一种降低线切割加工过程断线率的方法与流程

本发明涉及半导体加工技术领域，具体涉及切割方法。

背景技术：

硅片多线游离切割技术是目前比较常见的硅片切割技术，它的基本原理是通过高速运动的钢线带动附着在钢线上的砂浆对硅棒进行摩擦，从而达到切割的效果。

砂浆是由切削液和gc粉按一定比例调和而成，因考虑到成本问题，所以目前业内砂浆液都是循环利用的，经过砂浆回收系统后将有用的砥砺回收，重复利用，这个过程中因切割晶棒会有不同大小的si粉、杂质、大颗粒等会进入到砂浆回收系统中，影响了砂浆的切削能力，会造成以下几方面的影响与风险：1)大颗粒容易造成断线，影响硅片面状态，造成良率；2)降低了砂浆的切削能力，容易造成翘曲、线痕。

技术实现要素：

针对现有技术存在的问题，本发明提供一种降低线切割加工过程断线率的方法，以解决上述至少一个技术问题。

本发明的技术方案是：一种降低线切割加工过程断线率的方法，其特征在于，切刀室的砂浆进口与一砂浆过滤器的出料口相连，所述切刀室的砂浆出口与一砂浆存储罐相连，所述砂浆存储罐的出料口与一离心泵进口相连，所述离心泵出口与所述砂浆过滤器的进料口相连。

本专利通过将切刀室引入的砂浆均是砂浆过滤器过滤后的砂浆，避免了大颗粒造成的切割过程中的断线问题，有效的保证了切削质量。

通过在切刀室的砂浆进口安装有砂浆过滤器，产品的良率从99.3％提高到了99.4％。断线率从原来的2％降低到了1％。

所述砂浆过滤器包括上方开口的罐体以及顶盖围成的过滤腔，所述罐体的上方开设有一进料口，所述罐体的底部开设有一出料口；

所述罐体内安装有一过滤机构，所述过滤机构设置在所述进料口与所述出料口之间，

所述过滤机构包括圆环状支撑板、尼龙滤网以及设置在尼龙滤网外围金属滤网；以所述支撑板的中央开口为过滤机构的进口，所述支撑板的外围与所述罐体的内壁之间设有一密封结构，所述尼龙滤网与所述金属滤网的上端均与支撑板相连；

所述砂浆过滤器还包括一安装机构，所述安装机构包括弹簧、一压杆以及条状的连接片，所述支撑板的下方与所述过滤机构相连；

所述连接片的两端分别与所述支撑板的径向两端部固定连接；

所述弹簧的下端与所述连接片的中央相连，所述弹簧的上端连接有所述压杆，所述罐体的内壁的相对侧设有一用于插入压杆两端的插接件，所述插接件上开设有与所述压杆端部相匹配的插口。

本专利通过优化砂浆过滤器的结构，便于实现过滤机构的可拆卸，便于保证过滤效果，砂浆经进料口后依次途径尼龙滤网与金属滤网后从出料口导出。针对于不同的过滤需求，更换不同的过滤机构。进而降低线切割加工过程断线率，保证切割效果。

过滤机构的安装步骤为首先将过滤机构放入罐体内，然后通过压杆下压弹簧，并将压杆的两端插入插接件上，实现压杆的固定，进而实现过滤机构的固定。

过滤机构的拆除步骤为首先通过旋转压杆，进而实现压杆从插接件上脱离，然后将过滤机构从罐体中拉出。

所述密封结构包括一限制过滤机构下移的限位突起，所述限位突起设置在所述罐体的内壁，所述限位突起的上端与所述支撑板的下表面相抵；

所述密封结构还包括一密封圈，所述密封圈设置在所述限位突起的上方。

通过密封结构，防止砂浆从支撑板与所述罐体内壁之间流出。

所述尼龙滤网为上端开口的袋状结构，所述尼龙滤网的开口端固定有一弹性圈体，所述支撑板的内侧设有用于套入弹性圈体的翻边；

所述金属滤网为上端开口的金属罩体，所述金属罩体上开设有网孔，所述金属罩体的上端与所述支撑板焊接相连。

便于实现尼龙滤网的更换，此外，通过金属罩体，便于实现对尼龙滤网的支撑保护。

所述顶盖上安装有一用于检测过滤器内的气压的气压检测装置。便于知晓是否有发生尼龙滤网堵塞导致的内压过高的问题，便于对装置整体的工作状态的检测。

所述顶盖上还开设有一进气口，所述进气口安装有一阀门。便于通过进气口导入气体，进而实现内部增加，提高砂浆的导流速度。

所述罐体的外壁上固定有支撑脚。便于实现对罐体的支撑，有利于出料口导出砂浆。

砂浆过滤器安装在一推车上。便于实现砂浆过滤器的搬运。

所述砂浆过滤器的出料口与切片室的砂浆进口导通。便于导入切片室的砂浆中大颗粒杂质的滤除。

所述罐体的外围安装有一夹套式换热器。便于保证砂浆的恒温控制，保证砂浆的粘度，有利于保证切割效果。通过夹套式换热器将砂浆的温度控制在24℃±0.5℃。经验证在该温度下，砂浆的粘度最适用于切割。此时的粘度为2.0dpa.s左右。

