还在比该密封部靠前端部侧，将层叠的一侧突出部、中间层的突出部以及另一侧突出部切断。

在均热板2中，通过利用铆接夹具等将流路26的中央部压扁到中间层的板状部件13的框部16上从而形成密封部，此外，将密封部焊接(例如，激光焊接、电阻焊等)从而形成焊接部30。在比形成有焊接部30的密封部靠外侧，即，突出部的前端部侧处，将层叠的一侧突出部、中间层的突出部以及另一侧突出部切断，从而形成层叠的突出部的切断部31。因此，在密封后的均热板2中，被形成在容器10的周缘部的焊接部30密封的流路26成为从框部16的位置一直残留到空腔部14的位置的形态。

如图3中的(a)所示，在均热板2中，层叠的一侧突出部、中间层的突出部以及另一侧突出部都在其基部被切断。因此，切断部31的切断面不从容器10的外周突出。

通过切断层叠的突出部，能够进一步减小层叠的突出部的突出量，此外，在均热板2中，层叠的突出部在基部被切断，从而完全地去除层叠的突出部，因此，能够在进一步减小空腔部14外周的空间的同时，充分地确保空腔部14的面积。

接下来，一边使用附图一边对本实用新型的第三实施方式例所涉及的均热板进行说明。另外，关于与第一、第二实施方式例所涉及的均热板相同的结构要素，使用相同的标号来进行说明。

在第一、第二实施方式例所涉及的均热板中，容器是一个板状部件和中间层的板状部件以及另一个板状部件层叠后的3层结构，但是，取而代之的是，如图4中的(a)、(b)所示，在第三实施方式例所涉及的均热板3中，成为一个板状部件41和与一个板状部件41对置的另一个板状部件42层叠后的2层结构。

如图4中的(a)所示，在均热板3中，通过重叠作为下板的一个板状部件41和作为上板的另一个板状部件42来形成具有空腔部44的容器40。在另一个板状部件42的中央部上，当从一个板状部件41观察时设置有凹部。另一个板状部件42的凹部形成容器40的空腔部44。在另一个板状部件42的另一侧突出部22上，设置有从一个板状部件41观察时呈凹状凹陷的流路26。流路26成为从另一侧突出部22表面呈凸状突起(隆起)的形态。流路26在俯视观察下，一直延伸到与空腔部44重叠的位置。因此，流路26与空腔部44连通。

一个板状部件41是结构与第一、第二实施方式例所涉及的均热板的一个板状部件相同的部件。因此，一在个板状部件41的一侧突出部21上设置有作为贯通孔的第一孔部24。流路26在俯视观察下设置在与第一孔部24重叠的位置上。

因此，如图4中的(b)所示，在均热板3中，另一侧突出部22的流路26与一侧突出部21的第一孔部24连通。即，经由流路26，第一孔部24与空腔部44连通。

在均热板3中，在向经过脱气处理后的空腔部44注入液相的工作流体(未图示)之后，通过利用铆接夹具等将另一个板状部件42的流路26中央部压扁到一个板状部件41的一侧突出部21面上，从而将流路26密封并在突出部上形成密封部(未图示)。通过在突出部上形成密封部，从而工作流体被封入减压后的空腔部44内。此外，通过将突出部的密封部焊接(例如，激光焊接、电阻焊等)，能够将该密封部完全地密封。

在第三实施方式例所涉及的均热板3中，也与第一实施方式例所涉及的均热板相同，能够减小一侧突出部21和另一侧突出部22的突出量。因此，能够在减小空腔部44外周的空间的同时，防止工作流体发挥传热特性的空腔部44的面积缩小。

接下来，一边使用附图一边对本实用新型的第四实施方式例所涉及的均热板进行说明。另外，关于与第一～第三实施方式例所涉及的均热板相同的结构要素，使用相同的标号来进行说明。

