清扫装置的制作方法

1.本发明涉及单晶炉清扫技术领域，尤其是涉及一种清扫装置。


背景技术：

2.单晶炉是一种在惰性气体(氩气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。其中，单晶炉拉出的晶棒暂储至单晶炉的副室内。
3.由于单晶体是在持续的高温低压保护气体下生产的，这对单晶炉室内的环境要求严格，因此，当晶棒取出后，需要对单晶炉的炉体内壁上附着的氧化物等进行全面清理，特别是副室。但是，由于副室的结构较为特殊，且副室设置位置较高、副室长度远大于其内径(例如内径位于300mm～600mm、长度位于4000mm～5000mm)，导致副室的清理难度较大。
4.目前，大部分单晶炉设备的副室均为人工进行清理，例如人工手持可伸缩拖把在副室正下方进行操作，然而，副室的上部难以清洁到位，且工作强度较大、清洁效率较低，人工清理的效果也不太理想，这对洁净度要求极高的半导体设备带来较大的干扰，降低了生产效率。


技术实现要素：

5.本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种清扫装置，所述清扫装置便于实现单晶炉副室的自动化全面清洁，有效提升清洁效率，且保证了操作人员的作业安全。
6.根据本发明实施例的清扫装置，所述清扫装置用于清扫单晶炉的副室，且包括：支架；清扫组件，所述清扫组件设在所述支架上，且用于清扫所述副室的壁面；行走组件，所述行走组件设在所述支架上且适于支撑在所述副室的壁面上以沿所述副室的轴向竖直运动，所述行走组件包括多个行走架和多组行走轮组，多个所述行走架沿所述支架的周向依次设置，每个所述行走架上设有一组所述行走轮组，且每个所述行走架的径向内端与所述支架枢转连接，以使每组所述行走轮组与所述支架之间的径向距离可调节；多个弹性伸缩杆，多个所述弹性伸缩杆沿所述支架的周向依次设置，每个所述弹性伸缩杆相对于所述支架的轴向倾斜设置且长度可调，且每个所述弹性伸缩杆的长度两端分别与所述支架和所述行走架枢转连接，且每个所述弹性伸缩杆推动所述行走架以使所述行走轮组远离所述支架；第一驱动组件，所述第一驱动组件用于驱动至少一组所述行走轮组运动，以使多组所述行走轮组沿所述副室的壁面滚动。
7.根据本发明实施例的清扫装置，便于实现单晶炉副室的自动化全面清洁，有效提升了清洁效率，且操作人员在进行清洁作业时无需站在副室的正下方，有效保证了操作人员的作业安全；同时，通过设置弹性伸缩杆，便于保证行走组件稳定支撑于副室的壁面，壁面清扫装置向下脱落，进一步保证了作业安全性。
8.在一些实施例中，所述清扫装置还包括：多个滑移支撑件，多个所述滑移支撑件沿
所述支架的周向依次设置，每个所述滑移支撑件包括滑移件和支撑杆，所述滑移件与所述支架沿所述支架的轴向滑移配合，所述支撑杆的长度两端分别与所述滑移件和所述行走架枢转连接。
9.在一些实施例中，多个所述滑移支撑件的所述滑移件固定连接。
10.在一些实施例中，所述支架形成为筒状结构，所述筒状结构的周壁上形成有贯通的缺口，所述缺口沿所述筒状结构的轴向贯穿所述筒状结构的轴向两端。
11.在一些实施例中，所述筒状结构内设有清洁组件，所述清洁组件用于清洁所述单晶炉的牵引绳，所述牵引绳用于牵引籽晶。
12.在一些实施例中，所述清扫装置还包括：距离测量组件，所述距离测量组件设于所述支架的顶部，以用于测量所述支架与所述副室顶端的距离。
13.在一些实施例中，所述清扫组件可相对所述支架转动，所述清扫装置还包括：
14.第二驱动组件，所述第二驱动组件用于驱动所述清扫组件绕所述支架的中心轴线转动，所述清扫组件包括旋转架和第一清扫刷，所述旋转架直接或间接设在所述支架上，所述第一清扫刷为至少一个且沿所述支架的径向设置以用于清扫所述副室的周壁，所述第一清扫刷与所述旋转架可拆卸相连；和/或，所述第一清扫刷通过弹性件与所述旋转架相连，在所述支架的径向上，所述弹性件推动所述第一清扫刷远离所述支架。
