炉管清洗机构的制作方法

本实用新型与炉管清洗工艺装置有关；具体设计一种用于清洗炉管的清洗机构。

背景技术：

炉管在各个工业生产过程中被广泛使用，是工业生产过程中不可或缺的一个生产部件，但炉管在生产使用过程中都会随使用产生一些表面玷污、应力聚集等问题，因此要通过清洗来进行解决。目前采用的清洗方式都是将炉管浸泡在药剂清洗槽体中浸泡清洗，工作效率低，清洗时间长，清洗药剂使用寿命短，清洗效果差，最主要的是炉管内外壁会同时被清洗，而真正要清洗的为接触产品的炉管内壁，外壁的清洗是对炉管不必要的损伤，导致药剂使用增加，炉管寿命降低等，导致不必要的浪费。

如何延长生产产品治具的寿命和提高工作效率，以降低生产过程中所产生的损失，是各家厂商所追求的目标之一。

技术实现要素：

为了改善上述情况，本实用新型的目的在于提供一种炉管清洗机构，可以有效的降低清洗药剂的使用，并且提高炉管的清洗效率，减少炉管壁厚的损失，延长炉管的使用寿命。

本实用新型所采用的技术方案：炉管清洗机构为了降低炉管的清洗时间，减少清洗对外壁的损伤，炉管清洗机构通过所述装置两侧的炉口半密封装置，使两侧炉管处于半封闭状态；通过管路将清洗药液注入管内；将需清洗的炉管放置在炉管驱动滚轴上面，转动炉管驱动滚轴，使炉管随驱动滚轴一起转动，此状态下仅需少量药液在内壁进行清洗以便达到最佳的清洗效果，同时避免炉管外壁的清洗损伤，提高了炉管的清洗效率并改善炉管的清洗效果，进而缩短炉管的清洗时间，缩短炉管的清洗周期，减少炉管壁厚的损失，最终可延长炉管的使用寿命。

本实用新型所采用的技术方案：炉管清洗机构有清洗槽，有转动机构；有药剂注入机构；

本实用新型所采用的技术方案：为了减少炉管壁厚的损失，将炉管口进行半封闭，将需清洗的炉管放置在转动机构上，炉管随转动机构一起转动，从而均匀的清洗炉管内壁；避免炉管壁厚的损失；

本实用新型所采用的技术方案：为了减少药剂的使用，将炉管口进行半封闭，清洗药剂只需要覆盖内壁，避免炉管整体浸泡在清洗药剂中，造成药剂的大量使用；

基于上述，本实用新型的有点与特点是该炉管清洗机构可通过对两端炉口进行半封闭，增强炉管内部的清洗效率；减少药液的使用量；避免炉管外壁清洗导致的损伤；本实用新型的炉管清洗机构效果在于解决了现有炉管清洗中的设备利用率较低，炉管清洗对外壁的损伤导致炉管使用寿命降低及炉管清洗效果差等问题；同时还具有减少清洗药剂的使用量的有点。

附图说明

图1为炉管清洗机密封机构的正视图。

图2为炉管清洗机密封机构的俯视图。

附图标号说明：

1管驱动滚轮

2炉管驱动滚轴

3清洗槽

4喇叭槽口

5炉口半密封机构

6炉管

7.药剂添加管路

具体实施方式

半导体工艺设备中，一般会使用各种炉管作为反应室，当炉管使用时间较长时，反应室内会积累一层附着物，造成生产中的颗粒污染，尤其对于热壁式的化学气相沉积炉管，这一污染问题尤为严重。因而在生产过程中每隔一段时间，就需要对各炉管进行清洁处理，一般采用浸泡清洗的方式，以减少对生产的影响。

对炉管进行清洗时，先将脏的炉管从设备中取出，将其浸泡在药液中浸泡以腐蚀炉管壁上的累积附着物。浸泡的过程中整个炉管都会被药液腐蚀，清洗完成后。排掉药液，再使用大量离子水对该炉管进行冲洗，并烘干待用，在这一清洗过程中，浸泡清洗使用时间长，炉管往往浸泡在清洗槽底部，清洗药剂会腐蚀炉管的外壁，且清洗效果不强，影响药剂和炉管的使用寿命。

本实用新型结合工艺需要，对现有炉管的清洗方式进行改进，通过炉管清洗机构，半密封炉管的状态下再转动炉管进行清洗。下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。

所述炉管清洗机构包括炉管驱动滚轮、炉管驱动滚轴及清洗槽；

所述炉管清洗机构侧面有炉口半密封机构；

炉管清洗机构有一清洗槽3，清洗槽3用以放置炉管驱动滚轮1、炉管驱动滚轴2及炉管6；清洗不需要控制药剂流量，清洗药剂液位，不会腐蚀炉管外壁。

将炉管6放在炉管驱动滚轴2上面，使炉管随炉管驱动滚轮1一起转动，药剂通过两侧药剂添加管路7从喇叭槽口4注入，多余的部分会从半密封机构5溢出回流；既保持了清洗药剂的循环更新又避免了清洗药剂直接腐蚀外壁，清洗炉管更顺利，亦可提高其使用寿命，缩短炉管的清洗周期。

本实用新型的炉管清洗机构结合现有工艺需要，解决了现有炉管清洗中的设备利用率低的问题，同时还具有减少清洗药剂的使用量的有点，提高清洗炉管的效率并延长药剂和炉管的使用寿命，炉管清洗效果更佳。炉管清洗机构比较稳定，故障率低，比原先的清洗方式缩短一半的周期。炉管寿命提高了60％。