在上述第一实施方式例所涉及的均热板中，层叠的突出部设置有一个，但是，取而代之的是，如图5所示，在第四实施方式例所涉及的均热板4中，层叠的突出部设置有多个(在图5中为两个)。即，在均热板4中，一侧突出部、另一侧突出部22以及中间层的突出部分别设置有多个(在图5中为两个)。此外，一个板状部件、另一个板状部件12以及中间层的板状部件彼此在俯视观察下在重叠的位置处被层叠，与之相对应地，两个一侧突出部、两个另一侧突出部22、以及两个中间层的突出部分别在俯视观察下被层叠在彼此重叠的位置处，形成两个层叠的突出部(第一层叠的突出部和第二层叠的突出部)。

层叠的突出部的位置没有特别限定，在均热板4中，在容器10的对置的端部分别设置有一个层叠的突出部。

在均热板4中，从两个层叠的突出部中的、第一层叠的突出部(在图5中为左侧的层叠的突出部)向空腔部14内注入液相的工作流体，从第二层叠的突出部(在图5中为右侧的层叠的突出部)将空腔部14内进行脱气处理，从而使空腔部14内成为减压状态。即，在均热板4中，设置有液相的工作流体注入用的层叠的突出部和空腔部14脱气用的层叠的突出部。

在第四实施方式例所涉及的均热板4中，也与层叠的突出部为一个的第一实施方式例所涉及的均热板相同，能够减小层叠的突出部的突出量，因此，能够在减小空腔部14外周的空间的同时，防止工作流体发挥传热特性的空腔部14的面积缩小。

接下来，对本实用新型的均热板的其它实施方式例进行说明。在第一、第二、第四实施方式例所涉及的均热板中，容器是3层结构，但是，也可以层叠多个中间层的板状部件，设为4层以上的多层结构。此外，在第一实施方式例所涉及的均热板中，将流路的中央部压扁到中间层的突出部面上从而在突出部上形成密封部，并将该密封部焊接，但是，也可以取而代之，还在比被焊接的密封部靠前端部侧，将层叠的突出部切断。此外，在第三、第四实施方式例所涉及的均热板中，也可以在比被焊接的突出部的密封部靠前端部侧，将层叠的突出部的前端部切断。此外，在第三实施方式例所涉及的均热板中，层叠的突出部设置有一个，但是取而代之，也可以设置多个层叠的突出部。此外，关于上述各实施方式例的均热板，也可以根据需要，在流路密封后，进一步利用冲压加工等将该流路整体压扁到与另一侧突出部表面成为同一平面为止。另外，通过将流路整体压扁，从而在容器上形成流路的压扁痕迹。

以下，一边使用附图一边对本实用新型的第五实施方式例所涉及的均热板进行说明。如图6、图7中的(a)所示，第五实施方式例所涉及的均热板5具有：具有空腔部114的平面型的容器110和被封入空腔部114内的工作流体(未图示)。此外，在空腔部114内收纳有具有毛细管力的吸液芯结构体(未图示)。

通过一个板状部件111和与一个板状部件111对置的另一个板状部件112重叠，从而形成具有空腔部114的容器110。因此，容器110是一个板状部件111和另一个板状部件112被层叠后的结构，成为2层结构。在俯视观察下，一个板状部件111和另一个板状部件112彼此被层叠在重叠的位置处。一个板状部件111和另一个板状部件112分别是平板状的部件。

如图7中的(a)、(d)所示，在另一个板状部件112的中央部上，从一个板状部件111观察时设置有凹部。即，另一个板状部件112的两面中的、与一个板状部件111对置的表面即内表面123上形成有凹部。另一个板状部件112的所述两面中的、不与一个板状部件111对置的表面即表面125的、与凹部的位置相对应的部位与对应于凹部的周缘部的部位位于同一平面上。由此，另一个板状部件112的、与凹部的位置相对应的部位没有成为凸形状。另一方面，在一个板状部件111的中央部没有设置凹部，成为平面状。因此，另一个板状部件112的凹部形成容器110的空腔部114。即，通过另一个板状部件112的凹部内表面和一个板状部件111内表面形成的容器110的中空部成为空腔部114。空腔部114的俯视观察的形状能够根据均热板5的使用条件等适当地选择，在均热板5中成为矩形。

