光伏电池制造用清洗机的制作方法

本发明涉及光伏电池制造技术领域，更具体地说，涉及一种光伏电池制造用清洗机。

背景技术：

在光伏电池制造过程中，扩散工艺和lpcvd(低压化学气相沉积法，low-pressurechemicalvapordeposition)工艺都会需要石英舟装载硅片。

在扩散的过程中，石英舟表面会沉积杂质薄膜；在lpcvd工艺中，石英舟、炉管、挡板以及特气导流管表面都会沉积杂质薄膜。当杂质薄膜达到一定厚度就会对光伏电池制造工艺产生影响，降低电池片的效率。因此，要经常清洗炉管、挡板、特气导流管、石英舟以及扩散炉的尾气管，而且需要特别配液才能够清洗。

现有的清洗机，采用同一个清洗槽进行药液清洗和水清洗，则药液清洗一次后需要排放掉，并在该清洗槽内补入水，进行水清洗，这样导致药液的利用率较低，清洗成本较高。

另外，清洗扩散使用的石英舟和清洗lpcvd工艺使用的石英舟所需药液不同，现有的清洗机功能单一，只能配置一种药液，即只能清洗扩散使用的石英舟或lpcvd工艺使用的石英舟，无法满足多样化清洗需求，导致通用性较差；现有的清洗机的自动化程度也较低。

综上所述，如何提高药液的利用率，以降低清洗成本，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。

技术实现要素：

本发明的目的是提供一种光伏电池制造用清洗机，提高药液的利用率，以降低清洗成本。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种光伏电池制造用清洗机，包括：

用于采用药液清洗待清洗件的药液清洗器；

用于采用水清洗待清洗件的水清洗器；

其中，所述药液清洗器具有药液清洗槽，所述药液清洗槽设有第一排放口和第一补液口；所述水清洗器具有水清洗槽和位于所述水清洗槽内的喷淋部件，所述水清洗槽设有第二排放口和第二补液口。

优选地，所述药液清洗器还包括：与所述第一补液口连通的第一补液管，串接于所述第一补液管上的第一阀门；与所述第一排放口连通的第一排放管，串接于所述第一排放管上的第二阀门；

所述水清洗器还包括：与所述第二补液口连通的第二补液管，串接于所述第二补液管上的第三阀门；与所述第二排放口连通的第二排放管，串接于所述第二排放管上的第四阀门；

其中，所述第一补液管至少为两个，且所述第一补液口和所述第一阀门均与所述第一补液管一一对应；所述第二补液管至少为两个，且所述第二补液口和所述第二阀门均与所述第二补液管一一对应。

