安全柜以及安全柜的除污方法与流程

本发明涉及在医疗、再生医疗、制药等工业领域中使用的安全柜以及安全柜的除污方法。

背景技术：

安全柜的内部除作业用的开口部以外形成准封闭状态的作业室，并且具备如下功能：吸引在该作业室内产生的污染悬浮颗粒，不使其向作业者侧流出，另一方面，吸引回收后的污染空气通过HEPA过滤器实现无菌、清洁化后排气，根据所处理的病原体的水平，被分类为等级I、II、III。

作为这样的安全柜的一个例子，已知有专利文献1所记载的安全柜。该安全柜具备：柜主体，其在前表面具有开闭门，且在内部形成作业室；供气用的高性能过滤器，其设于所述作业室的一侧；送风机，其向该供气用的高性能过滤器压送空气；作业台，其配置于所述作业室的另一侧，并具有供该作业室内的空气通过的排气孔；连通路，其通过所述送风机吸引通过所述排气孔从所述作业室流出的空气；以及排出路，其设于所述送风机的下风侧，经由排气用的高性能过滤器向所述柜主体外排出空气。

另外，在所述连通路上设有臭氧产生器，在所述排出路上设有臭氧去除构件，在关闭所述开闭门的状态下使该臭氧产生器工作，并且使所述送风机以额定转速以下的低速进行运转，并且在所述臭氧产生器停止的状态下使所述送风机以额定转速进行运转。

在这样的安全柜中，在作业结束后，当在关闭开闭门的状态下使该臭氧产生器工作而产生臭氧气体时，产生的该臭氧气体在送风机的作用下在连通路内循环，由此，能够进行作业室外的连通路的杀菌(除污)。尤其是，在臭氧产生器工作中，由于送风机以额定转速以下的低速进行运转，因此抑制生成不必要的臭氧气体，并且能够进行相对大范围的杀菌。

另外，由于在臭氧产生器停止而基于臭氧气体的杀菌(除污)结束之后，送风机以额定转速进行运转，因此将柜主体内的空气所含的臭氧气体经由排气用的高性能过滤器逐渐排出，此时在排出路上也设置臭氧去除构件，因此能够迅速地去除臭氧气体，能够避免臭氧气体与排气一并向外部排出。

在这样的安全柜的作业室中，也进行抗癌剂、荷尔蒙剂、抗生素等的调整作业。而且，由于在调整作业结束之后，抗癌剂、荷尔蒙剂、抗生素等有可能作为残留物而悬浮或附着于作业室及其内壁面，因此为了防止残留物的再飞散，也需要对该残留物进行除污。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平7-8811号公报

然而，已知臭氧气体具有分解去除抗癌剂等的效果，在上述以往的安全柜中，能够利用臭氧气体来进行作业室外的连通路的除污。

但是，由于臭氧产生器所产生的臭氧气体没有向作业室供给，因此难以完全对在作业室中悬浮的残留物、在作业室的内壁面上附着的残留物进行除污。

而且，虽然若向上述的以往的安全柜的作业室导入臭氧气体，则能够对作业室内的残留物进行除污，但在该情况下，需要封闭作业室并且使臭氧气体在作业室循环，以免在除污中臭氧气体向作业室(安全柜)的外侧漏出。

但是，在以往的安全柜中，难以在基于臭氧气体的除污中防止臭氧气体从作业室漏出并使臭氧气体在作业室循环，并且也难以利用规定浓度的臭氧气体来进行除污。

技术实现要素：

发明要解决的课题

本发明是鉴于所述情况而作出的，其目的在于提供一种安全柜，该安全柜能够在基于臭氧气体等气状除污剂的除污中防止气状除污剂从作业室漏出，并使气状除污剂在作业室循环而利用该气状除污剂对作业室进行除污，并且能够利用规定浓度的气状除污剂对作业室进行除污。

用于解决课题的手段

为了实现所述目的，本发明的安全柜具备在内部具有作业室的柜主体、设于该柜主体的前表面并能够使与所述作业室连通的开口部开闭的开闭构件、以及从所述作业室排出气体的排气路，所述作业室内的气体能够进行内部循环，其特征在于，

