技术特征：
1.一种超声驱动控制的微液滴集群清洗方法，其特征在于，包括s1.通过振动部件将超声振动加载在载气流上，将微液滴加入到所述载气流中，形成微触点单元；或通过振动部件将超声振动加载在混合有微液滴的载气流上，形成微触点单元；s2.携带所述微触点单元的所述载气流在压力作用下输送/冲击到待处理表面，形成触点，清除/清洗所述待处理表面。2.根据权利要求1所述的一种超声驱动控制的微液滴集群清洗方法，其特征在于，所述载气流为所述微液滴中主要溶剂的饱和或过热蒸气/汽。3.根据权利要求1所述的一种超声驱动控制的微液滴集群清洗方法，其特征在于，调节所述载气流的温度、所述超声部件的超声频率或功率、所述微液滴的体积或上述三种参数的任意组合，以适应所述待处理表面。4.根据权利要求1所述的一种超声驱动控制的微液滴集群清洗方法，其特征在于，所述微液滴粒径小于等于300um。5.根据权利要求1所述的一种超声驱动控制的微液滴集群清洗方法，其特征在于，所述微液滴为水，所述载气流为水蒸气/蒸汽；或所述微液滴为hc化合物，所述载气流为hc蒸气/蒸汽；或所述微液滴为包含清洗剂的溶液，所述载气流为所述溶液中主要溶剂的蒸气或蒸汽。6.根据权利要求1所述的一种超声驱动控制的微液滴集群清洗方法，其特征在于，所述载气流温度为所述载气流沸点温度的上下30摄氏度之间。7.根据权利要求1所述的一种超声驱动控制的微液滴集群清洗方法，其特征在于，所述载气流射流流速为大于等于10m/s。8.根据权利要求1所述的一种超声驱动控制的微液滴集群清洗方法，其特征在于，所述超声波为纵波。9.根据权利要求1所述的一种超声驱动控制的微液滴集群清洗方法，其特征在于，所述超声波频率为大于等于20khz小于等于100khz。