优选地，所述光伏电池制造用清洗机还包括：第一控制器和人机交互界面模块；

其中，所述人机交互界面模块包括：

第一设定单元，用于设定任意一个所述第一阀门的开闭时间；

第二设定单元，用于设定任意一个所述第二阀门的开闭时间；

第三设定单元，用于设定任意一个所述第三阀门的开闭时间；

第四设定单元，用于设定任意一个所述第四阀门的开闭时间；

第五设定单元，用于设定所述喷淋部件的喷淋时间；

所述第一控制器包括：

第一控制单元，用于根据所述第一阀门的开闭时间控制所述第一阀门的开闭；

第二控制单元，用于根据所述第二阀门的开闭时间控制所述第二阀门的开闭；

第三控制单元，用于根据所述第三阀门的开闭时间控制所述第三阀门的开闭；

第四控制单元，用于根据所述第四阀门的开闭时间控制所述第四阀门的开闭；

第五控制单元，用于根据所述喷淋部件的喷淋时间控制所述喷淋部件的启停。

优选地，所述第一补液管为四个，分别为硝酸补液管、氢氟酸补液管、盐酸补液管和纯水补液管。

优选地，所述喷淋部件为喷淋管，且所述喷淋管上的至少两个喷嘴的喷射角度不同。

优选地，所述药液清洗槽的顶部和所述水清洗槽的顶部均设有溢流孔。

优选地，所述光伏电池制造用清洗机还包括：

位于所述药液清洗槽和所述水清洗槽之间的挡板，所述挡板与所述药液清洗槽和所述水清洗槽密封相连且形成容纳槽；

与所述容纳槽连通的溢流排放管；

其中，所述溢流孔位于所述挡板的顶部，且所述溢流孔与所述容纳槽连通。

优选地，所述药液清洗槽和所述水清洗槽均设有鼓泡气孔。

优选地，所述光伏电池制造用清洗机还包括用于烘干所述待清洗件的烘干器。

优选地，所述烘干器包括：烘干槽，位于所述烘干槽内的加热器，设于所述烘干槽内且位于所述加热器顶端的料板，盖设于所述烘干槽的顶端的槽盖；其中，所述料板和所述槽盖均设有通风孔。

优选地，所述光伏电池制造用清洗机还包括具有通风口的机壳，所述药液清洗槽、所述水清洗槽和所述烘干器均位于所述机壳内。

优选地，所述光伏电池制造用清洗机还包括：第二控制器，用于控制所述烘干器的烘干温度在预设范围内。

优选地，所述光伏电池制造用清洗机还包括：

用于承载待清洗件的料篮，所述料篮包括：支撑孔板，设于所述支撑孔板上的支撑板；所述支撑板具有凹槽，所述凹槽的槽底呈弧形，且所述凹槽的槽口朝向所述支撑板远离所述支撑孔板的一侧；

均用于放置所述料篮的上料台和下料台。

优选地，所述支撑板至少为两个，且沿所述支撑孔板的长度方向依次分布。

优选地，所述光伏电池制造用清洗机还包括：

机械手，用于抓取所述料篮；

第三控制器，用于控制所述机械手将所述料篮自所述上料台抓取至所述药液清洗器、自所述药液清洗器抓取至所述水清洗器、自所述水清洗器抓取至所述烘干器、以及自所述烘干器抓取至所述下料台。

优选地，所述光伏电池制造用清洗机，还包括：

第一检测器，用于检测所述上料台上的所述料篮是否放反；

第二检测器，用于检测所述下料台上是否有所述料篮；

第一报警器，当所述上料台上的所述料篮放反时用于报警；

第二报警器，当所述下料台上有所述料篮时用于报警。

本发明提供的光伏电池制造用清洗机，通过设置药液清洗器和水清洗器，且药液清洗器具有药液清洗槽，该药液清洗槽设有第一排放口和第一补液口，则能够在药液清洗槽完成药液清洗；水清洗器具有水清洗槽和位于水清洗槽内的喷淋部件，水清洗槽设有第二排放口和第二补液口，则能够在水清洗槽内完成水清洗。上述光伏电池制造用清洗机，能够在药液清洗槽内完成药液清洗、在水清洗槽内完成水清洗，则药液清洗槽内的药液能够进行多次清洗，水清洗槽内的水能够进行多次清洗，较现有技术采用同一个清洗槽进行药液清洗和水清洗相比，有效提高了药液和水的利用率，降低了药液成本和水成本，从而降低了清洗成本。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的光伏电池制造用清洗机的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的光伏电池制造用清洗机中料篮的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1所示，本发明实施例提供的光伏电池制造用清洗机，包括：用于采用药液清洗待清洗件的药液清洗器；用于采用水清洗待清洗件的水清洗器。

上述药液清洗器具有药液清洗槽24，药液清洗槽24设有第一排放口8和第一补液口；水清洗器具有水清洗槽23和位于水清洗槽23内的喷淋部件15，水清洗槽23设有第二排放口13和第二补液口。

需要说明的是，当需要排出药液时，第一排气口8用于将药液清洗槽24内的药液排出；第一补液口用于向药液清洗槽24内充入所需的液体，例如药液和水；第二补液口用于向水清洗槽23内充入水；当需要排出水时，第二排气口13用于将水清洗槽23内的水排出；喷淋部件15用于向水清洗槽23内的待清洗件喷射水。

