[0053]另外，所述干式清洗步骤可分为以下情况而观察:i )将载气混合于粒子生成气体而利用的情况和ii )只利用粒子生成气体的情况。
[0054]在此，作为所述粒子生成气体可考虑二氧化碳或氩，并且作为载气可考虑氦或氮。
[0055]混合粒子生成气体和载气而使用的情况下，所述粒子生成气体存储部40和载气存储部50连接至混合室30。所述混合室30将所述粒子生成气体和载气充分混合的同时，执行调节混合比率的作用。优选地，所述混合比率以使载气的体积比率占混合气体整体体积的10%以上且99%以下的方式混合，从而形成二氧化碳混合气体。
[0056]在混合室30混合的混合气体流入至压力调节器20。压力调节器20调节向所述混合气体的喷嘴10的供给压力。
[0057]另外，在只利用粒子生成气体的情况下，可考虑如下:不经过所述混合室30，将所述粒子生成气体存储部40直接连接至压力调节器20，从而将粒子生成气体供给至压力调节器20。以下，作为与混合气体对比的概念，将只利用粒子生成气体的情况的粒子生成气体称作为纯粒子生成气体。
[0058]并且，优选地，考虑到生成的升华性粒子的大小及喷射速度，所述压力调节器20中的输出压力形成于如下范围内:i )在所述混合气体的情况下为5?120bar ; ii )在所述纯粒子生成气体的情况下为5?60bar。
[0059]通过所述压力调节器20的混合气体或纯粒子生成气体供给至喷嘴10的入口。
[0060]如上所述，供给至喷嘴10的入口的所述混合气体或纯粒子生成气体依次通过孔口 12、第一膨胀部14、第二膨胀部15，从而将升华性纳米粒子喷射至对象物I。
[0061]另外，只供给纯粒子生成气体的情况下，不经过所述混合步骤，而经过调节所述粒子生成气体的压力的压力调节步骤。
[0062]在此，优选地，经过所述压力调节步骤的所述粒子生成气体的压力调节至5bar以上且60bar以下，从而流入至所述喷嘴10。
[0063]此后的步骤与所述的核生成步骤、粒子生成步骤、粒子加速步骤及流动调节步骤相同。
[0064]另外，所述干式清洗步骤可考虑在密封室内实现，优选地，所述密封室装满二氧化碳或氮，以便因根据升华性粒子的对象物I的表面的冷却而水分冷凝不产生在所述对象物I的表面。另一方面也可考虑，即使干式清洗步骤不在密封室内实现，另外将二氧化碳或氮直接喷射至对象物I，从而防止水分冷凝。
[0065]并且，优选地，还包括第一移送步骤，其作为所述干式清洗步骤的前步骤，将所述对象物I装载(loading)至干式清洗位置，优选地，还包括第二步骤，其经过所述干式清洗步骤后，在干式清洗位置卸载(unloading)所述对象物I，从而可通过整体工艺实现干式清洗作业。
[0066]以上，对去除湿式清洗步骤中产生的液膜的实施例进行了观察。根据本发明的利用高速粒子束的液膜去除方法不仅可适用于所述湿式清洗步骤后残留的清洗液2，而且还可适用于液体残留在对象物I的表面的各种工艺。
[0067]例如，可适用于如下各种领域:在使用润滑油的加工工艺中，加工后留在试片的润滑油的清洗、各种显示板的清洗、太阳光发电板的清洗、光学镜片的清洗等形成于对象物I的液膜2和包含于其的污染物质或杂质3的去除所要求的各种领域。在此情况下，所述湿式清洗步骤能够由在对象物I形成液膜2的所有过程所代替。
[0068]为了说明本发明的优选实施例而使用的位置关系以附图为中心进行说明，其位置关系根据实施例形态可以不同。
[0069]此外，如果没有进行其他定义，则包括技术或科学术语而在本发明中所使用的所有术语具有与本发明所述的技术领域的具有一般知识的技术人员所通常被理解的含义相同。并且，本申请中如果没有明确定义，则不应理解为理想或过于形式的含义。
[0070]以上，举例说明了本发明的优选实施例，所述实施例、在本发明上单纯结合现有的公知技术或对本发明单纯进行变形的实施也当然属于本发明的权利范围。
【主权项】
1.一种利用高速粒子束的液膜去除方法，其特征在于，包括: 湿式清洗步骤，利用清洗液清洗对象物； 干式清洗步骤，通过喷射升华性粒子来同时去除残留于所述对象物的所述清洗液及包含于所述清洗液的污染物质或杂质， 所述干式清洗步骤，将粒子生成气体通过包括第一膨胀部和第二膨胀部的喷嘴并喷射至对象物，并且所述第二膨胀部的平均膨胀角比所述第一膨胀部的膨胀角大，所述干式清洗步骤包括:核生成步骤，所述粒子生成气体通过置于所述喷嘴的喷嘴喉的孔口的同时急速膨胀，从而实现核生成；粒子生成步骤，经过所述核生成步骤后，通过从喷嘴喉出口延伸的第一膨胀部的同时实现核生长，从而生成升华性粒子；以及粒子加速步骤，经过所述粒子生成步骤后，通过第二膨胀部的同时，抵消边界层的生长且所述升华性粒子的喷射速度上升，所述第二膨胀部从所述第一膨胀部的出口延伸并具有比所述第一膨胀部的膨胀角更大的平均膨胀角。