如图6、图7中的(a)所示，在一个板状部件111上设置有向容器110的平面方向伸出的平板状并且是长方形的突出区域(一侧突出部121)。在均热板5中，一侧突出部121设置有一个。一侧突出部121向与一个板状部件111同一平面上伸出。因此，一侧突出部121在俯视观察下位于空腔部14的外侧。此外，在另一个板状部件112上设置有向容器110的平面方向伸出的平板状并且是长方形的突出区域(另一侧突出部122)。在均热板5中，另一侧突出部122设置有一个。另一侧突出部122向与另一个板状部件112同一的平面伸出。因此，另一侧突出部122在俯视观察下位于空腔部114的外侧。此外，另一侧突出部122在俯视观察下设置在与一侧突出部121重叠的位置上。因此，在俯视观察下一个板状部件111和另一个板状部件112彼此被层叠在重叠的位置处，与此相对应地，一侧突出部121和另一侧突出部122在俯视观察下彼此被层叠在重叠的位置处。

在一侧突出部121上设置有作为贯通孔的孔部124。孔部124的俯视观察形状没有特别限定，在均热板5中，俯视观察为圆形。此外，孔部124的尺寸没有特别限定，例如，具有0.1～5mm的直径。

如图7中的(b)、(c)所示，在另一侧突出部122上设置有从一侧突出部121(一个板状部件111)观察时呈凹状的流路126。流路126是设置在另一个板状部件112的内表面123中的、与一侧突出部121重叠的位置(对置的位置)即另一侧突出部122上的凹槽。因此，如图6所示，流路126并非是从另一个板状部件112的表面125突起(隆起)的形态。即，另一个板状部件112的表面125中的、与流路126的位置相对应的部位和与空腔部114的位置相对应的部位成为同一平面。由此，在容器110中，与流路126的位置相对应的部位的厚度变得和与空腔部114的位置相对应的部位的厚度相同。

如图7中的(a)、(b)所示，流路126设置在俯视观察下与孔部124重叠的位置上。因此，流路126与孔部124连通。此外，如图7中的(a)所示，流路126在俯视观察下，从与孔部124重叠的位置一直延伸到空腔部114(即，另一个板状部件112的凹部)。作为凹槽的流路126与作为凹部的空腔部114在连通的状态下连接。因此，流路126与空腔部114连通。其结果为，经由流路126，孔部124与空腔部114连通。在均热板5中，流路126的一个端部与孔部124连通，流路126的另一个端部与空腔部114连通。流路126的深度没有特别限定，能够根据使用条件等适当地选择，但是，例如，能够举出与成为空腔部114的设置于另一个板状部件112的凹部大致相同的深度。

此外，如图7中的(c)所示，流路126中的、在俯视观察下与孔部124重叠的部位(即，一个端部)和俯视观察下与空腔部114连通的部位(即，另一个端部)之间的部位即中央部位于一侧突出部121面上。

如图6、7所示，在另一个板状部件112的表面125中的、另一侧突出部122的位置上设置有朝向一侧突出部121方向的台阶、即台阶部127。在另一侧突出部122上，通过台阶部127，设置有平坦面128，该平坦面128与另一个板状部件112的表面125不在同一平面上，并且比另一个板状部件112的表面125低。台阶部127和平坦面128沿流路126的伸出方向设置。