本发明实施例提供的光伏电池制造用清洗机，通过设置药液清洗器和水清洗器，且药液清洗器具有药液清洗槽24，该药液清洗槽24设有第一排放口和第一补液口，则能够在药液清洗槽24完成药液清洗；水清洗器具有水清洗槽23和位于水清洗槽23内的喷淋部件15，水清洗槽23设有第二排放口和第二补液口，则能够在水清洗槽23内完成水清洗。上述光伏电池制造用清洗机，能够在药液清洗槽24内完成药液清洗、在水清洗槽23内完成水清洗，则药液清洗槽24内的药液能够进行多次清洗，水清洗槽23内的水能够进行多次清洗，较现有技术采用同一个清洗槽进行药液清洗和水清洗相比，有效提高了药液和水的利用率，降低了药液成本和水成本，从而降低了清洗成本。

为了便于将药液和水引至所需位置，上述药液清洗器还包括：与第一补液口连通的第一补液管，与第一排放口8连通的第一排放管；上述水清洗器还包括：与第二补液口连通的第二补液管，与第二排放口13连通的第二排放管。

为了便于控制补入的药液量和水量、以及排出的药液量和水量，上述药液清洗器还包括：串接于第一补液管上的第一阀门，串接于第一排放管上的第二阀门；上述水清洗器还包括：串接于第二补液管上的第三阀门，串接于第二排放管上的第四阀门。

当然，也可选择在第一补液口、第二补液口、第一排放口8和第二排放口13设置阀门，以实现对流量的控制，并不局限于上述实施例。

优选地，上述第一补液口至少为两个，这样，也根据待清洗件的不同，补入不同的药液，满足多样化清洗需求，提高了通用性；同时，也便于现场配置清洗药液，方便了清洗。

当然，也选择第一补液口为一个，此时补入的药液为配置好的药液。

上述光伏电池制造用清洗机，通过设置多个第一补液口，可实现多种药液的补液，则能够清洗扩撒工艺使用的石英舟等部件，也能够清洗其他工艺使用的石英舟、炉管、挡板或特气导流管等部件，满足不同的清洗要求。

上述第二补液口可为一个，也可为两个以上，本发明实施例对此不做限定。优选地，上述第二补液口为两个。两个第二补液口均为第二水补液口14。

对于第一排放口8和第二排放口13的数目，可根据实际需要进行设计，通常第一排放口8和第二排放口13均为一个即可，当然，也可选择第一排放口8和第二排放口13均两个以上。

进一步地，上述第一补液管至少为两个，且第一补液口和第一阀门均与第一补液管一一对应；第二补液管至少为两个，且第二补液口和第二阀门均与第二补液管一一对应。这样，可通过每个第一补液管上的第一阀门控制经该第一补液管补入的药液或水；可通过每个第二补液管上的第二阀门控制经该第二补液管补入的水。

为了实现自动补入药液和水，上述光伏电池制造用清洗机还包括：第一控制器和人机交互界面模块21。

上述人机交互界面模块21包括：第一设定单元、第二设定单元、第三设定单元、第四设定单元和第五设定单元，第一控制器包括：第一控制单元、第二控制单元、第三控制单元、第四控制单元和第五控制单元。

上述第一设定单元用于设定任意一个第一阀门的开闭时间，第一控制单元用于根据第一阀门的开闭时间控制第一阀门的开闭；第二设定单元用于设定任意一个第二阀门的开闭时间，第二控制单元用于根据第二阀门的开闭时间控制第二阀门的开闭，第三设定单元用于设定任意一个第三阀门的开闭时间，第三控制单元用于根据第三阀门的开闭时间控制第三阀门的开闭，第四设定单元用于设定任意一个第四阀门的开闭时间，第四控制单元用于根据第四阀门的开闭时间控制第四阀门的开闭，第五设定单元用于设定喷淋部件15的喷淋时间，第五控制单元用于根据喷淋部件15的喷淋时间控制喷淋部件15的启停。