所述安全柜具备：

排气阀，其设于所述排气路；

供气兼循环用风扇，其设于所述作业室；

除污剂导入机构，其向所述作业室导入气状除污剂；

控制部，其控制所述排气阀、所述供气兼循环用风扇以及所述除污剂导入机构；以及

气密封闭机构，其能够利用所述开闭构件将所述开口部封闭为气密。

在本发明中，在利用气状除污剂对作业室进行除污的情况下，控制部关闭排气阀，并且利用气密封闭机构借助开闭构件将开口部封闭为气密，之后，当控制部控制除污剂导入机构，将气状除污剂导入作业室，并且使供气兼循环用风扇驱动时，由于排气阀被关闭并且开口部被气密地封闭，因此向作业室导入的气状除污剂不会从作业室漏出，而是在作业室进行内部循环。

因而，能够在基于气状除污剂的除污中防止气状除污剂从作业室漏出，使气状除污剂在作业室循环，利用该气状除污剂对作业室进行除污。

另外，在本发明的所述结构中，优选的是，检测所述作业室的气状除污剂的浓度的浓度传感器设为与所述控制部连接，所述控制部基于由该浓度传感器检测出的气状除污剂的浓度而控制所述除污剂导入机构。

根据这样的结构，控制部基于由浓度传感器检测出的气状除污剂的浓度而控制除污剂导入机构，因此能够利用规定浓度的气状除污剂对作业室进行除污。

另外，在本发明的所述结构中，优选的是，所述控制部基于由所述浓度传感器检测出的气状除污剂的浓度与除污时间之乘积、即CT值而控制所述除污剂导入机构。

根据这样的结构，由于控制部基于由浓度传感器检测出的气状除污剂的浓度与除污时间之乘积、即CT值而控制除污剂导入机构，因此在该CT值为设定CT值以上时，控制部能够使除污剂导入机构停止。因而，能够利用气状除污剂在适当的时间进行作业室的除污。

另外，在本发明的所述结构中，优选的是，所述气密封闭机构具有充气密封件。

根据这样的结构，通过使充气密封件膨胀，能够利用开闭构件将与作业室连通的开口部封闭为气密，另一方面，通过使充气密封件收缩，能够容易地使开闭构件从开口部移动，打开开口部。

另外，在本发明的所述结构中，优选的是，所述除污剂导入机构构成为能够向所述作业室导入空气，检测所述作业室的内部压力的压力传感器设为与所述控制部连接。

根据这样的结构，由于在利用气状除污剂对作业室进行除污之前，控制部关闭排气阀，并且利用除污剂导入机构向作业室导入空气，由此使作业室的内部压力上升，利用压力传感器来检测该上升的内部压力。然后，在压力传感器检测到作业室的内部压力以规定的内部压力维持规定时间的情况下，控制部能够使除污剂导入机构启动而向作业室导入气状除污剂。因而，能够避免气状除污剂的初期漏出。

另外，本发明的安全柜的除污方法是对上述安全柜进行除污的方法，其特征在于，

使用气密封闭机构借助开闭构件将所述安全柜的作业室的开口部封闭为气密，并且关闭排气阀，在所述作业室的气体密度达到规定值以上之后，利用除污剂导入机构向所述作业室导入气状除污剂，

在所述气状除污剂的浓度上升至规定值的状态下，利用所述气状除污剂对所述作业室进行除污。

在本发明中，在基于气状除污剂的除污中防止气状除污剂从作业室漏出，能够利用规定的浓度的气状除污剂对作业室进行除污。

另外，在本发明的所述结构中，优选的是，在所述作业室的气状除污剂的CT值达到规定值时，停止所述气状除污剂的导入。

根据这样的结构，由于在作业室的气状除污剂的CT值达到规定值时，停止气状除污剂的导入，因此能够利用气状除污剂在适当的时间进行作业室的除污。

另外，在本发明的所述结构中，优选的是，在所述作业室内的所述气状除污剂的浓度为规定值以上的情况下，通过使充气密封件膨胀而将能够使与所述作业室连通的开口部开闭的开闭构件保持为无法打开。

