专利名称：脉冲管冷冻机的制作方法
技术领域：
本发明涉及脉冲管冷冻机，特别涉及在脉冲管的端部上配设有热 交换器的脉冲管冷冻机。
背景技术：
一般，脉冲管冷冻机由压力振动发生器、蓄冷器、脉冲管、相位控制机构等构成。该脉冲管冷冻机与GM冷冻机及史特灵冷冻机相比 安静性较好，所以期待其作为核磁共振诊断装置(NMR)或电子显 微镜等的各种检查/分析器的冷却装置使用。图8中表示公知的双输入型脉冲管冷冻机。在该图中，氦压縮机 1、高压阀3a、以及低压阀3b构成压力振动发生器。高压阀3a配设 在氦压缩机1的高压气体的输出侧，此外，低压阈3b配设在氦压縮 机1的气体回收侧。该压力振动发生器连接在蓄冷器2的高温部2a 上。并且，高压阀3a、低压阀3b形成了以规定的周期切换的结构， 由此，形成了由氦压縮机1生成的髙压的氦气按规定的周期供给到蓄 冷器2中的结构。蓄冷器2及脉冲管6的各上端部受不锈钢制的壳体12支承。此 外，蓄冷器2及脉冲管6的各下端部形成了由连接通路4连通的结构。 具体而言，构成为，在脉冲管6的下端部设有热交换器5b，该热交 换器5b与蓄冷器2的低温部2b通过连接通路4连通。此外，在脉冲管6的高温侧(上端侧)，经由热交换器5a及节 流孔7a与缓冲箱8连接。进而，在将压力振动发生器与蓄冷器2连 接的配管、和将脉冲管6与缓冲箱8连接的配管之间设有旁路通路9， 在该旁路通路9中配设有节流孔7b。另外，在蓄冷器2内填充有铜、不锈钢制金属网等的蓄冷材料， 在热交换器5a、 5b的内部中作为热交换部件而层叠填充有铝等的波 纹板(六少千y夕':/i/一卜)或铜网io。 ii是整流器。上述的脉冲管冷冻机如果高压阀3a开阀且低压阀3b闭阀而成为 运转模式，则受压縮机1压縮的高压的氦气流入到蓄冷器2中。流入 到蓄冷器2中的氦气一边受配设在蓄冷器2内的蓄冷材料冷却而温度 降低， 一边从蓄冷器2的低温部2b通过连接通路4流入到热交换器 5b中，进一步被冷却而向脉冲管6的低温侧流入。已经存在于脉冲管6内的低压气体被新流入的动作气体压缩，所 以脉冲管6内的压力变得比缓冲箱8内的压力高。因此，脉冲管6内 的动作气体通过节流孔7a向缓冲箱8流入。接着，如果高压阀3a闭阀而低压阀3b开阀，则脉冲管6内的动 作气体流入到蓄冷器2的低温部2b内，通过蓄冷器2内，从高温部 2a经由低压阀3b被向压縮机1回收。如上所述，脉冲管6的高温侧与蓄冷器2的高温部2a侧通过具 有节流孔7b的旁路通路9连接。因此，压力变动的相位与动作气体 的体积变化的相位具有一定的相位差而变化。通过该相位差，在脉冲 管6的低温端产生伴随着动作气体的膨胀的寒冷，通过重复实施上述 工序而作为冷冻机发挥作用。在上述的双输入型脉冲冷冻机中，通过 调节设在旁路通路9中的节流孔7b能够进行上述相位差的调节。此外，为了提高冷却效率及热传递特性，在脉冲管6的上端部及 下端部上配设有热交换器5a、 5b，特别是配设在下端部上的热交换 器5b如图9中放大显示的，形成了在热交换器5b内层叠铝制或铜制 的金属网10 (mesh)的结构。另一方面，作为其他结构的热交换器，已知有专利文献l中公开 的热交换器。图10 (对于与图9所示的结构对应的结构赋予相同的 标号)表示设在专利文献1中公开的脉冲冷冻机中的热交换器5c。该热交换器5c内设有具有在图中上下方向上形成有多个的纵缝 隙14、和与该纵缝隙14的下端部连接并向图中横向延伸的圆弧状缝 隙15的热交换主体部13。此外，形成了将圆弧状缝隙15经由形成 在热交换器5c上的连通孔16与连接通路4连接的结构。该热交换器 5c构成为，在氦气通过形成于热交换主体部13上的纵缝隙14的过