在均热板5中，台阶部127和平坦面128设置在沿流路126的伸出方向的、另一侧突出部122的两边缘部。沿作为凹槽的流路126设置的台阶部127隔着流路126分别设置1个(合计2个)。即，台阶部127沿着流路126设置在其两侧。此外，平坦面128延伸到上述两边缘部的端部。因此，设置有台阶部127的另一侧突出部122的剖面形状成为凸状。在上述凸状的突起部设置有流路126。另外，如图6、图7中的(a)所示，在均热板5中，台阶部127和平坦面128不仅从另一侧突出部122的前端部一直设置到基部，而且从另一侧突出部122的基部进一步向空腔部114方向，延伸到空腔部114附近。台阶部127的高度没有特别限定，例如，能够举出相当于作为凹槽的流路126的深度的尺寸。

作为另一个板状部件112的凹部的空腔部114和作为与空腔部114连通的凹槽的流路126的制作方法没有特别限定，例如，能够举出蚀刻、切削加工等。此外，台阶部127和平坦面128的制作方法没有特别限定，例如，与空腔部114和流路126相同地，能够举出蚀刻、切削加工等。因此，在空腔部114、流路126、台阶部127以及平坦面128上分别能够确认蚀刻的痕迹、切削加工的痕迹。

流路126的尺寸没有特别限定，在均热板5中，例如，具有0.1～5mm的宽度、0.1～5mm的深度、5～150mm的长度。此外，流路126的俯视观察的形状没有特别限定，在均热板5中，成为直线状。

作为容器110的材料，例如，能够举出不锈钢、铜、铜合金、铝、铝合金、锡、锡合金、钛、钛合金、镍、镍合金等。

均热板5的厚度没有特别限定，例如，能够举出0.2～10mm。此外，空腔部114的厚度没有特别限定，例如，能够举出0.1～9.9mm。此外，一个板状部件111和另一个板状部件112的板厚没有特别限定，例如，能够举出一个板状部件111为0.05～3mm的板厚，另一个板状部件112为0.15～9.95mm的板厚。

作为封入空腔部114的工作流体，能够根据与容器110的材料的适应性来适当地选择，例如，能够举出水、碳氟化合物类、环戊烷、乙二醇、以及它们的混合物等。作为吸液芯结构体，没有特别限定，例如，能够举出铜粉等金属粉的烧结体、由金属线构成的金属网、沟槽、无纺布等。

接下来，一边使用附图一边对向第五实施方式例所涉及的均热板5的空腔部114注入工作流体的方法进行说明。在向空腔部114注入工作流体之前，预先将包括突出部的外周的容器110的外周(空腔部114的外周)焊接(例如，激光焊接、电阻焊等)从而密封。

如图7中的(a)～(d)所示，孔部124经由流路126与空腔部114连通。因此，首先，在孔部124上安装脱气装置(未图示)，从孔部24经由流路126将空腔部114内进行脱气处理，从而使空腔部114内成为减压状态。即，孔部24作为空腔部114的脱气口发挥作用。此外，流路126作为使空腔部114的气体从空腔部114向作为脱气口的孔部124流通的气体的排出路发挥作用。在脱气处理后，从孔部124经由流路126向空腔部114内注入液相的工作流体(未图示)。即，孔部124也作为液相的工作流体的注入口发挥作用。此外，流路126也作为使液相的工作流体从作为注入口的孔部124向空腔部114流通的液相的工作流体的供给路发挥作用。另外，此处，使空腔部114内成为减压状态之后再注入液相的工作流体，但是，也可以取而代之，向空腔部114内注入液相的工作流体之后，再将空腔部114内进行脱气处理。

如上所述，设置有台阶部127的另一侧突出部122的剖面形状成为凸状，流路126位于凸状的突起部。在向经过脱气处理后的空腔部114注入液相的工作流体之后，通过利用铆接夹具等将流路126的中央部(与孔部124相对应的部位和与空腔部114相对应的部位之间的部位)压扁到一侧突出部121面上，从而将流路126密封并在突出部上形成密封部(未图示)。通过在突出部上形成密封部，从而工作流体被封入减压后的空腔部114内。此外，通过将突出部的密封部焊接(例如，激光焊接、电阻焊等)，从而能够完全地将该密封部密封。因此，在被密封后的均热板5中，流路126在与孔部124相对应的部位和与空腔部114相对应的部位之间的部位被密封。此外，在被密封后的均热板5中，流路126成为从孔部124的位置(突出部的位置)一直残留到空腔部114的形态。