根据这样的结构，由于在作业室内的气状除污剂的浓度为规定值以上的情况下，利用充气密封件将开闭构件保持为无法打开，因此作业者不会意外地打开开闭构件，在安全方面优异。

发明效果

根据本发明，能够在基于气状除污剂的除污中防止气状除污剂从作业室漏出，使气状除污剂在作业室循环，利用该气状除污剂对作业室进行除污，并且能够利用规定浓度的气状除污剂对作业室进行除污。

附图说明

图1示出本发明的循环式的安全柜的一个例子，且是示出其概略结构的框图。

图2A示出作业室开口部的气密封闭机构的概略结构，且是示出充气密封件进行收缩的状态的俯视剖视图。

图2B示出作业室开口部的气密封闭机构的概略结构，且是示出充气密封件进行膨胀的状态的俯视剖视图。

图2C示出作业室开口部的气密封闭机构的概略结构，且是示出充气密封件进行膨胀的状态的侧视剖视图。

图3是用于说明本发明的安全柜的运转流程的流程图。

图4是用于说明本发明的安全柜的停止流程的流程图。

图5是用于说明本发明的安全柜的除污运转流程的流程图。

图6是用于说明本发明的安全柜的除污自动停止流程的流程图。

图7是用于说明本发明的安全柜的除污强制停止流程的流程图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。

图1是示出本实施方式的安全柜的概略结构的框图。

如图1所示，安全柜具备：柜主体1，其在内部具有作业室2；闸门(开闭构件)4，其设于该柜主体1的前表面，并能够使与作业室2连通的开口部3开闭；以及排气路6，其从作业室2排出气体。

需要说明的是，虽省略图示，在柜主体1设有HEPA过滤器等过滤器，通过排气路6从作业室向外部排出的气体通过所述过滤器实现清洁化。

另外，在排气路6上设有排气阀B2。该排气阀B2由电磁阀构成，与控制部10电连接，被该控制部10控制。

另外，在柜主体1中设有供气兼循环用风扇P1。该供气兼循环用风扇P1具有如下功能：从开口部3向作业室2吸引并供给空气，并且将作业室2的气体通过排气路6向外部排出。

另外，供气兼循环用风扇P1也具有产生使作业室2内的气体进行内部循环的循环气流SA的功能。

另外，在柜主体1的内部设置隔壁11，利用该隔壁11将柜主体1的内部划分为作业室2与设置室12。在本实施方式中，由于作为气状除污剂而使用臭氧气体，因此在该设置室12中设有臭氧产生器(除污剂导入机构)13。

臭氧产生器13具备氧产生器13a与臭氧化器13b，氧产生器13a获取外部空气而产生氧气，并且将该氧气向臭氧化器13b供给，利用臭氧化器13b来产生臭氧气体(气状除污剂)。

由臭氧化器13b产生的臭氧气体通过臭氧气体供给路13c导入至作业室2。在该臭氧气体供给路13c上设有供给阀13d，通过该供给阀13d的开闭来进行臭氧气体朝向作业室2的供给以及停止。需要说明的是，供给阀13d由电磁阀构成。

另外，氧产生器13a、臭氧化器13b以及供给阀13d与控制部10电连接，被该控制部10控制。

另外，此类结构的臭氧产生器13构成为，通过驱动氧产生器13a的压缩机而能够向作业室2导入空气。

另外，在柜主体1中设有检测作业室2的臭氧气体的臭氧浓度的浓度传感器15、以及检测作业室2的温度湿度的温度湿度传感器16，上述浓度传感器15以及温度湿度传感器16与控制部10电连接。另外，在作业室2设有加湿器17，该加湿器17与控制部10电连接。

另外，在柜主体1中设有检测作业室2内的内部压力的压力传感器20。该压力传感器20测定从作业室2向外部与作业室2连通并延伸的延伸管21内的内部压力，由此检测作业室2内的内部压力，该压力传感器20与控制部10电连接。