程中，在氦气与热交换主体部13之间进行热交换。专利文献1日本专利特开2002—257428号公报在脉冲管冷冻机中，为了提高冷却特性，将通过动作气体在脉冲 管6内的隔热膨胀而产生的寒冷有效地取出是很重要的，因此，提高 配设在脉冲管6的低温侧的热交换器5b的热交换特性是很重要的。但是，在图9所示的以往的热交换器5b中，需要将铜网10通过 焊接等固定在热交换器5b的壳体上，在此情况下，钎焊部中的热阻 变大，由此有热交换器5b的热交换特性降低的问题。此外，在铝或 铜制的金属网IO的热交换中，由于热交换面积与闭塞容积(死容積) 的比率较低，闭塞容积变大，所以由此也使热交换器5b的热交换特 性降低。此外，图10所示的热交换器5c由于经由配设在脉冲管6内的热 交换主体部13上的纵缝隙14进行热交换，所以热交换面积变大，因 而能够提高热交换面积与闭塞容积的比率。由此，与图9所示的热交 换器5b相比能够提高热交换特性。但是，在热交换器5c中，需要在热交换主体部13上沿图中上下 方向形成多个纵缝隙14、并且在下端部形成圆弧状缝隙15以使其与 该纵缝隙14连接，有热交换主体部13的结构较复杂、制造效率较差、 制造成本上升的问题。此外，由于寒冷的取出部位(即与被冷却对象 的热连接位置)限于脉冲管6的下端部，所以还有被冷却对象的冷却 受到制约的问题。发明内容本发明是鉴于上述的问题而做出的，目的是提供一种具有热交换 效率较高并且能够实现低成本的热交换器的脉冲管冷冻机。为了解决上述问题，在本发明中，其特征在于，采用如下所述的 各机构。技术方案1所述的发明是一种脉冲管冷冻机，具有 压力振动发生器，对动作气体产生压力振动； 蓄冷器，与该压力变动源连接；
脉冲管，与该蓄冷器连接； 相位控制机构，与该脉冲管连接； 其特征在于，在将上述蓄冷器与上述脉冲管连接的部位上设有热交换器。根据上述发明，通过不在脉冲管的内部、而是在将蓄冷器与脉冲 管连接的部位上设置热交换器，能够扩大进行热交换的空间，能够提 高冷却效率。此外，与脉冲管的下端部相比能够在较大的范围中进行 冷却处理，所以能够提高使用性。此外，技术方案2所述的发明是，在技术方案1所述的脉冲管冷 冻机中，其特征在于，上述热交换器具有-蓄冷器连接部，连接上述蓄冷器；脉冲管连接部，连接上述脉冲管；台部件，形成有在上述蓄冷器连接部和上述脉冲管连接部之间连 接以使上述动作气体能够流通的多个流通通路。根据上述发明，通过形成在台部件上的多个流通通路将蓄冷器连 接部与脉冲管连接部相连接。因此，在动作气体在蓄冷器连接部与脉 冲管连接部之间流通时，与形成单一的通路的情况相比能够增大动作 气体与台部件接触的接触面积。由此，能够提高动作气体与台部件之 间的热交换效率，从而能够将台部件高效率地冷却。此外，技术方案3所述的发明是，在技术方案2所述的脉冲管冷 冻机中，其特征在于，上述流通通路是缝隙。根据上述发明，由于缝隙的形成较容易，所以能够容易且低成本 地形成流通通路。此外，技术方案4所述的发明是，在技术方案3所述的脉冲管冷 冻机中，其特征在于，设有气密地覆盖上述台部件的盖体部；在该盖体上与上述缝隙对置地设置上述蓄冷器连接部和上述脉 冲管连接部。
根据上述发明，由于形成了在盖体部上设置蓄冷器连接部和脉冲 管连接部、将缝隙设置在台部件上的结构，所以能够在分别独立的盖 体部和台部件上分别地形成蓄冷器连接部及脉冲管连接部和缝隙。因 此，与将蓄冷器连接部、脉冲管连接部及缝隙形成在同一个部件上的 结构相比，能够容易且低成本地形成蓄冷器连接部、脉冲管连接部及 缝隙。此外，技术方案5所述的发明是，在技术方案3或4所述的脉冲 管冷冻机中，其特征在于，上述缝隙一体地形成在上述台部件上。根据上述发明，与通过钎焊等将板材接合在台部件上而形成缝隙 的结构相比能够减小缝隙的热阻，所以即使设置缝隙也能够提高热交 换器的热交换效率。如上所述，根据本发明，由于能够提高热交换器的热交换效率并 且能够扩大冷却处理区域，所以能够提高脉冲管冷却机的使用性。
