专利名称：切割研磨废水之uf回收处理系统的制作方法
技术领域：
本发明有关于一种切割研磨废水之UF回收处理系统，特别是在低设置成本及低 损耗下，提升回收率及提升UF膜之使用寿命。
背景技术：
在电子制程相关产业，例如IC封装产业的制程，包括晶圆切割(WaferSaw)及晶圆 研磨(Wafer Back Grinding)这些制程，均会使用超纯水洗净，因此也产生了大量的切割研 磨废水。在这些电子相关产业中，芯片切割研磨废水的处理因为含有极细微的粉末颗粒， 在处理上并不容易，同时废水处理费用也相当惊人，回收率也不高。传统以UF膜处理研磨 废水的方式，多采横流过滤(Cross Flow)法进行过滤(如图1所示)，但由于使用横流过滤 (Cross Flow)法的设备较为复杂、设置成本较高，回收率也无法太高，且因为废水A的进水 流动方向和UF膜B平行，废水中的悬浮微粒C和硅粉末D，不仅会造成UF系统阻塞，也会刮 伤UF滤膜，导致UF丝膜的寿命缩短(使用寿命仅约一年)，整体回收系统的使用寿命也会 相对缩短，不符合经济效益。
发明内容
有鉴于此，本发明之主要目的在提供一种切割研磨废水之UF回收处理系统，系采 用全流过滤(Dead-end)进行过滤，并配合定期水洗、气洗和药洗机制，将废水中微细颗粒 有效拦截，达到降低浊度和S. D. I.的效能。本发明之次一目的在提供一种切割研磨废水之UF回收处理系统，藉由定期的自 动水洗流程、药洗流程和气洗流程，使UF膜经可以常保持在最佳过滤状态，延长UF膜的使 用寿命。本发明之再一目的在提供一种切割研磨废水之UF回收处理系统，藉由定期水洗 流程、药洗流程和气洗流程，以全流过滤，设备较为简单，能耗较低，不仅能降低设备成本， 而且能提升废水回收率。一种切割研磨废水之UF回收处理系统，包括废水回收储存槽、进水泵、CDA缓冲 槽、UF过滤器和UF产水储桶；系切割研磨废水回收于储存槽后，经进水泵进入UF过滤器， 产水后再储入UF产水储桶；其特征在于所述UF过滤器系采全流式(Dead-end)过滤，在产 水过程中并配设有定期或不定期的水洗流程和药洗流程。
图1习见使用横流式过滤之示图。图2本发明使用全流式过滤之示图。图3本发明之系统配置图。图4本发明之清洗流程方块图。
主要组件符号说明
A 废水
B =UF 膜
C 悬浮微粒
D 硅粉末
Al 进水方向
Bl UF膜
101研磨废水回收储存槽102 自吸桶
103=UF进水泵104 初过滤模块
105= CDA缓冲槽106 UF过滤器
107=UF产水储桶108 RO供水泵
109=UF逆洗泵110 UF药品一储存桶
111药品一加压机112 :UF药品二储存桶
113药品二加压机114 UF药品三储存桶
115药品三加压机
具体实施例方式本发明之切割研磨废水之UF回收处理系统，如图2所示，系以全流式(Dead-end) 过滤式系统过滤切割研磨废水，藉由进水方向Al和UF膜Bl垂直的全流式过滤系统，配合 定期自动的水洗、气洗和药洗的机制，维持UF膜较佳的过滤状态，可将废水的回收率提升 到90%以上。本发明之切割研磨废水之UF回收处理系统，如图3所示，该UF回收处理系统包 括切割废水回收储存槽100、研磨废水回收储存槽101、自吸桶102、UF进水泵103、初过滤 模块104、CDA缓冲槽105、UF过滤器106、UF产水储桶107、RO供水泵108、UF逆洗泵109、 UF药品一储存桶110、药品一加压机111、UF药品二储存桶112、药品二加压机113、UF药品 三储存桶114、药品三加压机115。其中，切割废水和研磨废水回收于储存槽101后，经自吸桶102、UF进水正泵103、 初过滤模块104后进入UF超滤系统106，产出的过滤水再储入UF产水储桶107。产水一段 时间后UF超滤系统内之UF膜会透过正洗、逆洗、气洗等一连串清洗程序、再视不同的废水 特性决定使用药洗的药剂，以维持UF的正常运转，接着再进入RO逆渗透过滤处理。本发明之切割研磨废水之UF回收处理系统，其UF膜系采用立式之中空纤维模， 藉由以压力差提供驱动力的过滤方式，将水中微细颗粒有效拦截，降低浊度和S. D. I.的效 能。由于本系统系以全流过滤(Dead-end)方式产水，系统设备简单，节省初投资成 本，操作上比横流过滤(Cross Flow)方式节省能源；在设定条件到达后进入清洗模式，并 在标准设定下，丝膜上堆积滤饼还没造成永久性压差前即进行清洗，以确保丝膜污堵物去 除效率维持在最高状态。本发明之UF过滤器106，在产水过程中系配设有自动清洗流程，清洗流程包括水 洗流程和药洗流程，水洗流程又可分为水洗一流程和水洗二流程，水洗一流程和水洗二流程的水洗方向相反。