技术总结
本发明提供一种安全柜，能够在除污中防止臭氧气体从作业室漏出，并使臭氧气体在作业室循环而对作业室进行除污。安全柜具备柜主体(1)、能够使与作业室(2)连通的开口部(3)开闭的闸门(4)、从作业室(2)排气的排气路(6)、设于排气路(6)的排气阀(B2)、设于作业室(2)的供气兼循环用风扇(P1)、向作业室(2)导入臭氧气体的臭氧产生器(13)、控制排气阀(B2)、供气兼循环用风扇(P1)以及臭氧产生器(13)的控制部(10)、以及能够利用闸门(4)将开口部(3)封闭为气密的气密封闭机构(30)，以后与作业室(2)内的气体能够进行内部循环，因此能够防止臭氧气体的漏出，使臭氧气体在作业室内部循环并利用该臭氧气体在设定的CT值下对作业室进行除污。
技术研发人员：渡边直树;周乐;田村耕三;西泽裕行
受保护的技术使用者：日本AIRTECH株式会社;株式会社田村特科
文档号码：201680001530
技术研发日：2016.07.07
技术公布日：2017.05.17