在延伸管21的比压力传感器20靠上游侧的位置设有分解机构22。该分解机构22具有臭氧气体分解催化剂，通过利用该分解机构22来分解臭氧气体，由此不会使臭氧气体向比分解机构22靠下游侧的位置流出。另外，在延伸管21的比压力传感器20靠下游侧的位置设有由电磁阀构成的开闭阀23，该开闭阀23与控制部10电连接。

另外，在柜主体1的外侧设有臭氧监视传感器25，该臭氧监视传感器25与控制部10电连接。

另外，在柜主体1的外侧设有外部排气风扇P3，该外部排气风扇P3与控制部10电连接。然后，在利用臭氧监视传感器25在柜主体1的外侧检测到臭氧气体的情况下，控制部10打开排气阀B2，驱动外部排气风扇P3，将该臭氧气体向建筑物外排出。

另外，在柜主体1上设有能够利用闸门4气密地开闭开口部3的气密封闭机构30。

即，如图2A～图2C所示，在矩形状的开口部3的四周部中的、沿着左右边的侧缘部与沿着下边的下缘部设有剖面U字形的闸门导轨31，在沿着上边的上缘部，如图2C所示那样设有与闸门4平行分离的横条34，在该横条34上设有按压机构35。该按压机构35具备安装于横条34的下表面的剖面L形的框架35a、与设于该框架35a的螺纹孔螺合的轴部35b、以及设于该轴部35b的前端部的抵接部35c，作业者通过使轴部35b绕轴转动，由此使抵接部35c相对于闸门4接触分离。

然后，向剖面U字形的闸门导轨31插入矩形板状的闸门4的左右边部与下边部，闸门4的上边部插入到比抵接部35c靠内侧的位置。因而，闸门4能够沿着位于左右侧缘部的闸门导轨31上下滑动，并且能够在抵接部35c的作用下以该闸门4的下端部为支点沿闸门4的厚度方向移动。

然后，在闸门4的下边部插入到位于下缘部的闸门导轨31的状态下，利用闸门4堵住开口部3，另一方面，通过使闸门4向上方滑动规定距离而打开开口部3。

另外，在左右对置的闸门导轨31、31之间、并且在下侧的闸门导轨31与上侧的抵接部35c之间、并且在比闸门4靠内侧的位置，设有矩形框状的保持框32，该保持框32形成为剖面U字形，并且其开口部朝向闸门4侧。在该保持框32中插入有沿该保持框32的周向延伸的环状的充气密封件33。

该充气密封件33通过向管状的橡胶制密封件装入低压的空气而膨胀，在膨胀的状态下，如图2B以及图2C所示，充气密封件33与闸门4的背面外周部紧贴，并且通过充气密封件33的膨胀将闸门4的表面外周部与剖面U字形的闸门导轨31的外侧的片和按压机构35的抵接部35c紧密地压接，由此利用闸门4气密地封闭开口部3。

另外，在充气密封件33膨胀时，通过转动按压机构35的轴部35b，抵接部35c按压闸门4，根据杠杆原理，该闸门4以其下端部为支点朝向上侧的保持框32移动，闸门4的背面紧贴于充气密封件33。

这样，通过使充气密封件33膨胀而将闸门4保持为作业室2的开口部3无法开放，能够防止意外地打开闸门4。

另一方面，若通过从充气密封件33抽出空气而使该充气密封件33收缩时，如图2A所示，充气密封件33与闸门4的背面外周部分离，该闸门4朝向闸门导轨压接的压接状态也被解除，因此闸门4能够向上方滑动。

接下来，说明这样构成的安全柜(以下简称为BSC。)的动作。

(1)BSC的运转流程

图3是用于说明BSC的运转流程的流程图。

首先，对于在步骤S1中形成使除污·BSC为停止状态的状态、换句话说形成臭氧产生器13、供气兼循环用风扇P1停止的状态的情况，在步骤S2中，将闸门开度设置为设定值。换句话说，使闸门4上升，以使该闸门4的下缘与开口部3的下缘之间的距离(闸门高度)成为规定的距离(设定距离)的方式打开闸门4。