例如水洗一流程系由下往上清洗UF膜，水洗二流程则为由上往下清 洗UF膜。水洗一流程包括以下步骤正洗步骤启动UF进水泵，由下往上清洗膜管表面；正洗+气洗步骤导入CDA进入由下往上冲刷并松动膜管表面；正洗+逆洗步骤由膜管内侧产水道往膜管进水侧逆向冲洗，将经过正洗和气洗 松动的膜管污堵冲除；第二正洗步骤进行第二次由下而上正洗；Rinse (正洗)步骤由进水侧往产水侧以产水流量做最后Rinse。水洗一流程的步骤和水洗一流程的步骤相同，仅水洗方向不同。药洗流程，系由上往下进行药洗，包括以下步骤正洗步骤由上而下清洗膜管表面；正洗+逆洗步骤由膜管内侧产水道往膜管进水侧逆向冲洗；正洗+注药步骤持续正洗+逆洗，将药品和逆洗水混合，再由膜管内侧产水道往 膜管进水侧进行药洗；静置步骤关闭所有阀门、泵浦，静置泡药；Rinse-I (正洗)步骤由膜管内侧产水道往膜管进水侧逆向将药剂冲除；Rinse-2 (正洗二)步骤由进水侧往产水侧以产水流量做最后Rinse。上述操作模式可为手动操作或自动操作。自动产水流程可设定，当UF产水贮桶 107低于预定水位时，且研磨废水储存槽101处于预定液位以上时，UF系统开始产水程序。 产水进行至UF产水贮桶107高于预定水位或研磨废水储存槽101低于预定液位时，停止产 水。自动产水时，需侦测产水累积流量，若累积流量尚未到达设定值则可以产水，若到 达设定累积流量后，就进入水洗或药洗程序。产水途中并需连续侦测进水水质、产水水质、产水流量、进水侧压力、出水侧压力 和产水差压，若有异常则发出警报且停机。此外，如图4所示，水洗流程和药洗流程的进行程序可作如下设定先进行水洗一流程，累计达预定次数后即进行1次水洗二流程；再进行水洗一流程，累计达预定次数后再进行1次水洗二流程；进行一次化学药洗一流程；再进行水洗一流程，累计达预定次数后，再进行1次水洗二流程；再进行水洗一流程，累计达预定次数后再进行1次水洗二流程；进行一次化学药洗二流程；再重复进行。UF系统产水时，进出口压力差必须低于UF膜原厂所提供之压力范围为佳；水洗及 药洗时，进出口压力也必须低于UF膜原厂所提供之压力范围为较佳。经由以全流过滤配合定期水洗、逆洗和药洗的机制设定，在低设备成本下，使UF 膜上的滤饼堆积之前能实时清洗，而且也能减少废水中悬浮微粒或硅粉末对UF膜的伤害， 故UF膜的使用效能可以保持在较佳状态，相对地，即可延长UF膜的使用寿命，进而提升整 体的回收效能。
权利要求
1.一种切割研磨废水之UF回收处理系统，包括废水回收储存槽、进水泵、CDA缓冲槽、 UF过滤器和UF产水储桶；系切割研磨废水回收于储存槽后，经进水泵进入UF过滤器，产水 后再储入UF产水储桶；其特征在于所述UF过滤器系采全流式(Dead-end)过滤，在产水过 程中并配设有定期或不定期的水洗流程和药洗流程。
2.如权利要求1所述的切割研磨废水之UF回收处理系统，其特征在于其中所述水洗 流程包括正洗步骤清洗膜管表面；正洗+气洗步骤导入CDA进入冲刷并松动膜管表面；正洗+逆洗步骤逆向冲洗膜管，将经过正洗和气洗松动的膜管污堵冲除；以及Rinse (正洗)步骤以产水流量做最后清洗。
3.如权利要求2所述的切割研磨废水之UF回收处理系统，其特征在于其中所述水洗 流程得包括有水洗一流程和水洗二流程，水洗一流程和水洗二流程的步骤相同，但清洗方 向相反。
4.如权利要求3所述的切割研磨废水之UF回收处理系统，其特征在于其中所述药洗 流程包括正洗步骤清洗膜管表面；正洗+逆洗步骤逆向冲洗膜管表面；正洗+注药步骤持续正洗+逆洗步骤，并将药品和逆洗水混合，对膜管进行药洗；静置步骤关闭泵，静置泡药；以及Rinse (正洗)步骤以产水流量做最后清洗。
5.如权利要求4所述的切割研磨废水之UF回收处理系统，其特征在于其中所述水洗 流程和药洗流程的进行程序为首先，进行水洗一流程，累计达预定次数后再进行1次水洗二流程； 其次，进行水洗一流程，累计达预定次数后再进行1次水洗二流程； 第三，进行一次化学药洗流程；第四，重新进行水洗一流程，累计达预定次数后再进行1次水洗二流程； 第五，再进行水洗一流程，累计达预定次数后再进行1次水洗二流程； 最后，再进行一次化学药洗流程。
全文摘要
一种切割研磨废水之UF回收处理系统，系使用全流式(Dead-end)过滤系统，利用立式之中空纤维模，配合定期水洗、气洗和药洗机制，藉此，得在低设置成本、低损耗下和简易流程中，提升回收率，而且得以延长UF膜使用寿命。
文档编号C02F1/44GK102070227SQ20091022260
公开日2011年5月25日 申请日期2009年11月19日 优先权日2009年11月19日
发明者林壮恭 申请人:汉华水处理工程股份有限公司