图1是表示作为本发明的一实施例的二级式的双输入型的脉冲管 冷却机的结构图。图2是表示作为本发明的一实施例的二级式的4阀型的脉冲管冷 却机的结构图。图3是将作为本发明的主要部分的热交换器的附近放大表示的分 解立体图。图4是作为本发明的主要部分的热交换器的俯视图 图5是将设在冷却台部件上的缝隙放大表示的图。 图6是表示缝隙的变形例的图。图7是用来说明使用代替缝隙而具有多个连通孔的连接部件的变 形例的图。图8是作为以往的一例的脉冲管冷却机的结构图。 图9是将设在作为以往的一例的脉冲管冷却机中的热交换器放大 表示的剖视图(其l)。
图10是将设在作为以往的一例的脉冲管冷却机中的热交换器放 大表示的剖视图(其2)。
具体实施方式
下面，结合
用来实施本发明的优选的实施方式。 图1及图2表示能够实施本发明的脉冲管冷冻机20A、 20B。图 1所示的脉冲管冷冻机20A是二级式双输入型的脉冲管冷冻机，图2 所示的脉冲管冷冻机20B是二级式4阀型的脉冲管冷冻机。首先，参 照图1对二级式双输入型的脉冲管冷冻机的脉冲管冷冻机20A进行 说明。脉冲管冷冻机20A由于是二级式，所以作为蓄冷器而具有第1 级蓄冷器22A和第2级蓄冷器22B,此外，作为脉冲管而具有第1 级脉冲管26A和第2级脉冲管26B。第1级蓄冷器22A的高温部30a、 第1级脉冲管26A的上端部、以及第2级脉冲管26B的上端部形成 为支承在凸缘32上的结构。第1级蓄冷器22A和第2级蓄冷器22B形成了直接连接的结构。 即，形成了将第1级蓄冷器22A的低温部30b连接在第2级蓄冷器 22B的高温部31a上的结构。第1级蓄冷器22A的低温部30b和第1 级脉冲管26A的下端部通过连接通路24A连接。此外，第2级蓄冷 器22B的低温部31b和第2级脉冲管26B的下端部通过第2连接通 路24B连接。此外，氦压縮机21、高压阀23a、以及低压阀23b构成压力振动 发生器。高压阀23a配设在氦压縮机21的高压气体的输出侧，此外， 低压阀23b配设在氦压縮机21的气体回收侧。该压力振动发生器连接在第1级蓄冷器22A的高温部30a上。并 且，高压阀23a、低压阀23b形成了以规定的周期切换的结构，由此， 由氦压縮机21生成的高压的动作气体(在本实施例中是氦气)以规 定的周期被供给到第1级蓄冷器22A中。第1级脉冲管26A的高温侧(上端侧)与第1缓冲箱28A通过 配管35b连接，在该配管35b中配设有节流孔27a。此外，在将压力8器22A连接的配管35a和第1级脉冲管26A 的高温侧之间设有第1旁路通路29A，在该第1旁路通路29A中配 设有节流孔27b。另一方面，第2级脉冲管26B的高温侧(上端侧)与第2级蓄冷 器22B通过配管35c连接，在该配管35c中配设有节流孔27c。此外， 在配管35a和第2级脉冲管26B的高温侧之间设有第2旁路通路29B, 在该第2旁路通路29B中配设有节流孔27d。在上述的脉冲管冷冻机20A中，如果高压阀23a开阀并且低压阀 23b闭阀而成为运转模式，则受氦压縮机21压縮的高压的氦气经由 配管35a流入到第1级蓄冷器22A中。流入到第1级蓄冷器22A中 的氦气一边受配设在第1级蓄冷器22A内的蓄冷材料冷却而温度降 低， 一边从第1级蓄冷器22A的低温部30b其一部分通过连接通路 24A向第1级脉冲管26A的低温侧(下端部侧)流入。由于己经存在于第1级脉冲管26A内的低压的氦气因新流入的氦 气而被压縮,所以第1级脉冲管26A内的压力变得比第1缓冲箱28A 内的压力高。因此，第1级脉冲管26A内的氦气通过节流孔27a向第 1缓冲箱28A流入。接着，如果高压阀23a闭阀而低压阀23b开阀，则第1级脉冲管 26A内的氦气流入到第1级蓄冷器22A的低温部30b内，通过第1 级蓄冷器22A内从高温部30a经由低压阀23b被向氦压縮机21回收。