一种带上料器真空气相沉积炉的制作方法

技术总结
本发明提出了一种带上料器真空气相沉积炉，所述真空气相沉积炉包括加热炉体、炉体内设有螺旋式上料器，炉身还设有上电极和下电极。所述上电极和下电极分别与射频电源的两个输出电极相连或/和直流电源的两个输出电极相连。各部分受控的气压、气氛、电场、磁场、加热方式组合使用实现对粉体材料的真空气相沉积工艺。具有效率高，反应快速的优点。反应快速的优点。反应快速的优点。


技术研发人员：言伟雄
受保护的技术使用者：株洲弗拉德科技有限公司
技术研发日：2020.01.15
技术公布日：2021/7/15