1.一种含氟回用水的处理方法，其特征在于，包含如下步骤：
(1)预处理，向ph值为8～9的含氟废水中引入过量氢氧化钙和氯化钙；
(2)絮凝沉淀，向预处理后的水体中加入混凝剂，然后，调节废水的ph值为6-7，再引入絮凝剂；
(3)过滤，絮凝沉淀后的废水取上清液，过滤，然后，利用反渗透膜进行反渗透处理；
(4)toc降解及紫外线杀菌，对反渗透膜出水进行toc降解及紫外线照射杀菌处理；
(5)edi处理，通过电去离子系统对紫外线照射杀菌处理后的水体进行处理，所述电去离子系统中填充的树脂为负载有纳米水合氧化锆的多孔聚苯乙烯树脂；
(6)toc降解及紫外线杀菌，对edi出水进行toc降解处理，再经紫外线照射杀菌处理；
(7)精密过滤，经紫外线照射处理后水体利用精密过滤器进行过滤。
2.根据权利要求1所述的含氟回用水的处理方法，其特征在于，步骤(1)中，以水体中氟的质量浓度为基准，所述氢氧化钙的投加量为
3.根据权利要求1所述的含氟回用水的处理方法，其特征在于，步骤(2)中，所述混凝剂为pac，以水体中氟的质量浓度为基准，其投加量为cpac＝4cf-；所述絮凝剂为pam，以水体中氟的质量浓度为基准，其投加量为cpam＝4cf-。
4.根据权利要求1所述的含氟回用水的处理方法，其特征在于，步骤(4)中，所述紫外线照射具体为，利用uv-254nm紫外线杀菌器对toc降解后的出水进行处理。
5.根据权利要求1所述的含氟回用水的处理方法，其特征在于，步骤(5)中，所述edi处理具体为，先对步骤(4)出水进行一级edi处理，然后再进行二级edi处理，所述二级edi处理的电去离子系统中填充的树脂为负载有纳米水合氧化锆的多孔聚苯乙烯树脂。
6.根据权利要求5所述的含氟回用水的处理方法，其特征在于，步骤(5)中，所述二级edi处理的进水中氟离子浓度上限为5mg/l。
7.根据权利要求1所述的含氟回用水的处理方法，其特征在于，步骤(7)中，精密过滤器的过滤精度为5um。
8.一种超纯水，其特征在于，利用权利要求1-7任一所述的含氟回用水的处理方法制备得到。
9.如权利要求8所述的超纯水的应用，其特征在于，将其应用于制造集成电路的工艺中，对电路板的清洗。