需要说明的是，在闸门开度超过设定值的情况下，供气兼循环用风扇P1不启动。

接下来，在步骤S3中按下运转开关。于是，由步骤S4打开排气阀B2。

接下来，在步骤S5中，控制部10判断排气阀B2是否打开，若排气阀B2没有打开，则在确认内容之后，返回步骤S4。

另一方面，若打开排气阀B2，则在步骤S6中控制部10使供气兼循环用风扇P1以及外部排气风扇P3启动。通过启动该外部排气风扇P3，将吸引至安全柜的周围的空气向建筑物外排出。

接下来，在步骤S7中，控制部10判断供气兼循环用风扇P1以及外部排气风扇P3是否正在驱动，若没有驱动，则在确认内容之后，返回步骤S4。

另一方面，若供气兼循环用风扇P1以及外部排气风扇P3正在进行驱动，则在步骤S8中持续驱动供气兼循环用风扇P1一分钟左右，进行一分钟左右除污运转。

之后，由于在步骤S9中使作业室2形成可开始作业状态，因此这之后在作业室2进行作业。

这样的作业室2内的作业成为循环规格。

(2)BSC的停止流程

图4是用于说明BSC的停止流程的流程图。

首先，对于在步骤S1中BSC成为运转状态的情况，在步骤S2中，长按风扇开关3秒钟左右。

于是，在步骤S3中，在作业结束之后，供气兼循环用风扇P1持续进行驱动一分钟左右，进行除污运转。

接下来，在步骤S4中，利用控制部10使供气兼循环用风扇P1停止，之后，在步骤S5中关闭闸门4，最后在步骤S6中形成BSC停止状态。

(3)BSC的除污运转流程

图5是用于说明BSC的除污运转流程的流程图。

首先，对于在步骤S1中形成除污·BSC成为停止状态的状态、换句话说形成臭氧产生器13、供气兼循环用风扇P1以及外部排气风扇P3停止的状态的情况，在步骤S2中判断闸门4是否关闭。若闸门4打开，则在步骤S3中关闭闸门4，返回步骤S2。

若在步骤S2中闸门4关闭(成为全闭状态)，则在步骤S4中按压除污开关。

当按压除污开关时，控制部10关闭排气阀B2。

另外，通过向充气密封件33导入空气并进行加压，利用闸门4将开口部3封闭为气密。由于充气密封件33的加压以60～70KPa为大体基准，因此在步骤S5中确认充气密封件33的加压状态，若加压不充分，立即停止，在查明原因之后，返回步骤S4，再次按压除污开关。

在步骤S5中，若充气密封件33的加压充分，则关闭排气阀B2，因此在步骤S6中启动氧产生器13a的压缩机，另一方面将供气兼循环用风扇P1预先设为停止状态，测定作业室2的气体密度。即，在关闭开闭阀23的基础上利用压力传感器20测定作业室2的气体密度。在该情况下，利用所述压缩机将作业室2加压至300～500Pa并维持。

然后，在步骤S7中确认能否将作业室2的气体密度在1～30分钟以内维持90％以上规定的压力，若气体密度不合格，立即停止，在查明原因之后，返回步骤S4，再次按压除污开关。

另一方面，若在步骤S7中作业室2的气体密度合格，则在步骤S8中，在打开供给阀13d的基础上启动臭氧产生器13，将臭氧气体导入(供给)到作业室2，并且启动加湿器17。由此，作业室2的臭氧浓度逐渐上升，并且湿度也逐渐上升。

接下来，在步骤S9中通过浓度传感器15测定作业室2的臭氧浓度。在臭氧浓度未达到200ppm等最低设定值的情况下，立即停止，在查明原因之后，返回步骤S4，再次按压除污开关。

另一方面，在步骤S9中确认臭氧浓度为200ppm等最低设定值之后，在步骤S10中通过温度湿度传感器16来测定作业室2的湿度。在作业室2的湿度未达到80％的情况下，立即停止，在查明原因之后，返回步骤S4，再次按压除污开关。

另外，在步骤S10中确认作业室2的湿度为80％以上之后，开始进行后述的除污的CT值的累积计算。然后，在步骤S11中判断臭氧产生器13是否正常驱动，在不正常的情况下，立即停止，在查明原因之后，返回步骤S4，再次按压除污开关。

