技术特征：
1.一种减少蒸发镀层的真空电子束冷床熔炼炉系统，其特征在于，包括熔炼单元、真空抽气单元和抽蒸发料单元；所述熔炼单元包括eb炉体(6)，所述eb炉体中设置有铸造坩埚(1)和水平坩埚(2)；所述真空抽气单元包括扩散泵(4)，所述eb炉体(6)与扩散泵(4)通过真空抽气管道(5)连通；所述抽蒸发料单元包括沉粉腔(3)和扩散泵(4)，所述eb炉体(6)与所述扩散泵(4)通过蒸发料抽除管道(7)连通，所述蒸发料抽除管道(7)的入口设置在所述水平坩埚(2)的上方；所述蒸发料抽除管道(7)包括多段，相邻段的轴心方向不同，相邻段的连接处的底部设置有所述沉粉腔(3)。2.根据权利要求1所述的真空电子束冷床熔炼炉系统，其特征在于，所述蒸发料抽除管道(7)分两段设置。3.根据权利要求2所述的真空电子束冷床熔炼炉系统，其特征在于，所述蒸发料抽除管道(7)包括第一管道和第二管道，所述第一管道和第二管道的轴心方向垂直，所述第一管道和第二管道的连接部位的底部设置有所述沉粉腔(3)。4.根据权利要求1所述的真空电子束冷床熔炼炉系统，其特征在于，所述蒸发料抽除管道(7)的入口设有格栅。5.根据权利要求1所述的真空电子束冷床熔炼炉系统，其特征在于，所述扩散泵(4)的工作压力为1～1
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pa。6.根据权利要求1所述的真空电子束冷床熔炼炉系统，其特征在于，所述沉粉腔(3)可拆除地设置在相邻段的连接处的底部。7.根据权利要求1所述的真空电子束冷床熔炼炉系统，其特征在于，在所述eb炉体(6)远离所述铸造坩埚(1)的一端的外表面上，设有抽真空口与所述真空抽气管道(5)连通。8.根据权利要求1所述的真空电子束冷床熔炼炉系统，其特征在于，在所述eb炉体(6)位于所述水平坩埚(2)上方，设有蒸发料抽除口与所述蒸发料抽除管道(7)连通。
技术总结
本发明公开了一种真空电子束冷床熔炼炉系统，包括熔炼单元、真空抽气单元和抽蒸发料单元；熔炼单元包括EB炉体，EB炉体中设置有铸造坩埚和水平坩埚；真空抽气单元包括扩散泵，EB炉体与扩散泵通过真空抽气管道连通；抽蒸发料单元包括沉粉腔和扩散泵，EB炉体与扩散泵通过蒸发料抽除管道连通，蒸发料抽除管道的入口设置在水平坩埚的上方；蒸发料抽除管道包括多段，相邻段的轴心方向不同，相邻段的连接处的底部设置有沉粉腔。本发明中通过抽蒸发料单元的设置，对杂质与原料蒸发产生的蒸发料进行收集，大大减少EB炉体与蒸发料的接触，大大减缓蒸发镀层的形成速率。蒸发镀层的形成速率。蒸发镀层的形成速率。
技术研发人员：吴景晖 雷孝吕 杜全国 王秦超 吴栋 宋彦明 姚力军
受保护的技术使用者：宁波创润新材料有限公司
技术研发日：2021.12.13
技术公布日：2022/5/17