如上所述，第1级脉冲管26A的高温侧和配管35a通过具有节流 孔27b的第1旁路通路29A连接。因此，压力变动的相位和氦气(动 作气体)的体积变化的相位具有一定的相位差而变化。通过该相位差 在第1级脉冲管26A的低温端(下端部)产生伴随着氦气的膨胀的 寒冷。另一方面，在高压阀23a开阀而低压阀23b闭阀的运转模式中， 从氦压缩机21经由配管35a流入到第1级蓄冷器22A的氦气中，没 有流入到第1级脉冲管26A中的氦气从第1级蓄冷器22A流入到第 2级蓄冷器22B中。此时，如上述那样，由于受第1级脉冲管26A冷却的氦气流入到
第l级蓄冷器22A的低温部30b中，所以低温部30b被冷却。由此， 从第1级蓄冷器22A流入到第2级蓄冷器22B中的氦气在受第1级 脉冲管26A冷却后流入到第2级蓄冷器22B的高温部31a中。流入到第2级蓄冷器22B中的氦气一边受配设在第2级蓄冷器 22B内的蓄冷材料冷却而温度进一步降低一边达到低温部31b，接着 通过冷却台部件50向第2级脉冲管26B的低温侧(下端部)流入。 已经存在于第2级脉冲管26B内的低压的氦气被新流入的氦气压縮， 所以第2级脉冲管26B内的压力变得比第2缓冲箱28B内的压力高。 因此，第2级脉冲管26B内的动作气体通过节流孔27c向第2缓冲箱 28B流入。接着，如果高压阀23a闭阀而低压阀23b开阀，则第2级脉冲管 26B内的氦气流入到第2级蓄冷器22B的低温部30b内。流入到该第 2级蓄冷器22B的低温部30b内的氦气再通过第1级蓄冷器22A内而 从高温部30a经由低压阀23b被向氦压縮机21回收。此外，如上所述，第2级脉冲管26B的高温侧与配管35a通过具 有节流孔27d的第2旁通流路29B连接。因此，在第2级脉冲管26B 中，压力变动的相位与氦气(动作气体)的体积变化的相位也具有一 定的相位差而变化。通过该相位差，在第2级脉冲管26B的低温端(下 端部)产生伴随着氦气的膨胀的寒冷。在上述二级式的双输入型脉冲管冷冻机20A中，第1缓冲箱28A、 第2缓冲箱28B、以及节流孔27a 27d构成相位控制机构。并且， 通过调节构成该相位控制机构的设在第1旁路通路29A、 29B中的节 流孔27b、 27d，能够进行上述相位差的调节，由此能够进行高效率 的冷却。进而，由于形成了受第1级蓄冷器22A及第1级脉冲管26A 冷却的氦气被第2级蓄冷器22B及第2级脉冲管26B进一步冷却的 结构，所以能够使第2级脉冲管26B的冷却侧的温度为极低温(例如 4K左右)。接着，利用图2对二级式的4阀型的脉冲管冷冻机20B进行说明。 另外，在图2中，对于与图1所示的脉冲管冷冻机20A相同的结构 赋予相同的标号而省略其说明。
在二级式的4阀型的脉冲管冷冻机20B中，在第1级脉冲管26A 的高温侧连接有2根配管35d、 35e，并且在第2级脉冲管26B的高 温侧也连接有2根配管35f、 35g。连接在第1级脉冲管26A上的配 管35d经由节流孔27e、高压阀33a连接在氦压縮机21的供给侧(高 压侧)。此外，连接在第2级脉冲管26B上的配管35g经由节流孔 27f、高压阀34a连接在氦压縮机21的供给侧(高压侧)。此外，连接在第1级脉冲管26A的高温侧上的另一个配管35e 经由节流孔27e、高压阀33a连接在氦压縮机21的供给侧(高压側)。 进而，连接在第2级脉冲管26B的高温侧的另一个配管35f经由节流 孔27d、低压阀34b连接在氦压縮机21的气体回收侧(低压侧)。这样，在4阀型的脉冲管冷冻机20B中，形成了如下的结构在 各蓄冷器22A、 26B的高温侧，分别连接有与氦压縮机21的高压侧 连接的配管35d、 35g、和与氦压縮机21的低压侧连接的配管35e、 35f。