可以理解的是，人机交互界面模块21具有显示屏，该显示屏上具有控制按钮，工作人员可根据控制按钮进行所需的设定。

上述光伏电池制造用清洗机，通过人机交互界面模块21和第一控制器实现了自动补液和排液，提高了自动化程度，减少了工作人员的劳动量；同时，任意一个第一补液管均可单独控制、任意一个第二补液管均可单独控制，第一排放管和第二排放管也可单独控制，则实现了配备不同的配方的清洗药液，即实现了自由配液，提高了通用性。

当上述光伏电池制造用清洗机仅需要清洗扩散使用的石英舟或其他部件时，可优先选择第一补液管为三个，分别为氢氟酸补液管、盐酸补液管和纯水补液管。

当上述光伏电池制造用清洗机仅需要清洗lpcvd工艺使用的石英舟、炉管、挡板、特气导流管或其他部件时，可选择第一补液管为三个，分别为氢氟酸补液管、硝酸补液管和纯水补液管。

为了提高上述光伏电池制造用清洗机的通用性，既能清洗扩散使用的石英舟或其他部件，也能清洗lpcvd工艺使用的石英舟、炉管、挡板、特气导流管或其他部件，上述第一补液管为四个，分别为硝酸补液管、氢氟酸补液管、盐酸补液管和纯水补液管。

可以理解的是，第一补液口分别为硝酸补液口6、氟化氢补液口7、盐酸补液口9和第一水补液口10。

当然，也可选择上述第一补液管为其他个，以及第一补液管为其他补液管，只要能够保证对待清洗件的药液清洗即可。

上述喷淋部件15可为喷淋管或喷头等。为了提高清洗效率，优先选择上述喷淋部件15为喷淋管，且喷淋管上的至少两个喷嘴的喷射角度不同。

可以理解的是，喷淋管包括：管体，设于管体上的喷嘴；其中，喷嘴的喷射角度，是指喷嘴的喷射方向与管体轴向的夹角。

上述喷淋管中，由于存在至少两个喷嘴的喷射角度不同，则能够增加冲洗方向，增大冲洗范围，提高了清洗效率。

对于喷淋管的数目，以及一个喷淋管上喷嘴的数目，根据实际需要进行设定，本发明实施例对此不做限定。优选地，喷淋管为两个。

上述喷淋管的喷淋和自第二补液口补液，可同时开启，也可依次开启，本发明实施例对此不做限定。

在补液过程中，为了避免因补液过量而使液体溢出，上述药液清洗槽24的顶部和水清洗槽23的顶部均设有溢流孔12。对于溢流孔12的形状和数目根据实际需要进行设计，本发明实施例对此不做限定。

进一步地，上述光伏电池制造用清洗机还包括：位于药液清洗槽24和水清洗槽23之间的挡板，挡板与药液清洗槽24和水清洗槽23密封相连且形成容纳槽；与容纳槽连通的溢流排放管11；其中，溢流孔12位于挡板的顶部，且溢流孔12与容纳槽连通。

可以理解的是，此时，溢流孔12位于药液清洗槽24靠近水清洗槽23的一侧，以及水清洗槽23靠近药液清洗槽24的一侧。

上述光伏电池制造用清洗机，通过设置挡板，利用挡板和药液清洗槽24以及水清洗槽23形成容纳槽，则在移动待清洗件过程中，自带清洗件滴落的药液会落在容纳槽内，并自溢流排放管11排出。

为了提高清洗效果，上述药液清洗槽24和水清洗槽23均设有鼓泡气孔5。这样，可自鼓泡气孔5向药液清洗槽24通入气体，使得药液充分混合，提高清洗效果；也可自鼓泡气孔5向水清洗槽23通入气体，提高清洗效果。