15.在一些实施例中，所述清扫组件还包括：第二清扫刷，所述第二清扫刷沿所述支架的轴向设置以用于清扫所述副室的顶壁。
16.在一些实施例中，所述行走轮组包括沿所述支架的轴向间隔设置的多个行走轮，所述行走架构造成使得所述行走轮组的多个所述行走轮与所述支架之间的径向距离同步调节。
17.在一些实施例中，所述行走架包括：第一连杆，所述第一连杆为多个，多个所述第一连杆平行且沿所述支架的轴向间隔设置，多个所述第一连杆的长度相等，每个所述第一连杆的径向内端分别与所述支架枢转连接，所述第一连杆的长度两端之间具有连接部，所述连接部与所述弹性伸缩杆的长度一端枢转连接；第二连杆，所述第二连杆沿所述支架的轴向延伸，且与多个所述第一连杆的径向外端均枢转连接，所述行走轮组的多个所述行走轮沿所述第二连杆的长度方向间隔设于所述第二连杆上。
18.本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
19.本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
20.图1是根据本发明一个实施例的清扫装置的示意图；
21.图2是图1中所示的清扫装置的另一个示意图；
22.图3是图1中所示的清扫装置的再一个示意图；
23.图4是图1中所示的清扫装置的又一个示意图；
24.图5是图1中所示的清扫装置的仰视图；
25.图6是图1中所示的清扫装置的俯视图。
26.附图标记：
27.100、清扫装置；
28.1、支架；1a、筒状结构；1b、缺口；
29.2、清扫组件；21、旋转架；22、第一清扫刷；23、第二清扫刷；
30.3、行走组件；
31.31、行走架；311、第一连杆；311a、连接部；312、第二连杆；
32.32、行走轮组；321、行走轮；
33.4、弹性伸缩杆；5、第一驱动组件；
34.6、滑移支撑件；61、滑移件；62、支撑杆；
35.7、清洁组件；8、距离测量组件；9、第二驱动组件、
36.10a、控制器；10b、电源。
具体实施方式
37.下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
38.下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本发明的不同结构。为了简化本发明的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本发明。此外，本发明可以在不同例子中重复参考数字和/或字母。这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。此外，本发明提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的可应用于性和/或其他材料的使用。
39.下面，参考附图，描述根据本发明实施例的清扫装置100。其中，清扫装置100用于清扫单晶炉的副室。
40.如图1所示，清扫装置100包括支架1、清扫组件2、行走组件3和第一驱动组件5，清扫组件2设在支架1上，且清扫组件2用于清扫副室的壁面，副室大致呈筒形结构例如圆筒结构，则清扫组件2可以清扫副室的内壁面；行走组件3设在支架1上，且行走组件3适于支撑在副室的壁面以沿副室的轴向竖直运动，行走组件3包括多个行走架31和多组行走轮组32，多个行走架31沿支架1的周向依次设置，每个行走架31上设有一组行走轮组32，第一驱动组件5用于驱动至少一组行走轮组32运动，以使多组行走轮组32沿副室的壁面滚动，从而使得行走轮组32在副室中沿副室的轴向前进或后退，以带动设在支架1上的清扫组件2前进或后退，以实现自动化带动清扫组件2的移动，实现副室的自动化清洁，减少人力劳动，提高清扫效率，且具有良好的清洁效果。
