技术特征：
技术总结
本发明公开一种高均匀性毛细管阵列气体吸附装置，包括气体室，气体室的底部中心处连通有竖直分布并与外部气路连接的进气管道，气体室的内底部螺纹连接有与进气管道相对应的蝶形塞，进气管道上设有采用VCR垫片中心激光打孔形成微米级别的VCR微孔，气体室的顶部开口处设有毛细管阵列安装槽，并且该毛细管阵列安装槽内竖直安装有封闭于气体室的顶部开口并可将气体室内气流形成高均匀性大面积气流向外输送的毛细管阵列。本发明可以在研究对象表面实现反应气体的高度均匀性吸附，且吸附过程对背底真空的影响可以忽略。同时在运行过程中对温度可以精确自动控制，避免不同反应气体切换时带来的交叉污染及毛细管堵塞问题。
技术研发人员：毛新春;王小英;胡殷;金伟;张永彬;杨喜梅
受保护的技术使用者：中国工程物理研究院材料研究所
技术研发日：2018.09.14
技术公布日：2019.01.11