另一方面，若在步骤S11中臭氧产生器13正常驱动，则在步骤S12中始终判断臭氧气体是否漏出。

在该情况下，通过臭氧监视传感器25来监视BSC外部的臭氧浓度，在臭氧浓度超过规定值的情况下，立即停止臭氧产生器13，启动外部排气风扇P3，打开排气阀B2，排出臭氧气体。然后，在查明原因之后，返回步骤S4，再次按压除污开关。

另一方面，对于在步骤S12中判断为臭氧浓度处于规定值以上、且臭氧气体没有向外部漏出的情况，在步骤S13中，作为“正常除污中”进行BSC的作业室2的除污。

(4)BSC的除污自动停止流程

图6是用于说明BSC的除污自动停止流程的流程图。

如上述那样，作为“正常除污中”进行BSC的作业室2的除污，在作业室2的除污结束的情况下，如以下那样自动停止BSC的除污。

即，控制部10控制为，基于由浓度传感器15检测出的臭氧气体的臭氧浓度与CT值，自动停止臭氧产生器13。

在此，说明CT值。

CT值是指，作业室2内的臭氧浓度(ppm)与除污时间(分)之乘积，通常设为基于臭氧的除污作用的大体基准。

并且，预先将作为大体基准的CT值作为“设定CT值”分别针对各药剂、菌类设定，将该设定CT值与实际的除污处理中的实测臭氧浓度和经过时间之积相比较，用于判断除污处理的结束。设定CT值根据作为除污处理的对象的药剂、菌类等的耐臭氧性的程度来决定，另外，在使用臭氧气体以外的气状除污剂的情况下，使用与之相应的设定CT值。

如图6所示，在步骤S1中，在正常除污中，控制部10对来自浓度传感器15的臭氧浓度输出进行取样，之后，控制部10从取样出的臭氧浓度累计CT值，在步骤S2中判断累计CT值是否达到设定CT值。

在此，说明控制部10进行的CT值的累计。

控制部10在使臭氧产生器13启动的同时，将内部计时器的值复位。另外，控制部10将在未图示的存储部中分配有存储区域的CT值(Sct)复位(Sct＝0)。

接着，控制部10将用于管理臭氧浓度的取样间隔的取样计时器的值Ts复位(Ts＝0)。

之后，每经过预先设定为取样间隔的时间Te(分)(Ts≥Te)，控制部10对臭氧浓度进行取样，将实际的取样间隔Ts(分)与取样出的臭氧浓度Co(ppm)之乘积与CT值Sct相加。

取样间隔Te例如设定为0.5～5秒，但不限于此。

控制部10在每次向CT值Sct加上取样间隔Ts与取样出的臭氧浓度Co之乘积后，比较更新后的CT值Sct与设定CT值Ect。该比较的结果是，在CT值Sct为设定CT值Ect以下时，将取样计时器的值Ts复位，反复进行臭氧浓度的取样等。

然后，在步骤S2中，若作为比较的结果而CT值Sct为设定CT值Ect以上时，例如CT值Sct达到例如作为设定CT值Ect的15000，则在步骤S3中，控制部10使臭氧产生器13停止。

之后，在步骤S4中，利用供气兼循环用风扇P1在作业室2中通过循环气流进行分解。或者，仅使氧产生器13a的压缩机运转，利用分解机构22来分解臭氧气体，打开开闭阀23而将该分解后的气体持续排出，从而降低臭氧气体浓度。

然后，在步骤S5中，通过浓度传感器15来测定作业室2内的臭氧浓度，例如若臭氧浓度为1ppm以上，则在关闭闸门4的状态下返回步骤S4。

另一方面，若臭氧浓度不足1ppm，则手动打开闸门4之后，由步骤S6使供气兼循环用风扇P1、外部排气风扇P3驱动，打开排气阀B2，将外部的空气引入作业室2，在步骤S7中，在几分钟后全部停止。