41.在实际应用中，由于副室竖直布置，即副室的中心轴线竖直延伸，行走组件3适于支撑在副室的壁面以沿竖直方向上下运动，使得清扫装置100在清扫副室时，以更好地适应竖直布置的副室，简化了清扫工序，保证清扫效率。
42.显然，支架1可以用于支撑清扫组件2，确保清扫组件2在清扫副室壁面的过程中位置稳定，从而提高清扫质量；因行走组件3也设置在支架1上，当行走组件3沿副室的壁面移动时，可带动清扫组件2沿副室的壁面移动，从而实现对副室的整个壁面进行清扫，消除污
染干扰源，以达到全自动清扫副室的目的，同时，支架1也可以起到支撑行走组件3的作用，有利于提高行走组件3的运动稳定性。
43.此外，沿支架1的周向设置多组行走轮组32，使得多组行走轮组32均能与副室的壁面接触，从而多组行走轮组32均能沿副室的壁面滚动；而且，多组行走轮组32配合可增加行走组件3与副室壁面的接触面积，增大行走组件3与副室壁面的摩擦力，避免行走组件3竖向移动时、清扫装置100易发生脱落，保证清扫装置100使用可靠。
44.需要说明的是，本技术的清扫装置100与副室结合后，即清扫装置100配合于副室的内壁面以准备进行清扫，支架1的轴向与副室的轴向一致，支架1的周向即为副室的周向，支架1的径向即为副室的径向，以便保证多组行走轮组32均能稳定支撑于副室的壁面。
45.如图1-图4所示，清扫装置100还包括多个弹性伸缩杆4，多个弹性伸缩杆4沿支架1的周向依次设置，每个弹性伸缩杆4的长度两端分别与支架1和行走架31枢转连接，而每个行走架31的径向内端与支架1枢转连接，以使每组行走轮组32与支架1之间的径向距离可调节，且每个弹性伸缩杆4相对于支架1的轴向倾斜设置，且弹性伸缩杆4的长度可调，使得行走架31相对于支架1转动时，弹性伸缩杆4可以随着行走架31的转动而伸长、或缩短，以适应行走架31的转动，保证行走架31顺利转动，以更好地调节行走轮组32与支架1中心轴线之间的径向距离，便于使得清扫装置100可适应多种尺寸的副室，有利于提升清扫装置100的适用性和实用性，使得清扫装置100的使用范围具有一定普遍性。
46.其中，每个弹性伸缩杆4推动行走架31以使行走轮组32远离支架1，则弹性伸缩杆4可以始终对行走架31施加弹性力，该弹性力使得行走架31具有朝向远离支架1方向转动的趋势，以使行走轮组32在支架1的径向上远离支架1，即弹性伸缩杆4使得行走组件3向外以远离支架1张开。由此，当清扫装置100与副室配合时，行走轮组32可以在弹性伸缩杆4的作用下始终稳定支撑在副室的壁面上，保证行走轮组32与副室壁面之间具有足够的持续地挤压力，使得行走轮组32与副室壁面之间产生足够的摩擦力，保证行走组件3的竖直爬升，避免行走组件3打滑，以进一步避免清扫装置100易脱落。
47.此外，每个弹性伸缩杆4可以与一个行走架31相对应，则每个弹性伸缩杆4只需要将与其对应的行走架31朝向远离支架1中心轴线的方向推动即可，使得每个弹性伸缩杆4只需保证与其对应的行走架31上的行走轮组32与副室壁面之间具有持续地挤压力，保证行走组件3稳定在副室的壁面上竖直爬升即可，有利于降低对弹性伸缩杆4的设置要求。例如，在图的示例中，弹性伸缩杆4沿直线延伸，且在支架1的横截面上，支架1中心轴线的正投影可以位于弹性伸缩杆4正投影所在的直线上，以便于弹性伸缩杆4沿支架1的径向支撑在支架1和行走架31之间，以保证行走架31上的行走轮组32沿支架1的径向支撑于副室的壁面上，此时可以最大化地利用弹性伸缩杆4的弹性力，保证弹性伸缩杆4始终对行走架31施加弹性力，以使得行走轮组32持续稳定支撑在副室的壁面上，有效避免清扫装置100向下掉落。
