一种真空气氛管式炉的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种真空气氛管式炉，包括有炉体，所述炉体上安装有炉膛，所述炉膛包括有安装在炉膛上的窑炉和石英管，所述窑炉内侧设有加热元件，所述石英管左端连接有流量阀。使用本发明能够有效的实现温度梯度的控制，控制稳定、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长。
【专利说明】
一种真空气氛管式炉
技术领域
[0001]本发明涉及工业炉领域，具体是一种真空气氛管式炉。
【背景技术】
[0002]真空气氛管式炉专门设计用于低温CVD工艺。如ZnO纳米结构的可控生长、氮化硅渡膜、陶瓷基片导电率测试、陶瓷电容器(MLCC)气氛烧结等等。窑炉采用氧化铝纤维制品隔热、保温，加热元件选用进口 KTL电阻丝，优质石英管炉膛，系统可预抽真空，气体采用质量流量计控制。进口单回路智能温度控制仪控制、高低温区设计隔板结构，有效的实现温度梯度的控制。真空气氛管式炉可通三路工艺气体或载体气体，气体通过质量流量计调节后，进入混合罐，最后通入炉管入口。在炉管出口上，系统配有抽真空系统，通过扩散泵机组将炉管内的气体抽出。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是提供一种真空气氛管式炉，用以解决现有技术的不足。
[0004]为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案为:
[0005]一种真空气氛管式炉，包括有炉体，其特征在于:所述炉体上安装有炉膛，所述炉膛包括有安装在炉膛上的窑炉和石英管，所述窑炉内侧设有加热元件，所述石英管左端连接有流量阀，所述石英管左端还依次安装有扩散泵真空机组和电机以及安全阀和温度控制仪，所述石英管右端设有感应器。
[0006]所述的加热元件为陶瓷纤维加热器。
[0007]本发明专利的优点:
[0008]使用本发明专利能够有效的实现温度梯度的控制，控制稳定、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长。
【附图说明】
[0009]图1为本发明结构示意图。
【具体实施方式】
[0010]如图1所示，一种真空气氛管式炉，包括有炉体8，所述炉体8上安装有炉膛4，所述炉膛4包括有安装在炉膛4上的窑炉5和石英管7，所述窑炉5内侧设有加热元件11，所述石英管7左端连接有流量阀3，所述石英管7左端还依次安装有扩散泵真空机组I和电机2以及安全阀9和温度控制仪10，所述石英管7右端设有感应器6。所述的加热元件11为陶瓷纤维加热器。
【主权项】
1.一种真空气氛管式炉，包括有炉体，其特征在于:所述炉体上安装有炉膛，所述炉膛包括有安装在炉膛上的窑炉和石英管，所述窑炉内侧设有加热元件，所述石英管左端连接有流量阀，所述石英管左端还依次安装有扩散泵真空机组和电机以及安全阀和温度控制仪，所述石英管右端设有感应器。2.根据权利要求1所述的一种真空气氛管式炉，其特征在于:所述的加热元件为陶瓷纤维加热器。
【文档编号】F27B9/04GK105890351SQ201410586321
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2014年10月27日
【发明人】张时利, 王建跃, 王皓静
【申请人】合肥日新高温技术有限公司