技术特征：
技术总结
本发明提供一种防止衬底背面溶液扩散的平台，用于衬底底面的平面支撑定位，包括平台本体，所述平台本体上设有低于平台本体表面的疏液槽，所述疏液槽设置在两相邻衬底的接合处。疏液槽可以有效避免在两个衬底样片间的狭缝透过的溶液对背面的污染，减少透过溶液对吸附通道系统的影响，提升产品品质，提高了生产效率。
技术研发人员：冯宗宝;欧阳俊波;张海銮;程园园;章婷;刘德昂;曲亚东;钱磊;张德龙
受保护的技术使用者：苏州威格尔纳米科技有限公司
技术研发日：2017.09.05
技术公布日：2017.12.15