本实用新型涉及多晶硅生产设备领域，具体涉及一种多晶硅生产酸性尾气淋洗系统。
背景技术：
多晶硅生产过程中会产生尾气，通常含有氢气、氮气、氯化氢和氯硅烷等气体，其中氢气和氮气为无污染气体可以直接排放至大气中，而氯化氢和氯硅烷则需要进行吸收处理，其中氯硅烷一般通过变压吸附系统进行吸收处理，而氯化氢气体则常通过淋洗系统进行吸收处理。
当氯硅烷通过变压吸附系统进行吸收处理后，剩余的氢气、氮气和氯化氢的混合气体需要经过淋洗系统进行吸收处理。
工厂中通常使用淋洗塔进行氯化氢的吸收，淋洗塔一般包括塔体，在塔体上设置进气口、出气口，并在塔体内部设置除雾层、喷淋区、填料层，而在塔底设置碱液容纳区，并通过循环泵将碱液容纳区内的稀碱液泵入喷淋区内通过喷头均匀的铺洒在填料层上，以便氯化氢气体与稀碱液进行充分的接触及反应；为了保证氯化氢的吸收率，常常在碱液容纳区内设置PH检测探头，来检测碱液容纳区内的pH值。
上述淋洗塔能基本实现对氯化氢气体的吸收，但仍存在以下问题：一是，通过碱液容纳区内的稀碱液通过循环泵泵入喷淋区内并与尾气进行反应吸收，其对尾气吸收率与稀碱液的浓度及泵入的体积有关；若稀碱液的浓度较高，而泵入的体积较小时，此时与尾气反应吸收后反应液其仍呈酸性，此时淋洗塔对尾气的吸收率较低，但当其落入碱液容纳区后，由于碱液容纳区内含有大量的碱液溶液，此时碱液容纳区内设置PH检测探头所测得的数据仍显示为碱性，即通过在碱液容纳区内设置PH检测探头所测得的数据，显示整个淋洗塔对氯化氢气体的吸收率较高，与实际相悖；二是，随着对尾气的不断吸收，碱液容纳区内的浓度不断降低，当浓度降到一定值时，为了保证淋洗塔对尾气中氯化氢的吸收率，需要更换碱液容纳区内的液体，这时淋洗塔需要停止工作，进行碱液的更换，这样淋洗塔不能连续的工作，整体上降低了对尾气的吸收效率；三是，由进气口进入淋洗塔内的尾气不能快速均匀的分散于淋洗塔内，这样会降低尾气与碱液的接触，影响整个吸收处理效率。
技术实现要素：
针对上问题，本实用新型公开了一种多晶硅生产酸性尾气淋洗系统，此系统能使进入淋洗塔内的尾气快速均匀的分散于淋洗塔内，能准确测量淋洗塔内碱液对氯化氢的吸收情况，同时在更换碱液时，整个系统能连续不间断的进行工作。
为实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案为：一种多晶硅生产酸性尾气淋洗系统，包括淋洗塔和为所述淋洗塔提供碱性淋洗液的淋洗液池；
所述淋洗塔下部设有尾气进气管，所述淋洗塔顶部设有出气管，所述出气管上设有风机，所述淋洗塔内部由上至下依次设有除雾层、第一喷淋区、第一填料层、第二喷淋区和第二填料层，所述第一喷淋区内设有第一喷淋头，所述第二喷淋区内设有第二喷淋头，所述第一喷淋头及第二喷淋头均通过喷淋液进管与所述淋洗液池相连通，所述喷淋液进管上设有循环泵；所述淋洗塔的底部通过出液管与所述淋洗液池相连通，所述出液管上设有检测样品罐，所述检测样品罐上设有pH检测探头；
所述淋洗液池包括第一淋洗液池和第二淋洗液池，所述第一淋洗液池上设有第一补液管和第一排液管，所述第一淋洗液池上设有与所述出液管相连通的第一回液管，所述第一淋洗液池上设有与所述喷淋液进管相连通的第一供液管，所述第一补液管上设有第一补液管阀，所述第一排液管上设有第一排液管阀，所述第一回液管上设有第一回液管阀，所述第一供液管上设有第一供液管阀；所述第二淋洗液池上设有第二补液管和第二排液管，所述第二淋洗液池上设有与所述出液管相连通的第二回液管，所述第二淋洗液池上设有与所述喷淋液进管相连通的第二供液管，所述第二补液管上设有第二补液管阀，所述第二排液管上设有第二排液管阀，所述第二回液管上设有第二回液管阀，所述第二供液管上设有第二供液管阀。
进一步的：所述尾气进气管伸入所述淋洗塔中部后向上折弯设有内部中空的进气盘，所述进气盘底部设有与所述尾气进气管相连通的进气口，所述进气盘内均匀设有若干连通所述进气盘的上表面与下表面的连接短管，所述连接短管的侧壁上开设有出气孔。