(5)BSC的除污强制停止流程

图7是用于说明BSC的除污强制停止流程的流程图。

如上述那样，在步骤S1中，对于在作为“正常除污中”对BSC的作业室2进行除污的过程中需要强制停止除污的情况，在步骤S2中将除污开关例如长按三秒钟左右。

于是，在步骤S3中，控制部10使臭氧产生器13停止。

之后，在步骤S4中，利用供气兼循环用风扇P1在作业室2中通过循环气流进行分解。或者，仅运转氧产生器13a的压缩机，利用分解机构22来分解臭氧气体，打开开闭阀23将该分解后的气体持续排出，从而降低臭氧气体浓度。

然后，在步骤S5中，利用浓度传感器15来测定作业室2内的臭氧浓度，例如若臭氧浓度为1ppm以上，则在关闭闸门4的状态下返回步骤S4。

另一方面，若臭氧浓度不足1ppm，则在手动打开闸门4之后，在步骤S6中驱动供气兼循环用风扇P1、外部排气风扇P3，打开排气阀B2，将外部的空气引入作业室2，在步骤S7中，在几分钟后全部停止。

如以上那样，根据本实施方式，在利用臭氧气体对作业室2进行除污的情况下，控制部10关闭排气阀B2，并且利用气密封闭机构30通过闸门4将开口部3封闭为气密，之后，当控制部10控制臭氧产生器13，将臭氧气体导入作业室2并且驱动供气兼循环用风扇P1时，由于排气阀B2关闭，并且开口部3被封闭为气密，因此向作业室2导入的臭氧气体不会从作业室2漏出，而是在作业室2中循环。

因而，能够在基于臭氧气体的除污中防止臭氧气体从作业室2漏出，使臭氧气体在作业室2中循环，利用该臭氧气体对作业室2进行除污。

另外，检测作业室2的臭氧浓度的浓度传感器15与控制部10连接设置，由于控制部10基于由该浓度传感器15检测出的臭氧浓度控制臭氧产生器13，因此能够利用规定浓度的臭氧气体来除污作业室2。

此外，由于控制部10基于由浓度传感器15检测出的臭氧浓度与除污时间之乘积、即CT值来控制臭氧产生器13，因此在该CT值为设定CT以上时，控制部10能够使臭氧产生器13停止。因而，能够利用臭氧气体在适当的时间进行作业室2的除污。

另外，由于气密封闭机构30具有充气密封件33，因此通过使该充气密封件33膨胀，能够利用闸门4将与作业室2连通的开口部3封闭为气密，另一方面，通过使充气密封件33收缩，能够容易地使闸门4从开口部3上升，打开开口部3。

另外，通过使充气密封件33膨胀，从而该充气密封件33紧贴于闸门4，并且闸门4的表面外周部与闸门导轨31气密地压接，因此能够可靠地气密封闭开口部3。

另外，由于检测作业室2的内部压力的压力传感器20与控制部10连接设置，因此在利用臭氧气体对作业室2进行除污之前，控制部10关闭排气阀B2，并且驱动氧产生器13a的压缩机，由此使作业室2的内部压力上升，通过压力传感器20来检测该上升的内部压力。

然后，在压力传感器20检测出作业室2的内部压力以规定的内部压力维持规定时间的情况下，控制部10能够使臭氧产生器13启动而向作业室2导入臭氧气体。因而，能够避免臭氧气体的初期漏出。

另外，由于通过使充气密封件33膨胀而能够将可开闭作业室2的开口部3的闸门4保持为无法打开，因此在作业室2内的臭氧气体的浓度为规定值以上的情况下，作业者不会意外地打开闸门4，在安全方面优异。

需要说明的是，在本实施方式中，作为气状除污剂，以使用了臭氧气体的情况为例进行说明，但本发明不限于臭氧气体，例如也可以使用具有除污作用的过氧化氢气体、二氧化氯气体等其他气状除污剂。

另外，在本实施方式中，将臭氧产生器13设置在柜主体1内，但也可以将臭氧产生器13与柜主体1分体设置，以能够装卸的方式与该柜主体1连接。

附图标记说明：

1 柜主体

2 作业室

3 开口部

4 闸门(开闭构件)

6 排气路

10 控制部

13 臭氧产生器(除污剂导入机构)

15 浓度传感器

20 压力传感器

30 气密封闭机构

B2 排气阀

P1 供气兼循环用风扇

P3 外部排气风扇