2.根据权利要求1所述的利用高速粒子束的液膜去除方法，其特征在于，还包括: 干燥步骤，与所述干式清洗步骤同时对所述对象物进行干燥，以便在所述干式清洗步骤中因根据升华性粒子的对象物表面的冷却而水分冷凝不产生在所述对象物的表面。
3.根据权利要求2所述的利用高速粒子束的液膜去除方法，其特征在于，所述干燥步骤包括: 加热步骤，在所述对象物的下部具备加热装置，从而对所述对象物进行加热。
4.根据权利要求2或3所述的利用高速粒子束的液膜去除方法，其特征在于，所述干燥步骤包括: 氮喷射步骤，将氮喷射在所述对象物，从而对表面进行干燥。
5.根据权利要求1所述的利用高速粒子束的液膜去除方法，其特征在于: 所述干式清洗步骤在密封室内实现，所述密封室装满二氧化碳或氮，以便因根据升华性粒子的对象物的表面的冷却而水分冷凝不产生在所述对象物的表面。
6.根据权利要求1所述的利用高速粒子束的液膜去除方法，其特征在于，还包括: 第一移送步骤，在所述湿式清洗步骤后，将所述对象物装载至干式清洗位置；以及 第二移送步骤，在所述干式清洗步骤后，将所述对象物从干式清洗位置卸载。
7.根据权利要求1所述的利用高速粒子束的液膜去除方法，其特征在于: 所述粒子生成气体由二氧化碳构成， 所述第一膨胀部具有大于0°且小于30°的膨胀角， 所述第二膨胀部具有比所述第一膨胀部的膨胀角增加10°?45°的平均膨胀角。
8.根据权利要求7所述的利用高速粒子束的液膜去除方法，其特征在于，所述干式清洗步骤经过所述粒子加速步骤后，还包括: 流动调节步骤，通过第三膨胀部的同时，向喷嘴外部形成升华性粒子的高速核，所述第三膨胀部从所述第二膨胀部的出口延伸并具有比所述第二膨胀部的平均膨胀角增加10°?45°且最大小于90°的膨胀角。
9.一种利用高速粒子束的液膜去除方法，其特征在于，包括: 干式清洗步骤，通过喷射升华性粒子去除存在于对象物的液膜及包含于所述液膜的杂质或污染物质， 所述干式清洗步骤，将粒子生成气体通过包括第一膨胀部和第二膨胀部的喷嘴并喷射至对象物，并且所述第二膨胀部的平均膨胀角比所述第一膨胀部的膨胀角大，所述干式清洗步骤包括:核生成步骤，所述粒子生成气体通过置于所述喷嘴的喷嘴喉的孔口的同时急速膨胀，从而实现核生成；粒子生成步骤，经过所述核生成步骤后，通过从喷嘴喉出口延伸的第一膨胀部的同时实现核生长，从而生成升华性粒子；以及粒子加速步骤，经过所述粒子生成步骤后，通过第二膨胀部的同时，抵消边界层的生长且所述升华性粒子的喷射速度上升，所述第二膨胀部从所述第一膨胀部的出口延伸并具有比所述第一膨胀部的膨胀角大的平均膨胀角。
10.根据权利要求9所述的利用高速粒子束的液膜去除方法，其特征在于，还包括: 干燥步骤，与所述干式清洗步骤同时对所述对象物进行干燥，以便在所述干式清洗步骤中因根据升华性粒子的对象物表面的冷却而水分冷凝不产生在所述对象物的表面。
11.根据权利要求10所述的利用高速粒子束的液膜去除方法，其特征在于，所述干燥步骤还包括: 加热步骤，在所述对象物的下部具备加热装置，从而对所述对象物进行加热。
12.根据权利要求10或11所述的利用高速粒子束的液膜去除方法，其特征在于，所述干燥步骤包括: 氮喷射步骤，将氮喷射在所述对象物，从而对表面进行干燥。
13.根据权利要求9所述的利用高速粒子束的液膜去除方法，其特征在于: 所述干式清洗步骤在密封室内实现，所述密封室装满二氧化碳或氮，以便因根据升华性粒子的对象物的表面的冷却而水分冷凝不产生在所述对象物的表面。
14.根据权利要求9所述的利用高速粒子束的液膜去除方法，其特征在于，作为所述干式清洗步骤的前步骤，还包括: 第一移送步骤，将所述对象物装载至干式清洗位置，
15.根据权利要求9所述的利用高速粒子束的液膜去除方法，其特征在于: 所述干式清洗步骤中， 所述粒子生成气体由二氧化碳构成， 所述第一膨胀部具有大于0°且小于30°的膨胀角， 所述第二膨胀部具有比所述第一膨胀部的膨胀角增加10°?45°的平均膨胀角。
16.根据权利要求15所述的利用高速粒子束的液膜去除方法，其特征在于，所述干式清洗步骤经过所述粒子加速步骤后，还包括: 流动调节步骤，通过第三膨胀部的同时，向喷嘴外部形成升华性粒子的高速核，所述第三膨胀部从所述第二膨胀部的出口延伸并具有比所述第二膨胀部的平均膨胀角增加10°?45°且最大小于90°的膨胀角。
【专利摘要】本发明涉及一种利用高速粒子束的液膜去除方法，其包括：湿式清洗步骤，利用清洗液清洗对象物；以及干式清洗步骤，通过喷射升华性粒子来同时去除残留于所述物体的所述清洗液及包含于所述清洗液的污染物质或杂质。
【IPC分类】B08B6-00, B08B7-02
【公开号】CN104853854
【申请号】CN201380065787
【发明人】金忍号, 李振远
【申请人】浦项工科大学校产学协力团
【公开日】2015年8月19日
【申请日】2013年10月25日
【公告号】WO2014098365A1