所述弹簧的断面为矩形。便于压杆对弹簧的压缩。

附图说明

图1为本发明的砂浆过滤器的剖视图；

图2为本发明的砂浆过滤器安装在推车上的一种结构示意图；

图3为本发明的砂浆过滤器部分俯视图；

图4为本发明使用前后的断线率变化图。

图中：1为砂浆过滤器，11为进料口，12为出料口，13为金属滤网，14为尼龙滤网，15为限位机构，16为弹簧，17插接件，18为压杆，19为支撑板，20为连接片。

具体实施方式

下面结合附图对本发明做进一步的说明。

一种降低线切割加工过程断线率的方法，切刀室的砂浆进口与一砂浆过滤器的出料口相连，切刀室的砂浆出口与一砂浆存储罐相连，砂浆存储罐的出料口与一离心泵进口相连，离心泵出口与砂浆过滤器的进料口相连。本专利通过将切刀室引入的砂浆均是砂浆过滤器过滤后的砂浆，避免了大颗粒造成的切割过程中的断线问题，有效的保证了切削质量。通过在切刀室的砂浆进口安装有砂浆过滤器，产品的良率从99.3％提高到了99.4％。断线率从原来的2％降低到了1％。参见图4，显示了安装过滤器前后机台断线率变化趋势图。2018年2月份开始安装过滤器。

砂浆存储罐内设有一搅拌机构。保证砂浆的混合效果。

参见图1、图2以及图3，砂浆过滤器1包括上方开口的罐体以及顶盖围成的过滤腔，罐体的上方开设有一进料口11，罐体的底部开设有一出料口12，罐体内安装有一过滤机构，过滤机构设置在进料口11与出料口12之间，其特征在于，过滤机构包括圆环状支撑板19、尼龙滤网14以及设置在尼龙滤网14外围金属滤网13；以支撑板19的中央开口为过滤机构的进口，支撑板19的外围与罐体的内壁之间设有一密封结构，尼龙滤网14与金属滤网13的上端均与支撑板19相连；砂浆过滤器1还包括一安装机构，安装机构包括弹簧16、一压杆18以及条状的连接片20，支撑板19的下方与过滤机构相连；连接片20的两端分别与支撑板19的径向两端部固定连接；弹簧16的下端与连接片的中央相连，弹簧16的上端连接有压杆18，罐体的内壁的相对侧设有一用于插入压杆18两端的插接件17，插接件17上开设有与压杆18端部相匹配的插口。本专利通过优化砂浆过滤器1的结构，便于实现过滤机构的可拆卸，便于保证过滤效果，砂浆经进料口11后依次途径尼龙滤网14与金属滤网13后从出料口12导出。针对于不同的过滤需求，更换不同的过滤机构。进而降低线切割加工过程断线率，保证切割效果。进料口高于支撑板。插口的下端开口，且两个插接件的邻近侧也开口。便于压杆从下至上插设在插口。

过滤机构的安装步骤为首先将过滤机构放入罐体内，然后通过压杆下压弹簧，并将压杆的两端插入插接件上，实现压杆的固定，进而实现过滤机构的固定。

过滤机构的拆除步骤为首先通过旋转压杆，进而实现压杆从插接件上脱离，然后将过滤机构从罐体中拉出。

密封结构包括一限制过滤机构下移的限位突起15，限位突起15设置在罐体的内壁，限位突起的上端与支撑板19的下表面相抵；密封结构还包括一密封圈，密封圈设置在限位突起的上方。通过密封结构，防止砂浆从支撑板19与罐体内壁之间流出。

尼龙滤网14为上端开口的袋状结构，尼龙滤网14的开口端固定有一弹性圈体，支撑板19的内侧设有用于套入弹性圈体的翻边；金属滤网13为上端开口的金属罩体，金属罩体上开设有网孔，金属罩体的上端与支撑板19焊接相连。便于实现尼龙滤网14的更换，此外，通过金属罩体，便于实现对尼龙滤网14的支撑保护。

顶盖上安装有一用于检测过滤器内的气压的气压检测装置。便于知晓是否有发生尼龙滤网14堵塞导致的内压过高的问题，便于对装置整体的工作状态的检测。

顶盖上还开设有一进气口，进气口安装有一阀门。便于通过进气口导入气体，进而实现内部增加，提高砂浆的导流速度。

罐体的外壁上固定有支撑脚。便于实现对罐体的支撑，有利于出料口导出砂浆。砂浆过滤器安装在一推车上。便于实现砂浆过滤器的搬运。

砂浆过滤器的出料口与切片室的砂浆进口导通。便于导入切片室的砂浆中大颗粒杂质的滤除。

罐体的外围安装有一夹套式换热器。便于保证砂浆的恒温控制，保证砂浆的粘度，有利于保证切割效果。通过夹套式换热器将砂浆的温度控制在24℃±0.5℃。经验证在该温度下，砂浆的粘度最适用于切割。此时的粘度为2.0dpa.s左右。

弹簧的断面为矩形。便于压杆对弹簧的压缩。

以上仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。