48.显然，即使在行走轮组32沿副室的壁面滚动以实现清扫装置100的上下移动过程，弹性伸缩杆4也始终对行走架31产生推离以使行走架31始终具有朝向远离支架1中心轴线方向转动的趋势，而副室的壁面恰恰是通过行走轮组32限制行走架31的转动，从而使得行走轮组32稳定支撑于副室的壁面上。
49.可以理解的是，当清扫装置100用于清扫内径较小的副室时，可以克服弹性伸缩杆4的弹性力以将行走架31朝向靠近支架1中心轴线的方向转动，直至多个行走轮组32对应的
圆柱面的直径小于或等于副室的内径，再将清扫装置100配合至副室的壁面上，此时每个行走架31在弹性伸缩件4的推动下朝向远离支架1中心轴线的方向转动，以使得行走轮组32挤压副室的壁面以稳定支撑于副室的壁面；当清扫装置100用于清扫内径较大的副室时，可以将行走架31朝向远离支架1中心轴线的方向转动，直至多个行走轮组32对应的圆柱面的直径小于或等于副室的内径，再将清扫装置100配合至副室的壁面上，此时每个行走架31依然可以在弹性伸缩件4的推动下朝向远离支架1中心轴线的方向继续转动，以使得行走轮组32挤压副室的壁面以稳定支撑于副室的壁面。
50.根据本发明实施例的清扫装置100，便于实现单晶炉副室的自动化全面清洁，有效提升了清洁效率，且操作人员在进行清洁作业时无需站在副室的正下方，有效保证了操作人员的作业安全；同时，通过设置弹性伸缩杆4，便于保证行走组件3稳定支撑于副室的壁面，避免清扫装置100向下脱落，进一步保证了作业安全性，结构简单，便于实现清扫装置100的轻量化设计，有利于进一步保证清扫装置100沿竖向稳定移动而不掉落。
51.可以理解的是，行走轮组32可以为两组或两组以上。例如，在图1和图2的示例中，行走轮组32为三组，三组行走轮组32沿支架1的周向均匀间隔设置，相邻两组行走轮组32之间的夹角呈120
°
，便于采用数量较少的行走轮组32来保证整个清扫装置100在支架1的周向上的稳定性，避免清扫装置100绕支架1的轴向发生扭转，有利于进一步实现清扫装置100的轻量化设计，便于进一步降低对弹性伸缩杆4的要求；当然，在其他一些实施例中，行走轮组32也可以设为两组、或四组、或四组以上。
52.可选地，第一驱动组件5可以包括第一电机，第一电机可以直接或间接驱动行走轮组32转动。其中，第一电机优选直接驱动行走轮组32转动，以便于保证第一电机为行走轮组32提供足够动力。
53.在本发明的一些实施例中，如图1-图4所示，清扫装置100还包括多个滑移支撑件6，多个滑移支撑件6沿支架1的周向依次设置，每个滑移支撑件6包括滑移件61和支撑杆62，滑移件61与支架1沿支架1的轴向滑移配合，支撑杆62的长度两端分别与滑移件61和行走架31枢转连接，则在行走架31相对于支架1转动时，行走架31可以通过滑移支撑件6带动滑移件61相对支架1上下滑移，以提升行走架31的转动平稳性。
54.在本发明的一些实施例中，如图1-图4所示，多个滑移支撑件6的滑移件61固定连接，则多个滑移件61固定连接为一体，使得多个滑移件61相对于支架1同步滑移，从而在至少一个滑移件61相对于支架1滑移时，可以使得多个行走架31相对于支架1同步转动，以同步调节多组行走轮组32与支架1之间的径向距离，使得多组行走轮组32同时向外张开、或同时向内收缩，可以避免操作人员依次调节多个行走轮组32，提升清扫装置100的使用便捷性，以便于清扫装置100在配合于副室前快速完成调节，有利于提升清扫效率。