可以理解的是，自鼓泡气孔5的气体与水和药液均不发生反应，以避免影响清洗。对于鼓泡气孔5的形状和数目，根据实际需要进行设计，例如，药液清洗槽24上的鼓泡气孔5为两排，水清洗槽23上的鼓泡气孔5为两排，本发明实施例对此不做限定。

待清洗件被清洗后，待清洗件上存留有液体，为了避免液体影响清洗效果，上述光伏电池制造用清洗机还包括用于烘干待清洗件的烘干器。

对于烘干器的类型，可根据实际需要进行设计。优选地，烘干器包括：烘干槽22，位于烘干槽22内的加热器16，设于烘干槽22内且位于加热器16顶端的料板17，盖设于烘干槽22的顶端的槽盖18；其中，料板17和槽盖18均设有通风孔。

上述料板17和槽盖18均设有通风孔，保证了烘干槽22内部气流的流动，增强了烘干效果。

当然，也可选择上述烘干器为其他结构，例如该烘干器不包括槽盖18，并不局限于上述实施例。

为了便于清洗和使用，上述光伏电池制造用清洗机还包括具有通风口1的机壳25，药液清洗槽24、水清洗槽23和烘干器均位于机壳25内。

上述机壳25具有通风口1，可利用通风口1实现与外界的连通，便于保证烘干槽22内部气流的流动，增强了烘干效果。

上述烘干器具有过热保护单元，以防止温度过热而烧坏烘干器，提高了安全性。

为了实现自动加热，上述光伏电池制造用清洗机还包括第二控制器，该第二控制器用于控制烘干器的烘干温度在预设范围内。

当然，也可根据温度设定不同的加热档位，第二控制器用于控制烘干器的烘干温度对应于设定的加热档位。

对于预设范围的具体范围，根据需要进行设计，本发明实施例对此不做限定。

为了便于清洗待清洗件，上述光伏电池制造用清洗机还包括：用于承载待清洗件的料篮26。这样，在移动待清洗件时，可通过移动料篮26实现，方便了移动待清洗件，从而方便了清洗。可以理解的是，在清洗过程中，待清洗件位于料篮26上。

为了方便料篮26的放置，上述光伏电池制造用清洗机还包括均用于放置料篮26的上料台4和下料台20。

对于上料台4和下料台20的具体结构，根据实际需要进行设计，本发明实施例对此不做限定。

对于料篮26的具体结构，可根据实际需要进行设计。优选地，如图2所示，上述料篮26包括：支撑孔板28，设于支撑孔板28上的支撑板29；支撑板29具有凹槽，凹槽的槽底呈弧形，且凹槽的槽口朝向支撑板29远离支撑孔板28的一侧。

上述料篮26中，支撑孔板28可用于放置石英舟、挡板等部件，支撑板29的凹槽可用于放置炉管、特气导流管等柱状部件。

进一步地，支撑板29至少为两个，且沿支撑孔板28的长度方向依次分布。这样，提高了炉管、特气导流管等柱状部件的稳定性。

上述料篮26不仅可以一次承载两架石英舟，还可以承载炉管、挡板和特气导流管，扩大了使用范围。

当然，也可选择上述料篮26为其他结构，并不局限于上述实施例。

为了减小上述光伏电池制造用清洗机的体积，以及缩短待清洗件的移动距离，优先选择上料台4、药液清洗器、水清洗器、烘干器和下料台20依次分布。进一步地，上料台4、药液清洗器、水清洗器、烘干器和下料台20沿直线依次分布。

当然，上料台4、药液清洗器、水清洗器、烘干器和下料台20还可以其他方式进行分布，并不局限于上述实施例。

为了提高自动化程度，上述光伏电池制造用清洗机还包括：机械手2和第三控制器；其中，机械手2用于抓取料篮26；第一控制器用于控制机械手2将料篮26自上料台4抓取至药液清洗器、自药液清洗器抓取至水清洗器、自水清洗器抓取至烘干器、以及自烘干器抓取至下料台20。