在第五实施方式例所涉及的均热板5中，只要在一侧突出部121上具有设置作为脱气口和液相的工作流体的注入口的孔部24的空间即可，此外，只要在另一侧突出部122上具有与一侧突出部121相同的空间即可，因此，能够减小一侧突出部121和另一侧突出部122的突出量。因此，能够在减小空腔部114外周的空间的同时，防止工作流体发挥传热特性的空腔部14的面积缩小。由此，即使均热板5的设置空间狭小，也能够确保空腔部114的面积，能够发挥优异的散热效率。

在均热板5中，为了将空腔部114脱气，并向空腔部114中注入工作流体，无需准备喷嘴等与容器110分体的部件，因此，能够减少零件数量。此外，在均热板5中，在制造时，无需将喷嘴等与容器10分体的部件安装到容器110上的工序，因此，生产效率方面优异。

此外，在均热板5中，由于在凸状的另一侧突出部122的剖面形状的突起部上设置有流路126，因此，通过压扁所进行的流路126的密封是容易的。此外，在均热板5的容器110中，由于与流路126的位置相对应的部位的厚度和与空腔部114的位置相对应的部位的厚度相同，因此，能够避免流路126的部位上的容器110的厚度增大。因此，在均热板5中，能够维持容器110的薄度且省略压扁流路126整体的工序。

接下来，一边使用附图一边对本实用新型的第六实施方式例所涉及的均热板进行说明。另外，关于与第五实施方式例所涉及的均热板相同的结构要素，使用相同的标号来进行说明。

在第五实施方式例所涉及的均热板中，在流路的中央部形成密封部，通过将该密封部焊接而完全地进行密封，但是，如图8中的(a)、(b)所示，在第六实施方式例所涉及的均热板6中，在利用焊接将形成在流路126的中央部的密封部完全地密封后，还在比该密封部靠前端部侧，将层叠的一侧突出部和另一侧突出部切断。

在均热板6中，流路126的中央部中的、另一侧突出部的基部与空腔部114之间的部位、即、非另一侧突出部的空腔部114的周缘部的部位被压扁到一个板状部件111的面上，从而在流路126上形成密封部。此外，将上述密封部焊接(例如，激光焊接、电阻焊等)，从而形成焊接部130。在比形成有焊接部130的密封部靠外侧、即、突出部的前端部侧，层叠的一侧突出部和另一侧突出部被切断，从而形成层叠的突出部的切断部131。因此，在密封后的均热板6中，形成在容器110的周缘部的、被焊接部130密封的流路126成为从切断部131的位置一直残留到空腔部114附近的位置的形态。

如图8中的(a)所示，在均热板6中，层叠的一侧突出部和另一侧突出部都在其基部被切断。因此，切断部131的切断面不从容器110的外周突出。

通过切断层叠的突出部，能够进一步减小层叠的突出部的突出量，此外，在均热板6中，层叠的突出部在其基部被切断，从而完全地去除层叠的突出部，因此，能够在进一步减小空腔部114外周的空间的同时，充分地确保空腔部114的面积。

接下来，一边使用附图一边对本实用新型的第七实施方式例所涉及的均热板进行说明。另外，关于与第五、第六实施方式例所涉及的均热板相同的结构要素，使用相同的标号来进行说明。

