冷凝器的制作方法

本实用新型应用于芯片、液晶、半导体制程废气处理系统中的设备。

背景技术：

现有的冷凝器在废气进行冷却回收的时候，由于废气成分主要是化学成分，n-methylformamide和diethyleneglycol-t-butylether等，不能很好的对其进行冷凝去除，如果不能很好的控制冷凝管内温度的散失，去除效率低会到时后续管路的腐蚀和烟雾的产生，保温不好会出现外部有冷凝水，会出现，外部防漏液装置的报警，影响正常设备的运行，造成正常生产产品的过程宕机的损失巨大，同时，现有的冷凝管一般保温效果较差，不同组件间不是模块化较难维护；内部清洗效果不好。

技术实现要素：

为了解决上述问题，本实用新型采用如下技术方案：

冷凝器，包括两端分别设有进气口和出气口的壳体，所述壳体中在气体流动方向上依次设有过滤部、第一冷凝器和第二冷凝器；

所述过滤部包括滤网架，所述滤网架上设置滤网；

所述第一冷凝器和第二冷凝器均连接有液管，所述液管上设有分管，分管两端与液管连通；

所述壳体底部设有水槽。

一种方式，在所述滤网架两侧的壳体开设有操作窗，滤网能从所述操作窗中穿过。

一种方式，所述第一冷凝器、第二冷凝器前侧均设有冲洗机构。

一种方式，所述冲洗机构设有若干喷头；所述喷头喷水口朝向第一冷凝器、第二冷凝器。

一种方式，所述第一冷凝器和第二冷凝器均包括架体和设置在架体上的冷凝管。

一种方式，所述架体一端设有板体，所述板体上设有两个进、出水口。

一种方式，所述壳体上设有冷凝器安装口；所述板体与冷凝器安装口匹配。

一种方式，所述进气口和出气口均设有感温器。

本实用新型的有益效果是：

提高了冷却效率，避免了堵塞；部分部件采用了模块化设计，便于后期维护。

附图说明

图1为本实用新型一种立体结构示意图；

图2为本实用新型一种拆解结构示意图；

图3为本实用新型冷凝部件机构示意图。

图中：

10壳体，20液管，21分管，31第一冷凝器，32冲洗机构，33滤网，34第二冷凝器，301架体，303板体，304进、出水口，40进气口，50出气口。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

冷凝器，包括两端分别设有进气口40和出气口50的壳体10，所述壳体10中在气体流动方向上依次设有过滤部33、第一冷凝器31和第二冷凝器34；

气流依次经过过滤部33、第一冷凝器31和第二冷凝器34；

所述过滤部33包括滤网架35，所述滤网架35上设置滤网33；

所述第一冷凝器31和第二冷凝器34均连接有液管20，所述液管20上设有分管21；分管21两端与液管20连通，在两连接部之间的液管20上设有阀体，分管也设有阀体，从而实现在主管暂停工作时，可以切换至分管21。

所述壳体10底部设有水槽60；当部分被液体冷却后滴落在水槽60中。

水槽60还设有放水机构，当水位达到一定程度后，就实行自动放水；通过液位监测，对水槽60中液位的深度有实时监测和控制，确保废液水位处在正常范围，同业传感器信号控制，排液泵；实现对水槽60中液位高低调节。

在所述滤网架35两侧的壳体10开设有操作窗，滤网33能从所述操作窗中穿过；操作窗为长条形，还设有密封门，当安装结束后将密封门关闭。

所述第一冷凝器31、第二冷凝器34前侧均设有冲洗机构32。

所述冲洗机构32设有若干喷头；所述喷头喷水口朝向第一冷凝器31、第二冷凝器34。

所述第一冷凝器31和第二冷凝器34均包括架体301和设置在架体301上的冷凝管302；使得冷凝部件也成为模块。

所述架体301一端设有板体303，所述板体303上设有两个进、出水口304。

所述壳体10上设有冷凝器安装口；所述板体303与冷凝器安装口匹配；使得冷凝器可以从壳体10侧面的安装口进行安装更换，然后将板体303封住安装口，安装管体，提高操作性。

所述进气口40和出气口50均设有感温器；实现进气口40和出气口50温度的控制，如果两端温差过大，表明冷却器可能堵塞，需要启动清洗程序。

在一些实施方式中，冰水供和回管路上也有感温器；实现对供水管路的监控，从而可以根据需要对管路中的水流进行调节，提高整个设备的工作效率。

同时，外保温采用整板钣金工艺，强度高，接缝少，减少了热量的散失，避免了由于温差导致的外部冷凝水的产生，保温效果至少提高20％。

本领域的技术人员可以明确，在不脱离本实用新型的总体精神以及构思的情形下，可以做出对于以上实施例的各种变型。其均落入本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护方案以本实用新型所附的权利要求书为准。

技术特征：

1.冷凝器，其特征在于：包括两端分别设有进气口(40)和出气口(50)的壳体(10)，所述壳体(10)中在气体流动方向上依次设有过滤部(33)、第一冷凝器(31)和第二冷凝器(34)；

所述过滤部(33)包括滤网架(35)，所述滤网架(35)上设置滤网；

所述第一冷凝器(31)和第二冷凝器(34)均连接有液管(20)，所述液管(20)上设有分管(21)，分管(21)两端与液管(20)连通；

所述壳体(10)底部设有水槽(60)。

2.根据权利要求1所述的冷凝器，其特征在于：在所述滤网架(35)两侧的壳体(10)开设有操作窗，滤网能从所述操作窗中穿过。

3.根据权利要求1所述的冷凝器，其特征在于：所述第一冷凝器(31)、第二冷凝器(34)前侧均设有冲洗机构(32)。

4.根据权利要求3所述的冷凝器，其特征在于：所述冲洗机构(32)设有若干喷头；所述喷头喷水口朝向第一冷凝器(31)、第二冷凝器(34)。

5.根据权利要求1所述的冷凝器，其特征在于：所述第一冷凝器(31)和第二冷凝器(34)均包括架体(301)和设置在架体(301)上的冷凝管(302)。

6.根据权利要求5所述的冷凝器，其特征在于：所述架体(301)一端设有板体(303)，所述板体(303)上设有两个进、出水口(304)。

7.根据权利要求6所述的冷凝器，其特征在于：所述壳体(10)上设有冷凝器安装口；所述板体(303)与冷凝器安装口匹配。

8.根据权利要求1所述的冷凝器，其特征在于：所述进气口(40)和出气口(50)均设有感温器。

9.根据权利要求8所述的冷凝器，其特征在于：所述进气口(40)和出气口(50)均设有压力检测器。

10.根据权利要求1所述的冷凝器，其特征在于：所述水槽(60)中还设有液位监测系统。

技术总结
冷凝器，包括两端分别设有进气口和出气口的壳体，所述壳体中在气体流动方向上依次设有过滤部、第一冷凝器和第二冷凝器；所述过滤部包括滤网架，所述滤网架上设置滤网；所述第一冷凝器和第二冷凝器均连接有液管，所述液管上设有分管，分管两端与液管连通；所述壳体底部设有水槽。有益效果是：提高有机废气的污染物去除率，整体保温，大大减少了保温的间隙和固定支架，提高了保温效果，避免了外部冷凝水的产生，部分部件采用了模块化设计，便于后期维护。

技术研发人员：钟平;朱青青;蒿志强;郭峰;周帅龙
受保护的技术使用者：点夺机电工程江苏有限公司
技术研发日：2020.12.08
技术公布日：2021.08.27