55.当清扫装置100用于清扫副室时，可以移动滑移件61使得滑移件61沿支架1的轴向滑移，由于多个滑移件61连接为一体，则多个滑移件61同时带动多个行走架31相对支架1转动，直至多个行走轮组32对应的圆柱面的直径小于或等于副室的内径，再将清扫装置100配合至副室的壁面上，此时松开滑移件61，多个行走架31在弹性伸缩件4的推动下总是朝向远离支架1中心轴线的方向转动，以使得行走轮组32挤压副室的壁面以稳定支撑于副室的壁面。
56.可选地，多个滑移件61可以通过装配连接手段形成为整体结构，也可以直接加工
成一体结构。
57.在本发明的一些实施例中，如图2-图6所示，支架1形成为筒状结构1a，筒状结构1a的周壁上形成有贯通的缺口1b，则缺口1b沿筒状结构1a的厚度方向贯穿筒状结构1a。其中，缺口1b沿筒状结构1a的轴向贯穿筒状结构1a的轴向两端，则清扫装置100在对副室壁面进行清扫时，单晶炉的牵引绳可以通过缺口1b配合于筒状结构1a内，使得支架1内的中空结构可以更好地避让牵引绳，保证牵引绳不会影响清扫过程，以保证清扫效率。其中，牵引绳用于牵引籽晶。
58.可选地，如图2和图6所示，筒状结构1a内设有清洁组件7，清洁组件7用于清洁单晶炉的牵引绳，则在清扫装置100沿副室的轴向移动的过程中，清洁组件7也随之沿副室的轴向移动，使得清洁组件7相对于牵引绳的长度方向移动，以依次对牵引绳的各个部位进行擦拭、清洁，进一步提升了清扫装置100的实用性。
59.可以理解的是，清洁组件7可以设在筒状结构1a内的上部、或中部、或下部等，清洁组件7在支架1轴向上的长度可以根据实际应用具体设置；例如，在图2和图6的示例中，清洁组件7设在筒状结构1a内的顶部。
60.在本发明的一些实施例中，如图2和图6所示，清扫装置100还包括距离测量组件8，距离测量组件8设于支架1的顶部，以用于测量支架1与副室顶端的距离，可以通过获取距离测量组件8测量的支架1与副室顶端的距离来获取清扫装置100的当前位置，以便实现清扫装置100的定位，可以避免清扫装置100在清扫过程中撞击副室的顶部而导致清扫装置100、副室损坏等。
61.可选地，距离测量组件8为激光传感器。
62.在本发明的一些实施例中，如图1和图2所示，清扫组件2可相对支架1转动，清扫装置100还包括第二驱动组件9，第二驱动组件9用于驱动清扫组件2绕支架1的中心轴线转动，则清扫装置100在对副室进行清扫时，清扫组件2一边相对于副室上下移动，一边相对于副室绕支架1的中心轴线转动，而副室形成为筒状，便于保证清扫组件2可对副室的整个周壁进行清扫，实现副室的无死角自动清扫，提高清扫质量。
63.需要说明的是，清扫组件2可以直接转动连接在支架1上，或清扫组件2通过其他的转动连接件连接在支架1上，只要保证清扫组件2可相对支架1转动即可。当清扫装置100配合于副室时，支架1的中心轴线可以与副室的中心轴线重合。
64.当然，在其他的一些实施例中，清扫组件2也可相对于支架1固定不动，当清扫组件2固定不动时，清扫组件2绕支架1的中心轴线设置一圈，例如清扫组件2可以形成为环形或柱形等，清扫组件2覆盖在副室的内周壁上，清扫组件2沿副室的轴向移动即可实现无死角清扫。如此设置省去了第二驱动组件9的设置，节约清扫装置100的生产成本，并减轻清扫装置100的重量，并使清扫装置100可稳定地对竖直的副室进行清扫，不易脱落。
65.如图1和图2所示，清扫组件2包括旋转架21和第一清扫刷22，旋转架21直接或间接设在支架1上，第一清扫刷22为至少一个，且第一清扫刷22沿支架1的径向设置以用于清扫副室的周壁。则清扫组件2可相对支架1转动时，第二驱动组件9可以带动旋转架21相对支架1转动，使得第一清扫刷22绕支架1的中心轴线转动，以清扫副室的整个周壁。
66.可以理解的是，第一清扫刷22可以为一个，该第一清扫刷22绕支架1的中心轴线转动，可以清扫副室的整个周壁；或者第一清扫刷22为多个，多个第一清扫刷22可以沿支架1