此外，在各配管35d 35g中配设有节流孔27b、 27d、 27e、 27f、 高压阀33a、 34a以及低压阀33b、 34b,能够控制向各配管35d 35g 内的氦气的流动。在该4阔型的脉冲管冷冻机20B中，第1缓冲箱28A、第2缓冲 箱28B、节流孔27a 27f、以及各种阀33a、 33b、 34a、 34b构成相 位控制机构。并且，通过调整各节流孔27b、 27d、 27e、 27f及阀33a、 33b、 34a、 34b，能够将第1级蓄冷器22A和第1级脉冲管26A之间 的压力变动的相位与氦气(动作气体)的体积变化的相位、以及第2 级蓄冷器22B和第2级脉冲管26B之间的压力变动的相位与氦气的 体积变化的相位控制为一定的相位差，由此，在各脉冲管26A、 26B 中能够进行高效率的冷却。接着，对作为本发明的主要部分的冷却台部件50进行说明。如 上所述，冷却台部件50将第2级蓄冷器22B的低温部31b与第2级 脉冲管26B的下端部连接。该冷却台部件50如图3所示，大体由冷 却台主体51和盖体52构成，如后述那样作为热交换器发挥功能。冷却台主体51及盖体52都由热传导率较高的铜等材质形成。冷 却台主体51是圆盘状的部件，此外，盖体52做成了覆盖冷却台主体51而安装的结构。此外，在冷却台主体51上形成有多个缝隙53。在 本实施例中，该缝隙53由直线状的槽构成。另一方面，在盖体52上穿设有冷管连接孔54及脉冲管连接孔55。 在该冷管连接孔54上连接着第2级蓄冷器22B，此外，在脉冲管连 接孔55上连接着第2级脉冲管26B (低温侧)。该冷管连接孔54及 脉冲管连接孔55的配设位置构成为，在将盖体52安装在冷却台主体 51上的状态下，各连接孔54、 55与缝隙53对置。因而，如果俯视 观察将盖体52安装在冷却台主体51上的状态，则如图4所示，能够 经由各连接孔54、 55看到形成在冷却台主体51上的缝隙53。此外，在将盖体52安装在冷却台主体51上的状态下，冷却台主 体51的顶面上的没有形成缝隙53的部分成为与盖体52的顶板的内 侧面气密地接触的状态。另外，冷却台主体51与盖体52的接合只要 是能够将两者51、 52气密地接合的方法就可以，并不特别限定该方 法。如上所述，在运转模式中，第2级蓄冷器22B与第2级脉冲管 26B之间氦气双向地流动，在本实施例中，形成了氦气通过形成在冷 却台主体51上的缝隙53、并在第2级蓄冷器22B与第2级脉冲管26B 之间流动的结构。即，缝隙53作为在第2级蓄冷器22B与第2级脉 冲管26B之间使氦气流通的流通通路发挥功能。图5是将缝隙53放大表示的图。可以将缝隙53的宽度(图5中 用箭头W表示)设定为0.1mm 1.5mm，并且可以将缝隙53的高度 (图5中用箭头H表示)设定为L0mm 10.0mm。此外，从缝隙53 的加工性及后述的热交换特性的方面出发，缝隙53的宽度W优选地 设定为0.15mm 0.50mm,并且缝隙53的高度优选为4.5mm左右。作为该缝隙53的加工方法可以考虑切削加工方法、蚀刻法等， 但优选地使用线切割法。在使用线切割法的情况下，能够容易且低成 本地形成缝隙53 (槽)。形成了上述结构的冷却台部件50如图1及图2所示，配设在将 第2级蓄冷器22B与第2级脉冲管26B连接的部位上。由此，第2 级蓄冷器22B的低温部31b和第2级脉冲管26B的低温侧通过冷却