上述光伏电池制造用清洗机，通过第三控制器和机械手2实现了自动移动待清洗件，提高了自动化程度。

上述料篮26呈条形，相应的，优先选择药液清洗槽24、水清洗槽23和烘干槽22均为条形槽。当料篮26的长度方向垂直于药液清洗槽24的长度方向时，需要调整料篮26的方向才能将料篮26放入药液清洗槽24。为了简化对机械手2的控制，上述光伏电池制造用清洗机还包括：第一检测器3和第一报警器；其中，第一检测器3用于检测上料台4上的料篮26是否放反；当上料台4上的料篮26放反时第一报警器用于报警。

需要说明的是，当平移料篮26时，无法将上料台4上的料篮26放入药液清洗槽24时，则表明上料台4上的料篮26放反。具体地，当料篮26的长度方向与药液清洗槽24的长度方向一致时，料篮26没有放反；当料篮26的长度方向与药液清洗槽24的长度方向不一致时，料篮26防反。

上述光伏电池制造用清洗机中，当第一报警器报警后，工作人员调整料篮26的放置方向，调好后，控制机械手2抓取料篮26。

优选地，第一检测器3为对射式光电传感器，支撑孔板28沿其长度方向的两端均设有竖板210，竖板210设有与光电传感器配合使用的透光孔27。

当然，也可选择第一检测器3为其他类型，并不局限于上述实施例。

进一步地，上述光伏电池制造用清洗机还包括：第二检测器19和第二报警器，其中，第二检测器19用于检测下料台20上是否有料篮26；当下料台20上有料篮26时第二报警器用于报警。

具体地，当下料台20上有料篮26时，第二报警器报警，工作人员将下料台20上的料篮26取走。

上述第二检测器19可为光电传感器，也可为红外传感器，本发明实施例对此不做限定。

对于第一报警器和第二报警器的具体类型，根据实际需要进行选择，例如第一报警器为蜂鸣器或报警灯等，第二报警器为蜂鸣器或报警灯等，本发明实施例对此不做限定。

为了更为具体阐述上述光伏电池制造用清洗机，下面根据本发明实施例提供的一种光伏电池制造用清洗机的具体地结构来说明工作过程：

首先在药液清洗槽24配液，清洗扩散使用的石英舟或者其他部件，药液的主要成分是盐酸和氟化氢；清洗lpcvd工艺使用的石英舟或者其他部件，药液的主要成分是硝酸和氟化氢，根据实际情况在人机交互控制界面模块21上自由配液，设置清洗程序；然后将需要清洗的石英舟或配件装进料篮26，将料篮26放到上料台4，第一检测器3会检测料篮26是否放反，料篮26放反时第一报警器会报警，料篮26没有放反时机械手2会过来抓取料篮26，放进药液清洗槽24内自动清洗；清洗时间结束，机械手2从药液清洗槽24中取出料篮26并将其放进水清洗槽23中，第二补液管路上的第二阀门和喷淋部件15的会根据程序的设定适时通断，保证清洗石英舟或者其他部件表面的酸液；纯水清洗结束后，机械手2将料篮26自水清洗槽23中取出并将其放进烘干槽22内烘干；烘干时间结束后，机械手2将料篮26自烘干槽22中取出来并将其放到下料台20上，第二检测器19检测到料篮26会报警，提醒收取料篮26。

根据实际清洗工艺可知，白班或者晚班大概可以清洗3组石英舟或者其他部件，石英舟或者其他部件在药液清洗槽24中浸泡漂洗的时间较长，相对在水清洗槽23中的冲洗时间和在烘干槽22烘干的时间较短，因此，当水清洗槽23有料篮26，药液清洗槽24没有料篮26，上料台4有料篮26，机械手2会从上料台4抓取的料篮26放进药液清洗槽24继续清洗。所以，设置好清洗程序，上料台4上面有料篮26，即可自动清洗。工作人员只需按时自下料台20上取走料篮26即可，提高了工作效率。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。