的周向依次布置，此时多个第一清扫刷22也可以清扫副室的整个周壁。
67.其中，第一清扫刷22与旋转架21可拆卸相连，以便于第一清扫刷22的更换、清洗；和/或，第一清扫刷22通过弹性件与旋转架21相连，在支架1的径向上，弹性件推动第一清扫刷22远离支架1，可以使得第一清扫刷22紧密止抵在副室的周壁上，适当增加第一清扫刷22和副室周壁之间的作用力，有利于提升第一清扫刷22的清扫力度，提升清扫效果，同时可以适当调整第一清扫刷22与支架1中心轴线之间的距离，使得清扫组件2可以适用于多种尺寸的副室。
68.需要说明的是，在本技术的描述中，“和/或”的含义为，包括三个并列的方案，以“a和/或b”为例，包括a方案，或b方案，或a和b同时满足的方案。
69.例如，在图1的示例中，第一清扫刷22与旋转架21可拆卸相连，且第一清扫刷22通过弹性件与旋转架21相连，在支架1的径向上，弹性件推动第一清扫刷22远离支架1。
70.可选地，当第一清扫刷22与旋转架21可拆卸相连时，旋转架21可以具有弹性夹，弹性夹夹设第一清扫刷22，以实现第一清扫刷22的可拆卸设置。当然，第一清扫刷22还可以通过其他方式与旋转架21可拆卸相连，例如通过螺栓、螺母连接的方式。
71.可选地，第一清扫刷22可以为细毛刷，当细毛刷与副室的壁面接触时，细毛刷不会划伤壁面，且细毛刷具有一定的变形能力，将细毛刷止抵在副室的壁面上时，可增加细毛刷与壁面的接触面积，提高清扫质量。当然，第一清扫刷22还可以为海绵，同样可以保证第一清扫刷22不会划伤副室壁面。
72.可选地，旋转架21通过第二驱动组件9与支架1间接相连。也就是说，第二驱动组件9的一端连接在支架1上，第二驱动组件9的另一端连接旋转架21，在实现行走组件3在移动的过程中能带动清扫组件2移动的同时，还可保证旋转架21可相对支架1转动，从而实现清扫组件2的一边移动一边转动。
73.例如，第二驱动组件9包括第二电机，第二电机安装在支架1上，旋转架21设在第二电机的远离支架1的一端。支架11用于支撑第二电机，使得第二电机的位置稳定，同时第二电机能够有效驱动清扫组件2绕支架1的中心轴线转动，无需另设安装架安装第二电机，降低生产成本，并方便第二电机的安装。其中，第二电机可以直接或间接驱动旋转架21转动；例如，在图2的示例中，第二电机通过两个啮合的齿轮驱动旋转架21转动。
74.在本发明的一些实施例中，如图1和图2所示，清扫组件2还包括第二清扫刷23，第二清扫刷23沿支架1的轴向设置以用于清扫副室的顶壁，则在清扫装置100运动至邻近副室顶部的位置时，第二清扫刷23可以转动以实现副室顶壁的清扫，例如第二清扫刷23可以清扫副室顶壁与副室周壁之间的连接位置，进一步消除清扫死角。
75.可选地，第二清扫刷23可以为细毛刷或海绵等。
76.在本发明的一些实施例中，如图1和图2所示，行走轮组32包括沿支架1的轴向间隔设置的多个行走轮321，则多个行走轮321可增加行走组件3与副室的壁面配合长度，保证行走组件3稳定支撑在副室壁面上，避免清扫装置100相对于副室倾斜而增加清扫难度。
77.例如，在图1的示例中，行走轮组32包括两个行走轮321，两个行走轮321沿支架1的轴向间隔设置。当然，行走轮组32还可以包括三个或三个以上行走轮321。
78.可选地，第一驱动组件5的数量可以小于、或等于、或大于行走轮组32的数量。当第一驱动组件5的数量大于行走轮组32的数量时，至少一个行走轮组32可以对应设置多个第
一驱动组件5；例如，在图1和图2的示例中，行走轮组32包括多个行走轮321，每个行走轮321分别对应设有一个第一驱动组件5，以便于保证行走组件3具有足够的动力，实现清扫装置100的竖向移动。