更进一步的：所述出气孔倾斜设置，所述出气孔靠近所述连接短管外侧处高于所述出气孔靠近所述连接短管内侧处。
进一步的：所述淋洗塔底部成圆锥形。
进一步的：所述第一填料层和第二填料层采用PVC波纹材料或PP多球面。
采用上述技术方案所产生的有益效果为：本实用新型的淋洗塔底部通过出液管与所述淋洗液池相连通，并其出液管上设有检测样品罐，且检测样品罐上设有pH检测探头，淋洗塔对尾气进行吸收后的溶液首先进入检测样品罐中，并通过pH检测探头进行pH 值检测，通过pH值判断反应后的溶液的酸碱性，进而可准确的判断淋洗塔内的碱性溶液对氯化氢气体的吸收率。
本实用新型的淋洗液池包括第一淋洗液池和第二淋洗液池，通过阀门的控制可以实现第一淋洗液池与第二淋洗液池的交替工作，当第一淋洗液池内碱液浓度较低时，控制第二淋洗液池工作，并对第一淋洗液池内碱液进行更换；当第二淋洗液池内碱液浓度较低时，控制第一淋洗液池工作，并对第二淋洗液池内碱液进行更换，这样就实现了整个淋洗系统不间断而实现对碱液的更换。
在尾气进气管上设置中空进气盘，在进气盘内均匀设置若干连通进气盘的上表面与下表面的连接短管，并在连接短管的侧壁上开设有出气孔。这样通过进气管进入的尾气首先进入进气盘中，进气盘中的气体通过连接短管上的出气孔进入连接短管内，大部分进入进气盘上方，少量进入进气盘下方，使得气体分散均匀；同时在淋洗塔内吸收尾气后的液体也会通过连接短管进入进气盘下方，进而通过出液管流回淋洗液池内，在连接短管内向上运动的尾气会与向下运动液体进行匀混吸收，这样就进一步的促进了尾气中氯化氢的吸收。
附图说明
图1所示为本实用新型的结构示意图；
图2所示为本实用新型进气盘的立体结构图；
图3所示为本实用新型进气盘的俯视图；
图4所示为图3的A-A面剖视图；
其中：1、淋洗塔，11、进气管，12、出气管，13、除雾层，14、第一喷淋区，141、第一喷淋头，15、第一填料层，16、第二喷淋区，161、第二喷淋头，17、第二填料层，18、出液管；2、淋洗液池，21、第一淋洗液池，211、第一补液管，2111、第一补液管阀，212、第一排液管，2121、第一排液管阀，213、第一回液管，2131、第一回液管阀，214、第一供液管，2141、第一供液管阀，22、第二淋洗液池，221、第二补液管，2211、第二补液管阀，222、第二排液管，2221、第二排液管阀，223、第二回液管，2231、第二回液管阀，224、第二供液管，2241、第二供液管阀；3、风机；4、检测样品罐，41、 PH检测探头；5、喷淋液进管，51、循环泵；6、进气盘，61、进气口，62、连接短管，621、出气孔。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。
如图1至图4所示为本实用新型的一个具体实施例，一种多晶硅生产酸性尾气淋洗系统，包括淋洗塔1和为所述淋洗塔1提供碱性淋洗液的淋洗液池2；淋洗液池2为所述淋洗塔1提供碱性淋洗液，用于吸收进入淋洗塔1内的氯化氢气体。
所述淋洗塔1下部设有尾气进气管11，所述淋洗塔1顶部设有出气管12，所述出气管12上设有风机3，所述淋洗塔1内部由上至下依次设有除雾层13、第一喷淋区14、第一填料层15、第二喷淋区16和第二填料层17，所述第一喷淋区14内设有第一喷淋头141，所述第二喷淋区16内设有第二喷淋头161，所述第一喷淋头141及第二喷淋头 161均通过喷淋液进管5与所述淋洗液池2相连通，所述喷淋液进管5上设有循环泵51。在风机3的作用下，淋洗塔1内部形成负压，尾气由尾气进气管11进入淋洗塔1，通过循环泵51的作用，将淋洗液池2内的碱性淋洗液由喷淋液进管5分别泵入第一喷淋区 14及第二喷淋区16内，并通过第一喷淋头141和第二喷淋头161将碱性淋洗液均匀的喷洒入第一喷淋区14及第二喷淋区16内，淋洗液与尾气在第一填料层15及第二填料层17内实现均匀接触及反应吸收，再经过除雾层13吸收水分后由淋洗塔1顶部设有出气管12排出。