在上述第五实施方式例所涉及的均热板中，层叠的突出部设置有一个，但是，取而代之的是，如图9所示，在第七实施方式例所涉及的均热板7中，层叠的突出部设置有多个(在图9中为两个)。即，在均热板7中，一侧突出部和另一侧突出部122分别被设置有多个(在图9中为两个)。此外，在俯视观察下一个板状部件和另一个板状部件112被层叠在彼此重叠的位置处，与之相对应地，两个一侧突出部和两个另一侧突出部122分别在俯视观察下被层叠在彼此重叠的位置处，形成有两个层叠的突出部(第一层叠的突出部和第二层叠的突出部)。

层叠的突出部的位置没有特别限定，在均热板7中，在容器110的对置的端部分别设置有一个层叠的突出部。

在均热板7中，从两个层叠的突出部中的、第一层叠的突出部(在图9中为左侧的层叠的突出部)向空腔部114内注入液相的工作流体，从第二层叠的突出部(在图9中为右侧的层叠的突出部)将空腔部114内进行脱气处理，从而使空腔部114内成为减压状态。即，在均热板7中，设置有液相的工作流体注入用的层叠的突出部和空腔部114脱气用的层叠的突出部。

在第七实施方式例所涉及的均热板7中，也与层叠的突出部为一个的第五实施方式例所涉及的均热板相同，能够减小层叠的突出部的突出量，因此，能够在减小空腔部114外周的空间的同时，防止工作流体发挥传热特性的空腔部114的面积缩小。

接下来，一边使用附图一边对本实用新型的第八实施方式例所涉及的均热板进行说明。另外，关于与第五～第七实施方式例所涉及的均热板相同的结构要素，使用相同的标号来进行说明。

在第八实施方式例所涉及的均热板中，在一个板状部件的中央部，没有设置凹部，而是成为平面状，但是取而代之，如图10中的(a)所示，在第八实施方式例所涉及的均热板8中，不仅在另一个板状部件112上，还在一个板状部件111的中央部也设置凹部144。一个板状部件111的凹部144设置在俯视观察下与另一个板状部件112的凹部114’重叠的位置上。

因此，如图10中的(b)所示，另一个板状部件112的凹部114’和一个板状部件111的凹部144形成容器110的空腔部114。即，通过另一个板状部件112的凹部114’内表面和一个板状部件111的凹部144内表面形成的容器110的中空部成为空腔部114。

在均热板8中，也能够减小层叠的突出部的突出量，因此，能够在减小空腔部114外周的空间的同时，防止工作流体发挥传热特性的空腔部114的面积缩小。

接下来，对本实用新型的均热板的其它实施方式例进行说明。在第五实施方式例所涉及的均热板中，将流路的中央部压扁到一侧突出部面上，从而在流路上形成密封部，并将该密封部焊接，但是，也可以取而代之，还在比被焊接的密封部靠前端部侧，将层叠的突出部切断。此外，在第七实施方式例所涉及的均热板中，也可以在比被焊接的突出部的密封部靠前端部侧，将层叠的突出部的前端部切断。此外，在第五实施方式例所涉及的均热板中，台阶部和平坦面从另一侧突出部的前端部一直延伸到空腔部附近，但是，台阶部和平坦面只要设置在将流路密封的部位即可，也可以取而代之，例如，仅设置在从另一侧突出部的前端部到基部、仅设置在从另一侧突出部的前端部到基部之间的一部分、或仅设置在另一侧突出部的基部与空腔部之间的部位。

产业上的可利用性

本实用新型的均热板能够在减小封入有工作流体的空腔部的外周的空间的同时，防止空腔部的面积缩小，因此，例如，在被设置在狭小的空间，且要求优异的散热效率的领域利用价值较高。

符号说明

1、2、3、4、5、6、7、8：均热板；10、40、110：容器；11、41、111：一个板状部件；12、42、112：另一个板状部件；14、44、114：空腔部；21、121：一侧突出部；22、122：另一侧突出部；24：第一孔部；25：第二孔部；124：孔部；26、126：流路；127：台阶部。