79.其中，行走架31构造成使得行走轮组32的多个行走轮321与支架1之间的径向距离同步调节，则行走架31在相对于支架1转动时，可以同步调节对应行走轮组32的多个行走轮321与支架1中心轴线之间的距离，也就是说，行走轮组32的多个行走轮321相对于支架1同步运动，便于使得行走轮组32的多个行走轮321可以始终与副室周壁相匹配。
80.例如，副室形成为圆筒结构，清扫装置100配合与副室时，行走轮组32的多个行走轮321与支架1中心轴线之间的距离相等，则在通过行走架31调整多个行走轮321与支架1中心轴线之间的距离时，该行走轮组32的多个行走轮321与支架1中心轴线之间的距离始终保持相等，以适用于不同直径的副室，同时操作人员可以无需依次调节多个行走轮321，提升了清扫装置100的使用便利性。
81.在一些实施例中，如图1-图4所示，行走架31包括第一连杆311和第二连杆312，第一连杆311为多个，多个第一连杆311平行设置，且多个第一连杆311沿支架1的轴向间隔设置，多个第一连杆311的长度相等，每个第一连杆311的径向内端分别与支架1枢转连接，第二连杆312沿支架1的轴向延伸，且第二连杆312与多个第一连杆311的径向外端分别枢转连接，则多个第一连杆311、第二连杆312和支架1可以共同构成至少一个“平行四边形”机构，而行走轮组32的多个行走轮321沿第二连杆312的长度方向间隔设于第二连杆312上，以有效保证行走轮组32的多个行走轮321同步调节。
82.其中，第一连杆311的长度两端之间具有连接部311a，连接部311a与弹性伸缩杆4的长度一端枢转连接，则弹性伸缩杆4通过连接部311a施加给行走架31一弹性力，使得上述“平行四边形”机构发生变形，以调整行走轮组32与支架1中心轴线之间的距离。
83.可以理解的是，第一连杆311可以为两个或两个以上；例如，在图1-图4的示例中，第一连杆311为两个，便于在保证行走组件3使用可靠的前提下，简化行走组件3的结构。
84.当然，行走架31的结构不限于此；例如，行走轮组32的多个行走轮321可以分别设在第一连杆311上，第二连杆312位于行走轮组32的径向内侧，且与多个第一连杆311分别枢转连接，同样可以实现行走轮组32的多个行走轮321的同步调整。
85.在一些实施例中，如图1-图6所示，清扫装置100还包括控制器10a和电源10b，控制器10a和电源10b均设于支架1，例如控制器10a和电源10b均设于支架1的底部，电源10b可以为控制器10a供电，电源10b还可以为第一驱动组件5供电，控制器10a可以接受信号、发射信号，以便于实现清扫装置100的无线控制，避免清扫装置100的连线限制清扫装置100的移动距离等，提升清扫装置100的使用便利性。
86.可以理解的是，当清扫装置100包括第二驱动组件9时，电源10b还可以为第二驱动组件9供电。
87.根据本发明实施例的清扫装置100的其他构成以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。
88.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或
位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
89.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
90.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
91.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。