淋洗塔1的底部通过出液管18与所述淋洗液池2相连通，所述出液管18上设有检测样品罐4，所述检测样品罐4上设有PH检测探头41。淋洗塔1对尾气进行吸收后的溶液通过出液管18首先进入检测样品罐4中，并通过PH检测探头41进行pH值检测，工作人员通过pH值判断反应后的溶液的酸碱性，进而可准确的判断淋洗塔1内的碱性溶液对氯化氢气体的吸收率。
所述淋洗液池2包括第一淋洗液池21和第二淋洗液池22，所述第一淋洗液池21 上设有第一补液管211和第一排液管212，所述第一淋洗液池21上设有与所述出液管 18相连通的第一回液管213，所述第一淋洗液池21上设有与所述喷淋液进管5相连通的第一供液管214，所述第一补液管211上设有第一补液管阀2111，所述第一排液管212 上设有第一排液管阀2121，所述第一回液管213上设有第一回液管阀2131，所述第一供液管214上设有第一供液管阀2141；所述第二淋洗液池22上设有第二补液管221和第二排液管222，所述第二淋洗液池22上设有与所述出液管18相连通的第二回液管223，所述第二淋洗液池22上设有与所述喷淋液进管5相连通的第二供液管224，所述第二补液管221上设有第二补液管阀2211，所述第二排液管222上设有第二排液管阀2221，所述第二回液管223上设有第二回液管阀2231，所述第二供液管224上设有第二供液管阀2241。随着尾气的吸收，淋洗液池2内的液体逐渐接近中性，尾气内的酸性气体不能得到有效的吸收，此时需要更换淋洗液池2内的碱性液体。在本实施例中，将淋洗液池 2设置为第一淋洗液池21和第二淋洗液池22，当第一淋洗液池21内的液体需要更换时，打开第一排液管阀2121、第二回液管阀2231和第二供液管阀2241，关闭第一补液管阀 2111，第一回液管阀2131，第一供液管阀2141，第二补液管阀2211和第二排液管阀2221，这时第一淋洗液池21进行液体排放，同时第二淋洗液池22正常工作，带第一淋洗液池 21内的液体排放完后，打开第一补液管阀2111，关闭第一排液管阀2121，对第一淋洗液池21进行补液。当需要更换第二淋洗液池22内的液体时，相应的通过控制阀门的开关，实现第一淋洗液池21正常工作，第二淋洗液池22进行更换。这就实现了整个淋洗系统不间断而实现对碱液的更换，提高了工作效率。
作为一种优选实施：所述尾气进气管11伸入所述淋洗塔1中部后向上折弯设有内部中空的进气盘6，所述进气盘6底部设有与所述尾气进气管11相连通的进气口61，所述进气盘6内均匀设有若干连通所述进气盘6的上表面与下表面的连接短管62，所述连接短管62的侧壁上开设有出气孔621。这样通过进气管1进入的尾气首先进入进气盘 6中，进气盘6中的气体通过连接短管62上的出气孔621进入连接短管62内，并进入进气盘6上方，由于连接短管62均匀分布于进气盘6内，这就使得气体分散均匀；同时在淋洗塔1内吸收尾气后的液体也会通过连接短管62进入进气盘下方，进而通过出液管18流回淋洗液池2内，在连接短管62内向上运动的尾气会与向下运动液体进行预混吸收，这样就进一步的促进了尾气中氯化氢的吸收。
作为一种优选实施：所述出气孔621倾斜设置，所述出气孔621靠近所述连接短管 62外侧处高于所述出气孔621靠近所述连接短管62内侧处。倾斜的出气孔621能有效防止流经连接短管62内的液体通过出气孔621流入进气盘6的内部，防止其对进气产生影响。
作为一种优选实施：所述淋洗塔1底部成圆锥形。
作为一种优选实施：所述第一填料层15和第二填料层17采用PVC波纹材料或PP 多球面。
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型实施例技术方案的精神和范围。