安全柜以及安全柜的除污方法与流程

文档序号:11933419阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种安全柜,其具备在内部具有作业室的柜主体、设于该柜主体的前表面并能够开闭与所述作业室连通的开口部的开闭构件、以及从所述作业室排出气体的排气路,所述作业室内的气体能够进行内部循环,其特征在于,

所述安全柜具备:

排气阀,其设于所述排气路;

供气兼循环用风扇,其设于所述作业室;

除污剂导入机构,其向所述作业室导入气状除污剂;

控制部,其控制所述排气阀、所述供气兼循环用风扇以及所述除污剂导入机构;以及

气密封闭机构,其能够利用所述开闭构件将所述开口部封闭为气密。

2.根据权利要求1所述的安全柜,其特征在于,

检测所述作业室的气状除污剂的浓度的浓度传感器设为与所述控制部连接,所述控制部基于由该浓度传感器检测出的气状除污剂的浓度而控制所述除污剂导入机构。

3.根据权利要求2所述的安全柜,其特征在于,

所述控制部基于由所述浓度传感器检测出的气状除污剂的浓度与除污时间之乘积、即CT值而控制所述除污剂导入机构。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的安全柜,其特征在于,

所述气密封闭机构具有充气密封件。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的安全柜,其特征在于,

所述除污剂导入机构构成为能够向所述作业室导入空气,

检测所述作业室的内部压力的压力传感器设为与所述控制部连接。

6.一种安全柜的除污方法,对权利要求1至5中任一项所述的安全柜进行除污,其特征在于,

使用气密封闭机构借助开闭构件将所述安全柜的作业室的开口部封闭为气密,并且关闭排气阀,在所述作业室的气体密度达到规定值以上之后,利用除污剂导入机构向所述作业室导入气状除污剂,

在所述气状除污剂的浓度上升至规定值的状态下,利用所述气状除污剂对所述作业室进行除污。

7.根据权利要求6所述的安全柜的除污方法,其特征在于,

在所述作业室的气状除污剂的CT值达到规定值时,停止所述气状除污剂的导入。

8.根据权利要求6或7所述的安全柜的除污方法,其特征在于,

在所述作业室内的所述气状除污剂的浓度为规定值以上的情况下,通过使充气密封件膨胀而将能够使与所述作业室连通的开口部开闭的开闭构件保持为无法打开。

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