台部件50连接。具体而言,在第2级蓄冷器22B与第2级脉冲管26B 之间，氦气通过冷却台部件50内的缝隙53流通。由于缝隙53是多个槽的集合体，所以在氦气在第2级蓄冷器22B 和第2级脉冲管26B之间流通时，氦气与冷却台主体51接触的面积 与以往的连通通路4 (参照图8)相比能够扩大。由此，能够提高动 作气体与台部件之间的热交换效率，由此能够将台部件高效率地冷 却。这样，在本实施例中，不是如以往(参照图8)那样在脉冲管6 的低温侧设置热交换器5b，而是特征在于，在将第2级蓄冷器22B 与第2级脉冲管26B连接的部位上设置作为热交换器发挥功能的冷却 台部件50。由此，冷却台部件50的设计自由度提高了，能够扩大进 行热交换的空间，能够提高冷却效率。此外，与以往那样通过脉冲管 6的下端部将被冷却对象冷却的结构相比，能够以较大的范围进行冷 却处理，所以能够提高脉冲管冷却机20A、 20B的使用性。此外，在本实施例中，由于形成了通过冷却台主体51和盖体52 的2个部件构成冷却台部件50、并在盖体52上设置各连接孔54、55、 在冷却台主体51上设置缝隙53的结构，所以与将缝隙53及各连接 孔54、 55形成在同一个部件上的结构相比，能够容易且低成本地形 成缝隙53及各连接孔54、 55。进而，在本实施例中，缝隙53通过线切割法一体地形成在冷却 台主体51上。因此，与以往那样通过钎焊等将板材接合在台部件上 而形成缝隙的结构相比，能够减小缝隙53的热阻，即使设置缝隙53 也能够提高冷却台部件50的热交换效率。图6及图7表示本发明的其他实施例。在上述实施例中，表示了 使用直线状的缝隙53作为在第2级蓄冷器22B和第2级脉冲管26B 之间使氦气流通的流通通路的例子。与此相对，在图6所示的例子中， 做成了通过弯曲的缝隙56将第2级蓄冷器22B与第2级脉冲管26B 连接的结构。这样，将第2级蓄冷器22B与第2级脉冲管26B连接的缝隙并 不限于直线，也可以做成图6所示的弯曲状，或者做成未图示的波状、 锯齿状等各种形状。在做成了该结构的情况下，由于能够进一步扩大氦气与冷却台主体51的接触面积，所以能够进一步提高热交换效率。 此外，图7所示的实施例的特征是，代替槽而通过多个连通孔59 将第2级蓄冷器22B与第2级脉冲管26B连接。具体而言，通过在 由热传导性良好的铜或铝等构成的主体部58上形成有多个连通孔59 的连通部件57,将第2级蓄冷器22B与第2级脉冲管26B连接。在 本实施例中，也能够增大氦气与连通部件57的接触面积，能够提高 氦气与连通部件57的热交换效率。另外，在本实施例中作为动作气体而使用了氦气，但也可以使用 氮气、氢气等。
权利要求
1、一种脉冲管冷冻机，具有压力振动发生器，对动作气体产生压力振动；蓄冷器，与该压力变动源连接；脉冲管，与该蓄冷器连接；相位控制机构，与该脉冲管连接；其特征在于，在将上述蓄冷器与上述脉冲管连接的部位上设有热交换器。
2、 如权利要求1所述的脉冲管冷冻机，其特征在于， 上述热交换器具有蓄冷器连接部，连接上述蓄冷器； 脉冲管连接部，连接上述脉冲管；以及台部件，形成有在上述蓄冷器连接部和上述脉冲管连接部之间连 接以使上述动作气体能够流通的多个流通通路。
3、 如权利要求2所述的脉冲管冷冻机，其特征在于， 上述流通通路是缝隙。
4、 如权利要求3所述的脉冲管冷冻机，其特征在于， 设有气密地覆盖上述台部件的盖体部；在该盖体上与上述缝隙对置地设置上述蓄冷器连接部和上述脉 冲管连接部。
5、 如权利要求3或4所述的脉冲管冷冻机，其特征在于， 上述缝隙一体地形成在上述台部件上。
全文摘要
本发明涉及在脉冲管的端部上配设有热交换器的脉冲管冷冻机，目的是提高热交换效率且实现低成本。在具有相对于动作气体产生压力振动的压力振动发生器(21、23A、23B)、第1及第2级蓄冷器(22A、22B)、第1及第2级脉冲管(26A、26B)、和相位控制机构(28A、28B、27a～27d)的脉冲管冷冻机中，在将第2级蓄冷器(22B)与第2级脉冲管(26B)连接的部位上设有作为热交换器发挥功能的冷却台部件(50)。
文档编号F25B9/14GK101153754SQ20061014153
公开日2008年4月2日 申请日期2006年9月29日 优先权日2006年9月29日
发明者齐藤元和 申请人:住友重机械工业株式会社